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俄罗斯半导体集成电路专用仪器设备研制情况
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摘要
作者曾随团赴俄罗斯及独联体有关国家考察微电子技术,了解到这些国家有半导体集成电路专用设备等方面的研制生产情况,在此作一简要介绍,以供同行参考。
作者
蹇哲人
机构地区
无锡华晶电子集团公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第5期1-8,40,共9页
Semiconductor Technology
关键词
半导体
集成电路
设备
仪器
制造
分类号
TN430.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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半导体技术
1993年 第5期
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