期刊文献+

俄罗斯半导体集成电路专用仪器设备研制情况

下载PDF
导出
摘要 作者曾随团赴俄罗斯及独联体有关国家考察微电子技术,了解到这些国家有半导体集成电路专用设备等方面的研制生产情况,在此作一简要介绍,以供同行参考。
作者 蹇哲人
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第5期1-8,40,共9页 Semiconductor Technology
  • 引文网络
  • 相关文献
;
使用帮助 返回顶部