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微电子学和有关分立器件与材料的发展研究
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摘要
本文对功能半导体材料硅、砷化镓、磷化铟材料、硅基和Ⅲ-Ⅴ族基的超晶格量子阱及其新型功能材料(超导、金刚石、多孔硅等)进行介绍分析,提出发展建议和措施.
作者
黄义贞
机构地区
电子部第
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第6期41-46,共6页
Semiconductor Technology
关键词
微电子学
半导体材料
分立器件
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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半导体技术
1993年 第6期
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