直流等离子体喷射法在Ar—H2—C2H5OH体系中沉积金刚石膜的初步研究
-
1戚学贵,陈则韶,陈莉.CVD金刚石膜制备方法及其应用[J].半导体技术,2001,26(6):55-59. 被引量：4
-
2陈继锋,侯立,孙京林,刘尔凯,玄真武,戚立昌,浦新,彭汉德.燃烧火焰法沉积金刚石膜的生长特性[J].人工晶体学报,1994,23(4):263-268. 被引量：4
-
3孙秀平,李超,张先徽,冯克成,曲直.金刚石薄膜的形核研究[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2003,26(4):78-80. 被引量：4
-
4季国顺,张永康.激光抛光化学气相沉积金刚石膜[J].激光技术,2003,27(2):106-109. 被引量：17
-
5陈广超,李成明,张恒大,杨胶溪,佟玉梅,唐伟忠,吕反修.直流等离子体法中脱膜开裂的金刚石膜组织结构分析[J].人工晶体学报,2003,32(5):518-523. 被引量：4
-
6程健,邬钦崇.一种保持真空室真空度稳定的控制系统[J].微小型计算机开发与应用,1996(6):37-41.
-
7彭鸿雁,申家镜,杨贵龙,邵春雷,魏雪峰,杨广亮,金曾孙.光子热丝法沉积金刚石膜(英文)[J].功能材料与器件学报,2001,7(3):311-313.
-
8李俊杰,吴汉华,龙北玉,吕宪义,胡超权,金曾孙.N离子注入对金刚石膜场发射特性的影响[J].物理学报,2005,54(3):1447-1451. 被引量：9
-
9翟华嶂,曹传宝,朱鹤孙.直流电弧等离子体喷射(DCPJ)法在沉积金刚石膜上的应用[J].材料导报,1999,13(1):32-34. 被引量：1
-
10刘波,王豪.C_(60)与金刚石薄膜成核关系的研究[J].光电子技术,2000,20(2):116-121.
