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氧对反应溅射非晶金属陶恣薄膜结构和性能的影响

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作者 王家敏 吴建生
出处 《薄膜科学与技术》 1993年第4期283-288,共6页
关键词 反应溅射 金属陶瓷 薄膜 氧 结构
分类号 TN304.805 [电子电信—物理电子学]
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薄膜科学与技术
1993年 第4期

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