硅膜片可变焦反射镜

半导体激光器的发明，推动了将受光元件、发光元件、光波导和微透镜系统等集成于同一衬底上的光集成组合元件的研究。目前，正在进行着利用微机械技术使各种微小光学元件和驱动这些元件的传动机构更加小型化的研究。其中也包括对可变焦透镜和反射镜的各种试制方案的研究。然而，到目前为止，尚无在上述研究项目中达到实用化的报道。