光技术在微机械中的应用

微机械的迅速发展是近六、七年的事情。它的发展是从应用单晶硅的微细加工技术做出的微马达和微齿轮开始的。为实现微机械，需要材料、测量控制、能源、通信、信息处理、设计、加工和装配等综合的技术开发。