摘要
本文综述了光学薄膜制备技术的发展与现状 ,着重介绍了真空蒸镀、离子辅助沉积、离子束溅射等传统与现代技术 ,包括工作原理。
Several deposition techniques for optical thin films are reviewed, especially for vacuum evaporation, ion assisted deposition and ion beam sputtering, including working theory, development and application of them.
出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2004年第2期37-40,共4页
Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition)
基金
高功率半导体国家重点实验室基金项目 ( 99J5 3 6.3ZS3 60 4)
关键词
光学薄膜
沉积
溅射
Optical thin film
Deposition
Sputtering
