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制造硫族元素超薄半导体薄膜的新方法

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出处 《现代材料动态》 2004年第5期27-27,共1页 Information of Advanced Materials
关键词 硫族元素 超薄半导体薄膜 溶液 流动性 高通量沉积方法
分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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现代材料动态
2004年 第5期

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