消除波导厚度变动影响的高分子宽带耦合器设计

Design of thickness-insensitive for broad-band fluorinated polyimide waveguide coupler

针对高分子光波导制造工艺中波导芯厚度的均匀性难以控制的实际困难,提出了采用抗波导芯厚度误差的宽带波导耦合器回路结构的解决方案,并给出了优化设计的理论和方法。在实测了含氟聚酰亚胺薄膜的色散特性的基础上,采用该方法做了中心波长为1550nm、带宽为120nm的3dB含氟聚酰亚胺波导耦合器设计。该器件的三维BPM仿真运行结果表明,在上述带宽上,波导芯厚度变动在7-8μm的范围内,器件的功率输出比保持了(50±0.9)%的良好特性。