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测量超微物质的新量具
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摘要
在纳米技术领域里,十亿分之一米的差距是相当大的,如果没有精准的量具,工程师们对此往往甚感头痛。最近,麻省理工学院的科学家们研制成功的“世界上最精密的量具”——其刻度为数千亿分之一米——能快速在半导体晶片上将无数线格和间距描摹出来。
作者
余家驹
出处
《辽宁科技参考》
2004年第5期16-16,共1页
关键词
刻度
测量量具
测量精度
半导体晶片
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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辽宁科技参考
2004年 第5期
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