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一种基于光致变色材料的超分辨加工技术
A Super-Resolution Fabrication Technique Based on Photochromic Material
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摘要
本文提出了一种新的基于材料光致变色特性来制造超高分辨率纳米结构技术。这种方法可以大大简化目前复杂的超高分辨率加工配置。同时,通过理论模拟圆环光束的大小对聚焦区域光强分布的影响,发现当环状聚焦光大小为60 nm,光致变色层厚度为0.1 μm时可以实现87 nm的“纳米刻针”系统。
作者
李青格乐
吕肃
吴晓
机构地区
深圳中科飞测科技有限公司
浙江外国语学院科学技术学院
出处
《应用物理》
2018年第6期269-274,共6页
Applied Physics
关键词
超分辨
纳米加工
光刻技术
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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应用物理
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