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基于MEMS工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计

High Gain and Low Side-Lobe Thz Corrugated Horn Antenna Based on MEMS Technology
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摘要 本文提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)工艺的高增益低副瓣太赫兹波纹喇叭天线设计方法。利用三维全波有限元电磁仿真软件Ansys HFSS,对角锥喇叭的波纹开槽尺寸和条数进行参数分析和优化设计,获得了在275 GHz至580 GHz的有效带宽内(回波损耗小于10 dB)增益超过8 dB和副瓣电平小于?13 dB的太赫兹波纹喇叭天线。结果表明波纹开槽可有效提高太赫兹喇叭天线增益并压低副瓣,同时也说明MEMS工艺可有效用于太赫兹功能器件设计。
出处 《天线学报》 2013年第1期1-6,共6页 Journal of Antennas
基金 国家高技术研究发展计划(863计划)(批准号:2012AA8123012) 国家重点基础研究发展计划(973计划)(批准号:2010CB327505和61372010302) 国家自然科学基金(批准号:61275107)资助的课题。
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