期刊文献+

微加工技术在高精度位移传感器中的应用

原文传递
导出
摘要 随着科学技术的日新月异,各种类型的传感器层出不穷,其中,高精度位移传感器是较为新颖的传感器,与普通传感器对比而言具有得天独厚的优势.高精度传感器的结构丰富,电极呈栅状存在,一旦电极存在平行移动以及覆盖面积变化,电容量则会随之变化,进而实现测量几何量的作用,现结合该原理对微加工技术的应用予以研究.
作者 李广金
出处 《科技尚品》 2016年第2期131-,共1页
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献29

  • 1邹自强.论纳米光栅测量技术[J].纳米技术与精密工程,2004,2(1):8-15. 被引量:16
  • 2张伟刚,涂勤昌,孙磊,开桂云,袁树忠,董孝义.光纤光栅传感器的理论、设计及应用的最新进展[J].物理学进展,2004,24(4):398-423. 被引量:33
  • 3彭东林,刘小康,张兴红,陈锡候.时栅位移传感器研究[J].重庆工学院学报,2006,20(5):1-4. 被引量:14
  • 4BEER F P, JOHNSTON E R, DEWOLF J T, et al. Me- chanics of materials [ M ]. 6th ed. New York : McGraw- Hill, 2012.
  • 5YOUNG W C, BUDYNAS R G. Roark' s formulas for stress and strain [ M ]. New York : McGraw-Hill, 2002.
  • 6LOBONTIU N. Compliant mechanisms : Design of flexure hinges [ M]. Florida, USA: CRC Press, 2003.
  • 7LOBONTIU N, PAINE J S N, GARCIA E, et al. Cor- ner-filleted flexure hinges [ J ]. Transactions of the ASME, 2001, 123 (3) : 346-352.
  • 8LOBONTIU N, PAINE J S N, GARCIA E, et al. Design of symmetric conic-section flexure hinges based on closed-form compliance equations [ J ] Mechanism and Machine Theory, 2002, 37 : 477- 498.
  • 9LI Y M, XU Q s. Design and analysis of a totally decou- pled flexure-based XY parallel micromanipulator [ J ]. IEEE Transactions on Robotics, 2009, 25 (3) : 645-657.
  • 10LI Y M, XU Q s. Development and assessment of a novel decoupled XY parallel micropositioning platform [ J ]. IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, 2010, 15 ( 1 ) : 125-135.

共引文献25

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部