《真空科学与技术》

本刊主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。