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《真空科学与技术》
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1208
被引量
2655
H指数
17
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本刊主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。主要栏目有:学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。
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主办单位
中国真空学会
国际标准连续出版物号
0253-9748
国内统一连续出版物号
11-2098/TB
出版周期
双月刊
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