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频率域数字散斑相关法及其应用 被引量:8
1
作者 周灿林 亓东平 《光电工程》 CAS CSCD 2000年第3期65-68,共4页
在图象识别原理的基础上 ,提出频率域数字散斑相关法 ,该方法在频率域物体变形前后散斑图对应子区域的相关搜索 ,完成测量物体的变形位移。该法与常用的空间域数字相关法相比 ,避免了相关识别中的反复搜索 ,极大地减小了运算量 ,提高了... 在图象识别原理的基础上 ,提出频率域数字散斑相关法 ,该方法在频率域物体变形前后散斑图对应子区域的相关搜索 ,完成测量物体的变形位移。该法与常用的空间域数字相关法相比 ,避免了相关识别中的反复搜索 ,极大地减小了运算量 ,提高了信息提取速度 ,并且具有更高的定位精度和测量精度。文章最后给出了典型测试结果。 展开更多
关键词 数字散斑 图象识别 频率域数字散斑
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随机散射屏的原子力显微镜形貌分析及其光散射特性 被引量:10
2
作者 亓东平 刘德丽 +2 位作者 滕树云 张宁玉 程传福 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期1260-1266,共7页
用原子力显微镜对三种不同粗糙度的随机散射屏的表面形貌进行了测量分析 ,发现它们在短程范围内具有明显的分形特征 .对于粗糙度较大和较小的散射屏 ,分形特征分别以无规则的高度调制和无特征大小的小颗粒的形式存在 .用自仿射分形表面... 用原子力显微镜对三种不同粗糙度的随机散射屏的表面形貌进行了测量分析 ,发现它们在短程范围内具有明显的分形特征 .对于粗糙度较大和较小的散射屏 ,分形特征分别以无规则的高度调制和无特征大小的小颗粒的形式存在 .用自仿射分形表面模型对散射屏的统计特性进行了描述和拟合 .光散射测量发现 ,散射光强在远轴区域按负幂函数下降 ,理论分析证明这源于表面的分形结构 ;在近轴区域有散射亮环存在 ,用自仿射分形表面模型尚不能给出理论解释 . 展开更多
关键词 随机散射屏 光散射 原子力显微镜 形貌分析
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频率域数字散斑相关方法的研究 被引量:9
3
作者 亓东平 滕树云 程传福 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期489-493,共5页
提出一种利用二维快速傅里叶变换 (FFT)经频率域匹配滤波实现数字相关运算以提取散斑图携带位移信息的频率域数字散斑相关方法。该方法因采取快速傅里叶变换、散斑限幅、滤波器优化等措施而减弱了空间域相关方法中不利因素对相关波峰的... 提出一种利用二维快速傅里叶变换 (FFT)经频率域匹配滤波实现数字相关运算以提取散斑图携带位移信息的频率域数字散斑相关方法。该方法因采取快速傅里叶变换、散斑限幅、滤波器优化等措施而减弱了空间域相关方法中不利因素对相关波峰的影响 ,提高了相关点定位的时效性和精确性。 展开更多
关键词 散斑分析 数字相关 散斑限幅 相关滤波器 频率域
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动态白光数字散斑计量术
4
作者 亓东平 程传福 +1 位作者 滕树云 刘德丽 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期649-654,共6页
提出了动态白光数字散斑计量术 ,并研制了相应的实验测量系统。在系统启动脉冲的触发下 ,动态白光数字散斑计量系统中物体动态加载、脉冲白光光源照明、数字散斑图像采集等过程依次完成。该系统可通过延时调节 ,对可重复动态过程的位移... 提出了动态白光数字散斑计量术 ,并研制了相应的实验测量系统。在系统启动脉冲的触发下 ,动态白光数字散斑计量系统中物体动态加载、脉冲白光光源照明、数字散斑图像采集等过程依次完成。该系统可通过延时调节 ,对可重复动态过程的位移演化进行全过程测量。 展开更多
关键词 白光数字散斑 计量术 激光
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高斯相关随机表面及其光散射散斑场的模拟产生和光强概率分析 被引量:19
5
作者 程传福 亓东平 +1 位作者 刘德丽 滕树云 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第9期1635-1643,共9页
提出了模拟产生高斯相关随机表面的方法,并模拟产生了这类表面在夫琅禾费面上产生的散斑场.以模拟产生的10000 个随机表面作为表面样本系综,对具有不同粗糙度和横向相关长度的表面系综在夫琅禾费面上各点产生的散斑光强系综的... 提出了模拟产生高斯相关随机表面的方法,并模拟产生了这类表面在夫琅禾费面上产生的散斑场.以模拟产生的10000 个随机表面作为表面样本系综,对具有不同粗糙度和横向相关长度的表面系综在夫琅禾费面上各点产生的散斑光强系综的概率密度分布进行了分析.发现:(1) 散斑场的高斯和非高斯特性在空间上按一定的区域分布,并非整幅散斑图皆为高斯或非高斯散斑;(2) 散射表面只包含少数散射颗粒时也可以形成高斯散斑. 展开更多
关键词 模拟 光强概率 散斑场 随机表面 高斯相关
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弱散射屏的像面散斑自相关函数特性的实验研究 被引量:6
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作者 张宁玉 刘德丽 +2 位作者 滕树云 亓东平 程传福 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期696-701,共6页
在对随机弱散射屏进行表面参数的原子力显微镜测量和建立了门积分取样平均的随机光强自相关函数测量系统的基础上 ,对弱散射屏在严格像面和离焦像面上产生的散斑自相关函数进行了测量。发现在严格像面上 ,散斑平均颗粒的大小随表面粗糙... 在对随机弱散射屏进行表面参数的原子力显微镜测量和建立了门积分取样平均的随机光强自相关函数测量系统的基础上 ,对弱散射屏在严格像面和离焦像面上产生的散斑自相关函数进行了测量。发现在严格像面上 ,散斑平均颗粒的大小随表面粗糙度增加而减小 ,且光强自相关函数次极大的相关间隔宽度随粗糙度增加而减小 ;而次极大的起伏随粗糙度的增大而增大 ;在离焦像面上 ,离焦量的增加使光强的自相关函数下降变得平滑 ,并使极小值点和次极大点变得不明显或者消失。 展开更多
关键词 弱散射屏 像面散斑 自相关函数
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变孔径像面散斑平均光强标定随机表面的理论与实验 被引量:2
7
作者 张宁玉 滕树云 +2 位作者 董前民 亓东平 程传福 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期865-870,共6页
采用随机表面的高斯相关模型和统计光学原理 ,推导出弱散射体在 4f系统中的像面上光强的表达式 .在此基础上提出了均方偏差粗糙度和横向相关长度的标定方法 ,该方法用理论结果对实验测量的像面散斑平均光强随滤波孔半径的关系曲线进行拟... 采用随机表面的高斯相关模型和统计光学原理 ,推导出弱散射体在 4f系统中的像面上光强的表达式 .在此基础上提出了均方偏差粗糙度和横向相关长度的标定方法 ,该方法用理论结果对实验测量的像面散斑平均光强随滤波孔半径的关系曲线进行拟合 ,同时测量出被测样品表面的两个统计量 .实验上制作了高斯相关随机表面样品 ,对其表面参数进行了测量 ,与AFM所测结果符合得较好 ,这表明该方法具有较高的精度 . 展开更多
关键词 弱散射体 像面散斑 平均光强 随机表面 滤波孔半径 高斯相关模型 统计光学 均方偏差粗糙度 横向相关强度 标定
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表面粗糙度的变波矢光散射测量方法的研究 被引量:3
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作者 程传福 亓东平 刘德丽 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期1006-1008,共3页
提出了表面粗糙度变波矢光散射测量方法,通过散射光强中心亮点光能量的对数lnEδ随k2⊥变化的线性关系来确定粗糙度w,对6块粗糙度不同的硅片背面样品进行了实验测量。
关键词 光散射 变波矢 粗糙度 测量法
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光散射的镜面反射分量与随机表面高度分布的表征 被引量:1
9
作者 程传福 亓东平 +3 位作者 滕树云 刘曼 贾天卿 徐至展 《中国科学(G辑)》 CSCD 2003年第3期249-256,共8页
从理论上分析了随机表面散射光强的镜面分量与表面高度概率分布的关系。表面高度分布的提取需要用到镜面反射分量的振幅和相位。由镜面反射分量的强度随波矢量的垂直分量变化的实验数据恢复光波的相位,实现了表面高度概率分布的光散射... 从理论上分析了随机表面散射光强的镜面分量与表面高度概率分布的关系。表面高度分布的提取需要用到镜面反射分量的振幅和相位。由镜面反射分量的强度随波矢量的垂直分量变化的实验数据恢复光波的相位,实现了表面高度概率分布的光散射表征。相位的恢复采用了Gerchberg-Saxton迭代算法。实验上分别对具有Gauss高度分布和准二值高度分布的两个样品进行了高度概率的测量,测量结果与原子力显微镜的测量相吻合。这对于随机表面的非接触标定与研究有重要意义。 展开更多
关键词 光散射 镜面反射分量 原子力显微镜 表面高度分布 相位恢复 随机表面模型 光学测量 表面高度概率函数
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The specular component of light scattering and the charac- terization of the height distribution for random surfaces
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作者 程传福 亓东平 +3 位作者 滕树云 刘曼 贾天卿 徐至展 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2003年第5期518-527,共10页
The relations between the specular reflection component of the intensity scattered by random surfaces and the height distributions of the surfaces are analyzed theoretically. In the extraction of the height distributi... The relations between the specular reflection component of the intensity scattered by random surfaces and the height distributions of the surfaces are analyzed theoretically. In the extraction of the height distribution, both the phase and the amplitude of the specular wave are required. The measured specular intensity data versus the perpendicular component of the wave vector are used for the retrieval of the phase distribution of the specular wave, in which the Gerchberg-Saxton iterative algorithm is employed, and the characterization of the height distribution of random surfaces is accomplished. In the experiment, two samples with Gaussian and quasi-two level height distributions, respectively, are practically measured and the results of the height probability density function obtained by light scattering method are in good accordance with those by atomic force microscopy. The method of this paper is of important significance for the characterizations and studies of random surfaces. 展开更多
关键词 light scattering HEIGHT distributions specular reflection phase retrieval.
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