微流量系统的基础技术研究

介绍了国家自然科学基金重点资助项目“微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点。微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微型光机电系统技术刚走向全面发展，正是我国发展该领域的好时机。

微型机电系统

分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ,是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 。

微米纳米技术及微型机电系统

微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程，微细加工的进展，微型机电系统的概念、主要研究课题，以及它的应用领域。

微型机电系统的进展

微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。

灵捷制造的核心要素及其应用

对灵捷制造的主要思路进行了分析，给出了其灵捷性的几种表现形式，认为实现灵捷性的必要条件主要为：柔性设备、信息系统、人的因素和管理机构四个方面。灵捷制造的实施方式应根据不同行业、不同企业的具体情况分别进行。给出了几种主要形式，并相应地对其在不同工业领域的应用情况进行了研究和分析。探讨了发展灵捷制造的思路。

微/纳机电系统

微机电系统 (MEMS)和纳机电系统 (NEMS)是微米 /纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展 ,NEMS还处于基础研究阶段。分析了微 /纳机电系统的发展特点 ,简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后 。

频域建模及在机电系统中的应用

本文讨论动力学参数估计的频域方法，及其在机电系统的测量、仿真、补偿及控制中的应用。频域建模可表述为一种由谱估计和参数估计相结合的两步算法。在传感器、执行器和精密机械系统中有一些较成功的应用。

日本的微型机械研究开发

日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一，并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心，丰田中央研究所、日立机械研究所、ＮＴＴ境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大学工学部等从事微型机械研究的现状。

微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.

康复工程中的电刺激技术及肢体运动测控技术

电刺激技术是康复工程中的一个重要手段。本文阐述了电刺激技术的基本概念,着重叙述了用于恢复瘫痪病人肢体运动功能的功能性神经肌肉电刺激(FNS)技术及肢体运动测量和控制技术,并结合我校研制的肌肉电刺激训练仪和多功能FNS系统讨论了电刺激系统的功能及实验研究。

微型机械及其发展

一、引言人类在进行宏观世界以及微小领域的研究开发中,对机电工具和设备,在解决高强度、大功率、大型化的同时,也提出了高精度、低耗能、小型化的要求。80年代后期,利用半导体集成电路工艺在硅片上制作的微传感器和微执行器的问世,引发了尺寸在毫米级以下的微型机械研究的兴起。1987年,加州大学伯克利分校研制出直径为60～120μm 的硅微静电马达,之后许多新的研究成果不断发表,微机器人的研究也进入日程。

世界各国竞相发展微机电系统

第4届世界微机械高层会议于1998年4月29日至5月2日在澳大利亚墨尔本市举行。我们4人参加了会议,会后顺访了斯温伯恩(Swinburne)大学、纽卡斯尔(Newcastle)大学、悉尼(Sydney)大学。

微系统与纳系统技术(上)

微系统(Micro Systems)和纳系统(Nano Systems)是微米纳米技术最终开发目标之一,是21世纪技术发展的热点。作为IC的扩展和大规模微结构器件在小空间中的高度集成,我们的读者在陌生中可能会感到一丝熟悉。

微系统与纳系统技术(下)

三纳系统技术 纳系统,或称NEMS,其关键特征尺度在几百到几纳米,它包括纳结构、纳器件和纳系统以及纳米尺度的测控和制造技术等,是纳米技术发展的最终目标之一.与微系统不同,纳系统是以小尺度为特征的,也就是说,纳器件和系统的性质和行为可能是由小尺度所产生的新物理性质所决定的.纳系统技术的关键就在于新原理、新性质的开发和利用.

微型机械及其发展

<正> 一、引言人类在进行宏观世界以及微小领域的研究开发中,对机电工具和设备,在解决高强度、大功率、大型化的同时,也提出了高精度、低耗能、小型化的要求。80年代后期,利用半导体集成电路工艺在硅片上制作的微传感器和微执行器的问世,引发了尺寸在毫米级以下的微型机械研究的兴起。1987年,加州大学伯克利分校研制出直径为60～120μm 的硅微静电马达,之后许多新的研究成果不断发表,微机器人的研究也进入日程。

现代超声治疗仪器技术

本文从分析超声波的物理特性和生理效应出发,用生物医学工程的观点,阐述了现代超声治疗技术的基本原理及临床应用,介绍了几种超声医疗外科器械和仪器的现状,并展望了其方兴未艾的发展前景。

FNS的研究及肢体运动测控技术

功能性神经肌肉电刺激技术(FNS)是康复工程中的一个重要手段。本文阐述了FNS技术的研究内容,用于恢复瘫痪病人肢体运动功能的FNS肢体运动测量和控制技术,并介绍了所研制的多功能FNS系统的功能、组成和实验研究。

世界微型机械高层会议纵览

1997年4月28日至4月30日在加拿大温哥华召开了world Micromachine Summit’97会议。美、日、德、中等13个国家和地区的代表介绍了各国微型机械/微型机电系统研究和开发现状,并就健康、环境、交通和信息4个领域,标准化和新方向两个专题进行了交流和讨论。下次会议定于1998年4月在澳大利亚墨尔本举行。会后中国代表团访问了美国的一些大学和公司,有MIT,UCBerkeley,ADI,EG&G和MICROCOSM等。