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老旧小区加装电梯全过程管理的应用
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作者 徐世珍 肖新华 《河南建材》 2024年第4期149-151,共3页
我国大力推进加装电梯的工作并已取得了一定进展,但是在目前的加装电梯行业中,管理方面还有很多不足,这导致加装电梯存在安全隐患和质量问题。因此,文章从前期准备阶段、设计施工阶段以及运营维护阶段等方面分析了老旧小区加装电梯存在... 我国大力推进加装电梯的工作并已取得了一定进展,但是在目前的加装电梯行业中,管理方面还有很多不足,这导致加装电梯存在安全隐患和质量问题。因此,文章从前期准备阶段、设计施工阶段以及运营维护阶段等方面分析了老旧小区加装电梯存在的问题,并探讨了加装电梯全过程管理具体措施,旨在为类似工程的实施提供参考。 展开更多
关键词 老旧小区 加装电梯 全过程管理
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酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响 被引量:16
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作者 徐世珍 吕海兵 +4 位作者 田东斌 蒋晓东 袁晓东 祖小涛 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期760-764,共5页
采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化,结合材料去除速率测量,研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响。测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化。研究表明,熔石英表面重沉积层厚度约16 nm,亚表面缺陷层大于106 nm;重沉积层去除... 采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化,结合材料去除速率测量,研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响。测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化。研究表明,熔石英表面重沉积层厚度约16 nm,亚表面缺陷层大于106 nm;重沉积层去除后损伤阈值增大,随亚表面缺陷层暴露其阈值先降低后又增加,最后趋于稳定;然而,随蚀刻时间的增加,其表面粗糙度增大。分析表明,蚀刻到200 nm能有效地提高熔石英的低损伤阈值,有利于降低初始损伤点数量和提高熔石英表面的机械强度。 展开更多
关键词 ND:YAG激光 熔石英 化学腐蚀 亚表面缺陷 激光诱导损伤阈值
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环境气氛压强对熔石英紫外激光损伤阈值的影响 被引量:4
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作者 徐世珍 郑万国 +4 位作者 孙久勋 尹伟 袁晓东 吕海兵 祖小涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1649-1652,共4页
利用1:1,S:1,R:1方法,测试了不同真空度(10^-3~10^5Pa)和不同气氛(空气、氮气、氧气)环境下熔石英351nm激光损伤阚值,测试结果表明,用1:1,S:1方法测试得到的阈值在不同气氛压强下几乎相等;R:1损伤阈值受气压的影响较... 利用1:1,S:1,R:1方法,测试了不同真空度(10^-3~10^5Pa)和不同气氛(空气、氮气、氧气)环境下熔石英351nm激光损伤阚值,测试结果表明,用1:1,S:1方法测试得到的阈值在不同气氛压强下几乎相等;R:1损伤阈值受气压的影响较大,在小于等于10^3Pa气压下,较10^5Pa气压的阈值降低28%~41%;但R:1损伤闯值同气氛的关系不大,在同气压下差别小于10%,在测量值误差范围内。利用50%破坏几率对应的损伤阚值Fth(R:1)一半的激光能量密度辐照样品,考察其抗多脉冲辐照的能力,分析表明,在同样的能量密度辐照下,10。Pa空气及氮气环境和10^5Pa氮气环境下同样具有高的寿命;而106-3Pa高真空环境下其寿命较短,在10^-1Pa低真空环境下其寿命最短。 展开更多
关键词 Nd:YLF激光 熔石英 环境气氛 压强 激光损伤阈值
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飞秒激光脉冲作用下氧化镁的烧蚀及其超快动力学过程 被引量:4
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作者 徐世珍 贾天卿 +5 位作者 至展 李晓溪 冯东海 孙海轶 李成斌 王晓峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1126-1129,共4页
研究了双面抛光氧化镁单晶(111)表面800nm飞秒激光单脉冲烧蚀阈值和激光脉宽的依赖关系.利用泵浦-探针技术,测量不同能量和脉宽作用下飞秒激光烧蚀的时间分辨反射率的演化.通过扫描电镜观察其烧蚀形貌,发现大量的沿氧化镁[100]晶向开裂... 研究了双面抛光氧化镁单晶(111)表面800nm飞秒激光单脉冲烧蚀阈值和激光脉宽的依赖关系.利用泵浦-探针技术,测量不同能量和脉宽作用下飞秒激光烧蚀的时间分辨反射率的演化.通过扫描电镜观察其烧蚀形貌,发现大量的沿氧化镁[100]晶向开裂的裂纹.讨论了表面裂纹的形成机理,并解释了飞秒激光烧蚀氧化镁的超快动力学过程. 展开更多
关键词 飞秒激光脉冲 烧蚀 氧化镁 超快动力学
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K9玻璃表面颗粒污染物的激光清洗 被引量:5
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作者 徐世珍 窦红强 +1 位作者 韩丰明 祖小涛 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2017年第6期5-8,17,共5页
采用光学显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、图像分析软件等,对K9玻璃表面的灰尘颗粒污染物进行了激光直接辐照清洗及激光诱导等离子体冲击波清洗研究。结果表明,经激光直接辐照清洗后,其透射率得到大幅度的提高,但对微小颗粒移除效... 采用光学显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、图像分析软件等,对K9玻璃表面的灰尘颗粒污染物进行了激光直接辐照清洗及激光诱导等离子体冲击波清洗研究。结果表明,经激光直接辐照清洗后,其透射率得到大幅度的提高,但对微小颗粒移除效果不佳,且易于引起元件的激光辐照损伤;激光诱导等离子体冲击波清洗,能取得更好的清洗效果,且没有出现基底损伤。经激光诱导等离子体清洗后(激光诱导等离子体距样品表面距离1 mm,等效激光作用脉冲数10个,激光波长1 064 nm,激光能量70.7 m J),K9玻璃表面的355 nm激光损伤阈值(50%损伤几率)由5.8 J/cm^2提高到8.0 J/cm^2,与基底阈值8.5 J/cm^2相当。 展开更多
关键词 激光直接辐照清洗 激光等离子体冲击波清洗 颗粒污染物 K9玻璃
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金刚石表面飞秒激光直写微米石墨线 被引量:3
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作者 徐世珍 宋文亮 祖小涛 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2016年第4期52-54,共3页
利用120 fs、800 nm钛蓝宝石飞秒激光器微纳加工系统,在化学气相沉积金刚石薄片表面进行了石墨化的研究,得到了导电性良好的微米尺度的石墨线。利用Raman光谱研究了激光的功率、激光扫描速度等对石墨化程度的影响规律。结果表明,在飞秒... 利用120 fs、800 nm钛蓝宝石飞秒激光器微纳加工系统,在化学气相沉积金刚石薄片表面进行了石墨化的研究,得到了导电性良好的微米尺度的石墨线。利用Raman光谱研究了激光的功率、激光扫描速度等对石墨化程度的影响规律。结果表明,在飞秒激光直写区域有纳米晶石墨、无定型碳及残留金刚石存在。优化辐照激光能量和激光扫描速度参数,可以得到较好的纳米晶石墨线结构。以10μm/s扫描速度,1.14μJ激光能量刻写出了毫米级长度的石墨线。利用半导体电阻测试仪对其伏安特性进行了测试,测得1 mm长石墨线的电阻约67.2 kΩ。该研究对基于金刚石的生物传感器、放射量测定计,及器件内掩埋石墨电极等制备都有一定的指导意义。 展开更多
关键词 飞秒激光微加工 金刚石 石墨线 拉曼光谱
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预处理对355nm激光作用下熔石英损伤增长的影响 被引量:1
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作者 徐世珍 蒋晓东 +2 位作者 郑万国 袁晓东 祖小涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1436-1440,共5页
测试了经化学蚀刻、紫外激光预处理及其共同处理后的熔石英355 nm激光损伤阈值;研究了处理前后其损伤斑面积随激光辐照脉冲数的增长情况。结果表明,处理后熔石英355 nm激光损伤阈值得到了提高,且损伤斑面积增长变慢。利用CO2激光对熔石... 测试了经化学蚀刻、紫外激光预处理及其共同处理后的熔石英355 nm激光损伤阈值;研究了处理前后其损伤斑面积随激光辐照脉冲数的增长情况。结果表明,处理后熔石英355 nm激光损伤阈值得到了提高,且损伤斑面积增长变慢。利用CO2激光对熔石英表面损伤点进行了修复处理,修复后的损伤点R-on-1抗损伤阈值和基底阈值相当,损伤增长得到有效抑制。 展开更多
关键词 熔石英 ND:YAG激光 CO2激光 化学蚀刻 激光预处理
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大钩的可焊性分析及工艺研究 被引量:2
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作者 徐世珍 张敏 +2 位作者 林香祝 赵志会 陈立人 《石油矿场机械》 北大核心 2002年第3期32-35,共4页
对大钩可焊性进行了分析 ,通过直接模拟实验 ,得到了一组大钩的补焊工艺参数 ,成功地对其进行了补焊 。
关键词 大钩 可焊性分析 工艺 研究 铸钢 焊接 石油钻机
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基频和三倍频Nd:YAG激光诱导熔石英损伤特性
9
作者 徐世珍 袁晓东 +5 位作者 王海军 黄进 吕海兵 蒋晓东 祖小涛 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1067-1070,共4页
采用光电探测器和数字示波器检测散射光脉冲信号,研究了基频和三倍频Nd:YAG激光诱导熔石英损伤过程,给出了泵浦光和探针光的散射光光电信号;比较了基频和三倍频激光作用下熔石英烧蚀斑显微照片,并分析了其损伤机理。结果显示:在ns脉冲... 采用光电探测器和数字示波器检测散射光脉冲信号,研究了基频和三倍频Nd:YAG激光诱导熔石英损伤过程,给出了泵浦光和探针光的散射光光电信号;比较了基频和三倍频激光作用下熔石英烧蚀斑显微照片,并分析了其损伤机理。结果显示:在ns脉冲激光作用下,熔石英损伤均发生在泵浦激光脉冲峰值附近,且基频光作用下损伤开始时间点比三倍频作用下早;在多脉冲或高能量激光辐照下,检测到了等离子体闪光信号,等离子体闪光发生在时间延迟21 ns附近。基于Keldysh理论计算了基频光和三倍频光作用下,熔石英光致电离速率同激光强度的关系。 展开更多
关键词 ND:YAG激光 熔石英 损伤过程 热损伤 光学击穿
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稀土对铬钼钢高温力学性能的影响
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作者 徐世珍 张敏 林香祝 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期46-48,共3页
在ZG35CrMo中加入不同量的RE得到两个新钢种,在650℃下进行了高温拉伸性能试验。用光学显微镜和扫描电镜对其组织和断口进行的分析表明,RE可以显著提高ZG35CrMo的高温强度。
关键词 稀土 断口 高温强度
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激光辐照效应的研究型物理实验探索
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作者 徐世珍 向霞 +1 位作者 刘艺 祖小涛 《实验科学与技术》 2013年第5期226-229,共4页
介绍了激光辐照效应研究型物理实验的教学探索实践,利用CO2激光对石英玻璃元件表面进行辐照处理,实现对元件亚表面裂纹等缺陷的修复,另外对CO2激光辐照热效应过程进行了理论解释。该实验可作为高年级本科生的专业选修实验,以及课程设计... 介绍了激光辐照效应研究型物理实验的教学探索实践,利用CO2激光对石英玻璃元件表面进行辐照处理,实现对元件亚表面裂纹等缺陷的修复,另外对CO2激光辐照热效应过程进行了理论解释。该实验可作为高年级本科生的专业选修实验,以及课程设计或毕业设计的研究型实验,对培养和锻炼学生的创新能力,发挥学生的主观能动性等都有重要的意义。 展开更多
关键词 石英玻璃 CO2激光 激光辐照效应 研究型实验
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物理法和化学法制备的单层ZrO_2膜的激光损伤行为差异 被引量:9
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作者 郭袁俊 祖小涛 +5 位作者 蒋晓东 袁晓东 徐世珍 吕海兵 王毕艺 田东斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1849-1852,共4页
分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜,测试了两类薄膜的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌... 分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜,测试了两类薄膜的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明:两类薄膜的不同损伤形貌与薄膜的热吸收与微观结构有关,物理法制备的ZrO2膜结构致密紧凑,膜层的杂质和缺陷多;化学法制备的ZrO2膜结构疏松多孔,膜层纯净杂质少,激光损伤阈值达26.9 J/cm2;因物理法制备的ZrO2膜拥有更大的热吸收(115.10×10-6)和更小的孔隙率(0.20),其激光损伤阈值较小(18.8 J/cm2),损伤主要为溅射和应力破坏,而化学法制备的ZrO2膜的损伤主要为剥层。理论上对实验结果进行了解释。 展开更多
关键词 ZRO2薄膜 激光损伤阈值 热吸收 孔隙率 损伤形貌 电子束热蒸发 溶胶-凝胶
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熔石英亚表面划痕激光诱导损伤阈值实验研究 被引量:11
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作者 田东斌 祖小涛 +6 位作者 袁晓东 徐世珍 郭袁俊 蒋晓东 李绪平 吕海兵 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1547-1550,共4页
用原子力显微镜和光学显微镜观测酸蚀后熔石英亚表面划痕,并根据形貌特征将其分为Boussinesq-point-force crack(BPFC)、Hertzian-conical scratch(HCS)和Plastic indent(PI)三类,测试了各类划痕的损伤阈值,讨论了激光损伤机制。结果表... 用原子力显微镜和光学显微镜观测酸蚀后熔石英亚表面划痕,并根据形貌特征将其分为Boussinesq-point-force crack(BPFC)、Hertzian-conical scratch(HCS)和Plastic indent(PI)三类,测试了各类划痕的损伤阈值,讨论了激光损伤机制。结果表明锐度较大的BPFC损伤阈值不超过2.0 J/cm2;深度小于1μm的HCS阈值可达2.6 J/cm2;形变较大的PI阈值至2.8 J/cm2,形变较小的PI的激光损伤阈值与无缺陷材料相当。BPFC和深度超过1μm的HCS是导致熔石英损伤阈值低的主要因素。 展开更多
关键词 YAG激光 熔石英 亚表面缺陷 损伤阈值
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CO_2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值 被引量:8
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作者 李绪平 祖小涛 +9 位作者 袁晓东 蒋晓东 吕海兵 郑万国 唐灿 李珂 向霞 郭袁俊 徐世珍 袁兆林 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1739-1743,共5页
采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗。通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果。研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石... 采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗。通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果。研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片,可以先采用低能量的CO2激光进行大面积清洗,再用真空等离子体进行精细清洗。光学显微图像表明:清洗后的基片表面的油珠被清除干净;水滴接触角由63°下降到4°;在400 nm附近,基片透过率由92.3%上升到93.3%;损伤阈值由3.77 J/cm2上升到5.09 J/cm2。 展开更多
关键词 石英基片 硅油脂 激光清洗 等离子体清洗 激光损伤阈值
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用非晶晶化法制备纳米晶材料 被引量:8
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作者 张传历 李海滨 +2 位作者 韩伟 王海鹏 徐世珍 《钢铁研究学报》 CAS CSCD 北大核心 1994年第4期38-42,共5页
纳米晶材料具有一般固体材料所没有的优异的力学和电磁特性。通常的纳米晶材料为粉末、薄膜或细丝,因其尺度比较小,产业化比较困难。利用非晶晶化的方法可以制备纳米晶带材、丝材和粉末。例如纳米晶磁性材料Fe-Nb-Cu-Si-... 纳米晶材料具有一般固体材料所没有的优异的力学和电磁特性。通常的纳米晶材料为粉末、薄膜或细丝,因其尺度比较小,产业化比较困难。利用非晶晶化的方法可以制备纳米晶带材、丝材和粉末。例如纳米晶磁性材料Fe-Nb-Cu-Si-B、纳米晶强度材料Al-Ni-B-Fe等已用此法生产。其中纳米晶磁性材料已大量生产,达到实用规模。实验表明,非晶的成分、制备工艺以及随后晶化的方式都影响纳米晶的形成和以后的使用性能。 展开更多
关键词 晶体 纳米 非晶晶化法 纳米晶 磁性 力学性能
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ZrO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜膜层间的渗透行为 被引量:7
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作者 王毕艺 祖小涛 +7 位作者 赵松楠 郭袁俊 李绪平 徐世珍 吕海兵 蒋晓东 袁晓东 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1497-1500,共4页
分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了单层SiO2薄膜、单层ZrO2薄膜、ZrO2/SiO2双层膜和SiO2/ZrO2双层膜。采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,用椭... 分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了单层SiO2薄膜、单层ZrO2薄膜、ZrO2/SiO2双层膜和SiO2/ZrO2双层膜。采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率,用紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透射率。对薄膜的透射光谱和椭偏仪模拟的数据进行分析,发现SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透十分明显,而ZrO2/SiO2双层膜之间几乎不发生渗透。利用TFCalc模系设计软件,采用三层膜模型对薄膜的透射率进行模拟,得出的透射曲线与用紫外-可见光分光光度计测量的透射曲线十分符合。 展开更多
关键词 椭偏仪 模系设计 溶胶-凝胶 渗透 透射率
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溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理 被引量:5
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作者 章春来 祖小涛 +9 位作者 蒋晓东 袁晓东 王毕艺 宴良宏 张洪亮 徐世珍 田东斌 尹伟 赵松楠 吕海兵 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期956-960,共5页
以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理。采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性。研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,... 以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理。采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性。研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,折射率经氨处理先增大了0.236,再经热处理又减小了0.202,膜层透光性变好,透过率峰值持续向短波方向移动;经两步后处理的膜面平整度明显变好,与水的接触角先增大到58.92°后减小到38.07°。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 二氧化硅薄膜 氨处理 热处理 椭偏仪
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溶胶-凝胶SiO2酸性膜与碱性膜的激光损伤行为 被引量:4
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作者 郭袁俊 祖小涛 +5 位作者 蒋晓东 袁晓东 赵松楠 徐世珍 王毕艺 田东斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期939-942,共4页
采用溶胶-凝胶技术分别在K9基片上镀制了光学厚度相近的单层SiO2酸性膜和碱性膜。测试了两类薄膜的激光损伤阈值;分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜、扫描电镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形... 采用溶胶-凝胶技术分别在K9基片上镀制了光学厚度相近的单层SiO2酸性膜和碱性膜。测试了两类薄膜的激光损伤阈值;分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜、扫描电镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明:相对于碱性膜,酸性膜有更大的热吸收和更小的孔隙率,因此其激光损伤阈值较小;两类薄膜不同的损伤形貌与薄膜的热吸收系数与微观结构有关。 展开更多
关键词 激光损伤阈值 溶胶-凝胶 SIO2薄膜 热吸收 孔隙率 损伤形貌
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熔石英亚表面缺陷附近光强分布的数值模拟 被引量:5
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作者 田东斌 袁晓东 +6 位作者 祖小涛 王毕艺 徐世珍 郭袁俊 蒋晓东 李绪平 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期319-322,共4页
熔石英亚表面缺陷对光场的调制是导致激光辐照场破坏的主要因素。采用有限元方法对熔石英亚表面缺陷(平面和锥形划痕)周围的光强分布进行了数值模拟。结果表明:划痕形状、几何尺寸、方位角、光的入射角等是影响划痕周围光强分布的主要因... 熔石英亚表面缺陷对光场的调制是导致激光辐照场破坏的主要因素。采用有限元方法对熔石英亚表面缺陷(平面和锥形划痕)周围的光强分布进行了数值模拟。结果表明:划痕形状、几何尺寸、方位角、光的入射角等是影响划痕周围光强分布的主要因素;前表面划痕对光强的增强效果比后表面弱;在理想形状的划痕截面和表面同时发生内全反射时,平面划痕周围的光强增强效果明显。锥形划痕周围的光强分布为正确解释交叉划痕的夹角平分线附近的损伤提供了理论依据。 展开更多
关键词 亚表面微缺陷 光强增强因子 激光损伤 数值模拟
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熔石英亚表面缺陷的研究进展 被引量:4
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作者 蒋勇 袁晓东 +7 位作者 祖小涛 向霞 徐世珍 吕海兵 章春来 尹伟 陈猛 王成程 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第13期102-106,共5页
介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机械性能弱化3种诱导熔石英损伤的机理。还介绍了氢氟酸(HF)刻蚀和激光预处理2种非常有效的控制熔石英亚表... 介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机械性能弱化3种诱导熔石英损伤的机理。还介绍了氢氟酸(HF)刻蚀和激光预处理2种非常有效的控制熔石英亚表面缺陷的技术,并对熔石英亚表面缺陷研究现状、存在问题和发展趋势进行了简要的总结和展望。 展开更多
关键词 亚表面缺陷 缺陷量化 损伤机理 HF酸刻蚀 激光预处理
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