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氢等离子体裂解煤制乙炔的研究进展 被引量:7
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作者 方世东 孟月东 +3 位作者 舒兴胜 丛杰 沈洁 陈龙威 《洁净煤技术》 CAS 2009年第5期60-61,70,共3页
论述了氢等离子体裂解煤制乙炔的原理,介绍了国内中试规模的实验装置及相关的工艺操作条件,提出了反应器结焦原因及清焦方法。
关键词 氢等离子体 乙炔 裂解
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氢等离子体裂解煤制乙炔结焦物形成机理 被引量:3
2
作者 方世东 李绪奇 +3 位作者 赵颖 陈龙威 沈洁 孟月东 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1590-1595,共6页
为研究氢等离子体裂解煤制乙炔过程中的结焦物形成机理,用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对反应器内混合段和反应段结焦物进行了分析。结果表明不同位置的结焦物形貌和石墨化程度不同:混合段结焦物以碳纳米管和碳微球为主,石墨化... 为研究氢等离子体裂解煤制乙炔过程中的结焦物形成机理,用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对反应器内混合段和反应段结焦物进行了分析。结果表明不同位置的结焦物形貌和石墨化程度不同:混合段结焦物以碳纳米管和碳微球为主,石墨化程度最高;第一反应段结焦物中碳微球颗粒较大,石墨化程度较高;第二反应段结焦物中有炭黑颗粒,石墨化程度较低。结合化学平衡理论分析,推测了结焦物不同的原因是裂解产物经历了不同途径形成结焦:混合段中煤粉颗粒、气态碳、固态碳,在壁面形成结焦;第一反应段中气态碳的气相沉积对壁面结焦影响增加;第二反应段结焦以固相吸附而形成。对不同挥发份的煤进行了实验,发现挥发份高的煤结焦严重。因此为减少或抑制结焦物形成,应选用低挥发份煤。 展开更多
关键词 氢等离子体 裂解 乙炔 结焦物 石墨化
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电感耦合等离子体对HDPE粉体的表面处理 被引量:2
3
作者 方世东 姚日生 +3 位作者 孟月东 何红波 张呈旭 胡觉 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期36-39,共4页
用搅拌式电感耦合等离子体反应器对高密度聚乙烯(HDPE)粉体进行表面处理,采用水接触角、红外光谱(FT-IR)和X射线光电子能谱(XPS)对等离子体处理前后HDPE粉体的水接触角、表面成分的变化进行分析。实验结果表明,随着等离子体处理时间延... 用搅拌式电感耦合等离子体反应器对高密度聚乙烯(HDPE)粉体进行表面处理,采用水接触角、红外光谱(FT-IR)和X射线光电子能谱(XPS)对等离子体处理前后HDPE粉体的水接触角、表面成分的变化进行分析。实验结果表明,随着等离子体处理时间延长和放电功率增加,水接触角减小。在功率100W处理30min后,水接触角从处理前的134°降到50.9°。FT-IR和XPS分析表明,在等离子体处理过程中,由于氧化作用,HDPE粉体表面有C-O、C=O和O-C=O含氧极性官能团生成,含氧极性官能团的增加导致粉体表面水接触角减小。 展开更多
关键词 等离子体 高密度聚乙烯粉体 表面处理
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三光气法合成含溴阻燃聚碳酸酯的研究 被引量:3
4
作者 方世东 边侠玲 +2 位作者 尤亚华 邓胜松 何红波 《安徽化工》 CAS 2005年第2期26-27,共2页
利用三光气与四溴双酚A、双酚A共缩聚的方法制备出含溴阻燃聚碳酸酯,并用FTIR、LOI等对其性能进行了表征。结果表明:该方法制备的含溴阻燃聚碳酸酯LOI=55,粘均分子量为33200,有较好的阻燃性与成型加工性能。
关键词 阻燃聚碳酸酯 含溴 光气法 合成 成型加工性能 四溴双酚A 粘均分子量 三光气 共缩聚 LOI 阻燃性 制备
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大气压等离子体射流对细菌芽孢灭活机理研究 被引量:7
5
作者 沈洁 程诚 +3 位作者 方世东 陈龙威 孟月东 罗家融 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期888-892,共5页
为研究低温大气压等离子体灭菌机理,设计了一种单电极等离子射流装置。使用该装置对枯草杆菌芽孢进行了细菌灭活实验。利用扫描电镜(SEM)观察了氩等离子体处理前后细菌芽孢的形貌变化;测量了等离子体处理后枯草杆菌芽孢蛋白质泄漏量,并... 为研究低温大气压等离子体灭菌机理,设计了一种单电极等离子射流装置。使用该装置对枯草杆菌芽孢进行了细菌灭活实验。利用扫描电镜(SEM)观察了氩等离子体处理前后细菌芽孢的形貌变化;测量了等离子体处理后枯草杆菌芽孢蛋白质泄漏量,并进行了光谱诊断。实验结果表明枯草杆菌芽孢经氩等离子体射流处理5 min后,芽孢杀灭率低于两个量级。温度和紫外光在细菌灭活中作用较小,羟基自由基不起主要作用。SEM结果显示氩等离子体处理5 min后枯草杆菌芽孢形态基本保持完整。根据SEM、蛋白质泄漏量和发射光谱分析结果,推断高能粒子在细菌灭活中起主要作用。高能粒子对细菌细胞壁和细胞膜造成一定的刻蚀作用,并最终导致了枯草杆菌芽孢的失活。 展开更多
关键词 细菌灭活 等离子体射流 低温等离子体 枯草杆菌芽孢 扫描电镜 蛋白质泄漏
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三光气法超高分子量聚碳酸酯的结构与性能表征 被引量:4
6
作者 姚日生 豆海华 +3 位作者 尤亚华 邓胜松 张洪斌 方世东 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期193-196,共4页
利用三光气与双酚A采用常规界面缩聚方法制备出超高分子量线形聚碳酸酯,并用GPC、FT-IR、DSC、TGA等对其主要理化性能进行了表征。结果表明,(1)该方法制备的双酚A型超高分子量线形聚碳酸酯重均分子量M-w=172,800,分子量分布指数Pd=1.413... 利用三光气与双酚A采用常规界面缩聚方法制备出超高分子量线形聚碳酸酯,并用GPC、FT-IR、DSC、TGA等对其主要理化性能进行了表征。结果表明,(1)该方法制备的双酚A型超高分子量线形聚碳酸酯重均分子量M-w=172,800,分子量分布指数Pd=1.413,在氮气氛围中起始分解温度468℃,在空气氛围中,加入0.5份Igofos168抗氧剂起始分解温度即达到467℃,热稳定性较好,便于成型加工;(2)不同的后处理方法得到的样品其DSC曲线有较大差别:采用甲醇快速沉淀得到的样品看不到明显玻璃化转变,且之后出现熔融峰,而用丙酮缓慢沉淀得到的则相反。 展开更多
关键词 超高分子量聚碳酸酯 表征 三光气
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等离子体法制备碳纳米管负载银粒子及抑菌性研究
7
作者 李绪奇 姚日生 +2 位作者 何红波 方世东 汪闯 《安徽化工》 CAS 2014年第5期10-12,共3页
通过温和的等离子体法制备出碳纳米管负载纳米银粒子,并研究了其对大肠杆菌的抑制作用。首先用氧等离子体处理碳纳米管,再将银离子负载在碳纳米管表面上,接着用氢等离子体将负载的银离子还原成纳米银粒子。用TEM和XRD对制备出的银粒子... 通过温和的等离子体法制备出碳纳米管负载纳米银粒子,并研究了其对大肠杆菌的抑制作用。首先用氧等离子体处理碳纳米管,再将银离子负载在碳纳米管表面上,接着用氢等离子体将负载的银离子还原成纳米银粒子。用TEM和XRD对制备出的银粒子进行表征,研究表明,平均粒径为5nm左右的银粒子负载在碳纳米管表面。对大肠杆菌的抑菌实验表明,Ag-CNTs浓度大于1μg/mL时,对大肠杆菌生长抑制效果明显。 展开更多
关键词 等离子体 碳纳米管 银粒子 抑菌性能
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等离子体热解煤制乙炔结焦机理的研究 被引量:2
8
作者 朱桂林 孟月东 +1 位作者 舒兴胜 方世东 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期99-102,共4页
利用新疆长焰煤为原料在2 MW等离子体热解煤制乙炔中试装置上进行热解实验时反应器壁上有结焦物生成。为了有助于实验中减少乃至避免它们的生成,通过SEM以及XRD方法对这些结焦物进行了研究。结果表明:位于反应器不同部位处的结焦物具有... 利用新疆长焰煤为原料在2 MW等离子体热解煤制乙炔中试装置上进行热解实验时反应器壁上有结焦物生成。为了有助于实验中减少乃至避免它们的生成,通过SEM以及XRD方法对这些结焦物进行了研究。结果表明:位于反应器不同部位处的结焦物具有不同的微观形貌。在此基础上推测了结焦物的生成机理,即混合段壁侧结焦物通过铜的催化作用生成,第1以及第2反应段壁侧结焦物由煤粉碎片所组成;相应的气体侧结焦物则分别通过气-固、气-固以及焦油的吸附/去氢反应生成。结焦物的石墨化程度往下游方向逐渐增强,这一现象由结焦物自身石墨化属性所决定。 展开更多
关键词 等离子体 热解 结焦物 SEM XRD
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裂解煤制乙炔的热等离子体发生器概述 被引量:3
9
作者 张立鹏 孟月东 +1 位作者 舒兴胜 方世东 《洁净煤技术》 CAS 2009年第1期85-88,共4页
热等离子体具有高温、高焓值和高反应活性等优点,可以用于裂解煤制取乙炔的工艺中。目前已运行的一些等离子体裂解煤制乙炔装置已经达到了中试规模。在此工艺流程中等离子体发生器是核心。介绍了一些裂解煤制乙炔工艺常见的热等离子体... 热等离子体具有高温、高焓值和高反应活性等优点,可以用于裂解煤制取乙炔的工艺中。目前已运行的一些等离子体裂解煤制乙炔装置已经达到了中试规模。在此工艺流程中等离子体发生器是核心。介绍了一些裂解煤制乙炔工艺常见的热等离子体发生器,主要是电弧等离子体发生器,其中着重介绍各种类型的直流电弧等离子体发生器,包括直线式、同轴式和V型等离子体发生器。简述了多孔阳极等离子体发生器以及煤制乙炔等离子体发生器所面临的一些问题。 展开更多
关键词 乙炔 热等离子体发生器
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低功率电弧放电辅助甲烷燃烧的实验研究 被引量:1
10
作者 张军 方世东 +4 位作者 舒兴胜 汪闯 左潇 孟月东 王守国 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期373-378,共6页
利用低功率电弧放电辅助甲烷燃烧,研究了在不同甲烷/空气比例的情况下,等离子体对甲烷燃烧的影响。采用发射光谱仪进行光谱诊断,比较有/无等离子体辅助甲烷燃烧火焰发射光谱的异同,讨论了等离子体辅助燃烧可能发生的过程和机理。比较有... 利用低功率电弧放电辅助甲烷燃烧,研究了在不同甲烷/空气比例的情况下,等离子体对甲烷燃烧的影响。采用发射光谱仪进行光谱诊断,比较有/无等离子体辅助甲烷燃烧火焰发射光谱的异同,讨论了等离子体辅助燃烧可能发生的过程和机理。比较有/无等离子体辅助甲烷燃烧火焰温度的变化。利用气相色谱和烟气分析仪对甲烷燃烧产物中的CH_4、CO和O_2进行分析。实验结果表明,加等离子体后,火焰的温度升高,尾气中的可燃性成分减少,氧气含量降低,在很大程度上提高了甲烷的燃烧效率;甲烷/空气的比例越低,燃烧效率的提高越明显;甲烷的富燃燃烧极限从16%调高到21%。 展开更多
关键词 发射光谱 转动温度 气相色谱 浓度测量
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低温等离子体气相法制备氯化聚氯乙烯 被引量:8
11
作者 熊新阳 孟月东 +2 位作者 宋晓玲 周军 方世东 《聚氯乙烯》 CAS 2006年第7期7-8,14,共3页
介绍了氯化聚氯乙烯树脂的生产方法,研究了低温等离子体气相法制备氯化聚氯乙烯的新方法;试验结果表明:低温等离子体氯化工艺能够使聚氯乙烯快速氯化。
关键词 氯化聚氯乙烯 低温等离子体 气相法
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Mechanistic study on 4,4'-sulfonylbis removal with CO_(2)/Ar gas-liquid DBD plasma
12
作者 Guangjia WANG Shidong FANG +2 位作者 Baoguo LIN Chengzhu ZHU Jie SHEN 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第10期82-92,共11页
In this study,a single dielectric barrier discharge(DBD)coaxial reactor was used to degrade 4,4'-sulfonylbis(TBBPS)in water using greenhouse gas(CO_(2))and argon as the carrier gases.The investigation focused on C... In this study,a single dielectric barrier discharge(DBD)coaxial reactor was used to degrade 4,4'-sulfonylbis(TBBPS)in water using greenhouse gas(CO_(2))and argon as the carrier gases.The investigation focused on CO_(2)conversion,reactive species formation,gas-liquid mass transfer mechanism,and degradation mechanism of TBBPS during the discharge plasma process.With the decrease of CO_(2)/Ar ratio in the process of plasma discharge,the emission spectrum intensity of Ar,CO_(2)and excited reactive species was enhanced.This increase promoted collision and dissociation of CO_(2),resulting in a series of chemical reactions that improved the production of reactive species such as·OH,^(1)O_(2),H_(2)O_(2)and O_(3).These reactive species initiated a sequence of reactions with TBBPS.Results indicated that at a gas flow rate of 240 mL/min with a CO_(2)/Ar ratio of 1:5,both the highest CO_(2)conversion rate(17.76%)and TBBPS degradation rate(94.24%)were achieved.The degradation mechanism was elucidated by determining types and contents of reactive species present in treatment liquid along with analysis of intermediate products using liquid chromatography-mass spectrometry techniques.This research provides novel insights into carbon dioxide utilization and water pollution control through dielectric barrier discharge plasma technology. 展开更多
关键词 dielectric barrier discharge carbon dioxide conversion 4 4'-sulfonylbis wastewater treatment
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锌粉还原法合成对苯二胺的研究 被引量:11
13
作者 李明慧 王井 +1 位作者 方世东 何钟林 《光谱实验室》 CAS CSCD 2001年第6期796-798,共3页
在酸性介质中 ,用锌粉还原对硝基苯胺制备对苯二胺 ,通过影响反应因素的研究 ,如反应物配比、温度、反应时间等 ,寻找出了较佳反应条件 :对硝基苯胺与锌粉的摩尔比为 1∶ 4 ,反应温度为 80— 85℃ ,反应时间为 6h,对苯二胺的产率可达 9... 在酸性介质中 ,用锌粉还原对硝基苯胺制备对苯二胺 ,通过影响反应因素的研究 ,如反应物配比、温度、反应时间等 ,寻找出了较佳反应条件 :对硝基苯胺与锌粉的摩尔比为 1∶ 4 ,反应温度为 80— 85℃ ,反应时间为 6h,对苯二胺的产率可达 90 %。克服了铁粉还原法的弊端 。 展开更多
关键词 对硝基苯胺 锌粉 还原 对苯二胺 合成 染料中间体
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稻壳中水合二氧化硅溶出影响因素实验研究 被引量:5
14
作者 方世东 李洪亮 +2 位作者 方书起 常春 陈俊英 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2350-2354,共5页
对水合二氧化硅的溶出工艺进行了实验研究。实验方法为:稻壳先在管式炉内炭化并通入水蒸气得到稻壳灰,后用氢氧化钠溶液与稻壳灰内水合二氧化硅反应将其溶出。考察并讨论了炭化阶段和反应过程中对水合二氧化硅溶出率的主要影响因素。实... 对水合二氧化硅的溶出工艺进行了实验研究。实验方法为:稻壳先在管式炉内炭化并通入水蒸气得到稻壳灰,后用氢氧化钠溶液与稻壳灰内水合二氧化硅反应将其溶出。考察并讨论了炭化阶段和反应过程中对水合二氧化硅溶出率的主要影响因素。实验结果表明:合适的炭化温度为600℃,稻壳与水蒸气用量比(质量比)是1∶2,炭化时间为30min,氢氧化钠质量分数为3%,反应时间是180min,固液比为1∶20(g/mL),在溶出过程中,水合二氧化硅的溶出率可达到98.83%。 展开更多
关键词 稻壳 水合二氧化硅 溶出 炭化 氢氧化钠 水蒸气
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Surface Treatment of Polypropylene Powders Using a Plasma Reactor with a Stirrer 被引量:1
15
作者 方世东 孟月东 +1 位作者 沈洁 丛杰 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第2期217-222,共6页
A radio frequency argon plasma reactor with a stirrer was employed for the surface treatment of polypropylene (PP) powders. The changes in the superficial contact angle and the superficial composition of the un-trea... A radio frequency argon plasma reactor with a stirrer was employed for the surface treatment of polypropylene (PP) powders. The changes in the superficial contact angle and the superficial composition of the un-treated and treated PP powders were analyzed by means of water contact angle (WCA) measurement, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and attenuated total reflection Fourier transform infrared spectroscopy (ATR-FTIR). The water contact angle changed from the original value of 130.2° before plasma treatment to the value of 73.6° after treatment for 5 minutes. With the increase in plasma treating time, there were a decrease in the water contact angle and an increase in the content of oxygen containing polar functional groups (i.e., C-O, C=O and O-C=O). Both XPS and ATR-FTIR results indicated that the plasma treatment led to the formation of oxygen containing polar functional groups due to oxidation on the surface of the PP powders, and the trend of variation of the water contact angle with plasma treating time was related to the concentration of oxygen atom on the treated PP powders surface. Furthermore, the aging of the plasma-treated PP powders was investigated. 展开更多
关键词 PLASMA polypropylene powders surface treatment
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介质阻挡放电辅助氨/空气预混旋流燃烧试验 被引量:1
16
作者 陈磊 沈洁 +3 位作者 江贻满 吴进 陈加淮 方世东 《洁净煤技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期1-7,共7页
氨是一种高效氢载体,有望成为下一代无碳燃料,但较窄的燃烧极限和较高的NO_(x)排放阻碍其使用。等离子体是一种高效、低能耗的助燃方法,得到广泛应用。设计搭建自制的耦合介质阻挡放电的氨/空气预混旋流燃烧台架,研究了燃烧极限、火焰... 氨是一种高效氢载体,有望成为下一代无碳燃料,但较窄的燃烧极限和较高的NO_(x)排放阻碍其使用。等离子体是一种高效、低能耗的助燃方法,得到广泛应用。设计搭建自制的耦合介质阻挡放电的氨/空气预混旋流燃烧台架,研究了燃烧极限、火焰形貌、O_(2)和NO_(x)含量的变化规律。未放电时,贫燃极限为0.75,富燃极限为1.1~1.2。当量比为0.9时,火焰传播速度最快,火焰最短;在贫/富燃极限附近时,火焰充满整个燃烧室。当量比在1.05~1.10时,NO含量保持在较低水平,未生成NO_(2)。当量比由1.05减小至0.75时,NO体积分数由97×10^(-6)(3.5%O_(2))增至2785×10^(-6)(3.5%O_(2))。随当量比降低,少量NO会进一步被氧化为NO_(2),当量比为0.75时,NO_(2)体积分数达171×10^(-6)(3.5%O_(2))。介质阻挡放电明显增强燃烧反应,抑制壁面猝熄的负面作用,O_(2)略下降,燃烧极限扩展至0.65~1.30。当量比0.75~1.05生成的NO_(x)同比减少40%~45%。分析探讨氨燃烧生成NO_(x)机制,发现NO_(x)主要来源于燃料,并随当量比降低,O/H浓度提高,NH_(i)浓度降低,产生NO的副反应占比升高,有利于NO_(x)生成。放电产生大量活性自由基,其中NH_(i)促进NO+NH_(i)和NH_(i)+NH_(i)反应是NO_(x)减少的重要原因。等离子体辅助氨燃烧能显著扩宽燃烧极限,减少NO_(x)生成,为氨的清洁高效燃烧提供一种新方法。 展开更多
关键词 氨/空气旋流燃烧 介质阻挡放电 燃烧极限 无碳燃料 NO_(x)
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乙醇脱水3A分子筛吸附剂吸附性能的研究 被引量:5
17
作者 徐春玲 方世东 钱焕江 《广州化工》 CAS 2018年第11期41-43,共3页
研究了乙醇脱水3A分子筛吸附剂对水和乙醇的气相吸附性能,在Φ100 mm的吸附柱中测定了乙醇脱水吸附剂吸附乙醇溶液中水的穿透曲线。考察了吸附过程中进料流速、进料温度、床层高度和进料浓度等因素对吸附穿透曲线的影响。结果表明:3A分... 研究了乙醇脱水3A分子筛吸附剂对水和乙醇的气相吸附性能,在Φ100 mm的吸附柱中测定了乙醇脱水吸附剂吸附乙醇溶液中水的穿透曲线。考察了吸附过程中进料流速、进料温度、床层高度和进料浓度等因素对吸附穿透曲线的影响。结果表明:3A分子筛对水的吸附能力比对乙醇较强,可以选择性吸附水分,达到脱水目的。3A分子筛在高温下仍然具有很好的吸水性能,具有很高的工业应用价值。 展开更多
关键词 分子筛 无水乙醇 吸附性能 穿透曲线
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Numerical Study on the Acetylene Concentration in the Hydrogen-Carbon System in a Hydrogen Plasma Torch 被引量:2
18
作者 陈龙威 沈洁 +3 位作者 舒兴胜 方世东 张立鹏 孟月东 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期321-326,共6页
Effects of the hydrogen/carbon mole ratio and pyrolysis gas pressure on the acetylene concentration in the hydrogen-carbon system in a plasma torch were numerically calculated by using the chemical thermodynamic equil... Effects of the hydrogen/carbon mole ratio and pyrolysis gas pressure on the acetylene concentration in the hydrogen-carbon system in a plasma torch were numerically calculated by using the chemical thermodynamic equilibrium method of Gibbs free energy. The calculated results indicate that the hydrogen concentration and the pyrolysis gas pressure play crucial roles in acetylene formation. Appropriately abundant hydrogen, with a mole ratio of hydrogen to carbon about 1 or 2, and a relatively high pyrolysis gas pressure can enhance the acetylene concentration. In the experiment, a compromised project consisting of an appropriate hydrogen flow rate and a feasible high pyrolysis gas pressure needs to be carried out to increase the acetylene concentration from coal pyrolysis in the hydrogen plasma torch. 展开更多
关键词 acetylene concentration chemical thermodynamic equilibrium Gibbs free energy
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Characterization of Carbon Deposits Formed During Plasma Pyrolysis of Xinjiang Candle Coal 被引量:1
19
作者 朱桂林 孟月东 +1 位作者 舒兴胜 方世东 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第4期487-492,共6页
Carbon deposits were formed on the reactor wall during plasma pyrolysis of the Xinjiang candle coal in our V-style plasma pyrolysis pilot-plant. The carbon deposits were studied using a scanning electronic microscope ... Carbon deposits were formed on the reactor wall during plasma pyrolysis of the Xinjiang candle coal in our V-style plasma pyrolysis pilot-plant. The carbon deposits were studied using a scanning electronic microscope (SEM) and the X-ray diffraction (XRD) method. It was found that carbon deposits located at different parts in the reactor exhibited different microscopic patterns. The formation mechanism of the carbon deposits was deduced. The downward increase in the graphitization degree of the carbon deposits was found and interpreted. 展开更多
关键词 COAL PLASMA PYROLYSIS carbon deposits SEM XRD
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Linear Plasma Sources for Large Area Film Deposition:A Brief Review 被引量:1
20
作者 魏钰 左潇 +4 位作者 陈龙威 孟月东 方世东 沈洁 舒兴胜 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期356-362,共7页
By utilization of different excitation power sources, linear plasma sources can be differentiated into DC, RF, VHF, microwave and dual frequency types. Through installing several linear plasma sources in parallel or a... By utilization of different excitation power sources, linear plasma sources can be differentiated into DC, RF, VHF, microwave and dual frequency types. Through installing several linear plasma sources in parallel or adopting the so-called roll-to-roll (air-to-air) process, scale uniform linear plasma sources were realized and successfully applied to the deposition of large area uniform dielectric thin films, Furthermore, the magnetic field system can effectively reduce the recombination losses on the wall of the vacuum chamber and enhance the plasma density. Linear plasma sources with approximately one square meter deposition area with the plasma density of 1011 cm 3 have been developed, some of which have been used for the deposition of dielectric layers and large area plasma etching. 展开更多
关键词 linear plasma sources large area UNIFORM high density
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