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题名面向视觉伺服的芯片图像Zynq预处理系统
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作者
景鹏阁
龚时华
周丹宇
于思恂
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《计算机测量与控制》
2024年第11期287-293,共7页
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基金
国家自然科学基金(52175462)。
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文摘
晶圆芯片定位精度直接影响到芯片制造的效率和质量,视觉伺服作为一种实时控制方法,引入了视觉反馈,不仅能够保证芯片定位精度还具有良好的鲁棒性;同时图像处理的实时性对视觉伺服至关重要;传统的使用PC机和网线的图像处理方式实时性和准确性较差,为了提高这一过程中视觉反馈的精度和实时性,提出并设计了一套面向视觉伺服的芯片图像Zynq预处理系统;系统通过在Zynq PL端的片内设计和PS端的控制设计,对采集到的芯片图像进行去噪、Sobel处理,并给芯片粗定位,为芯片的伺服控制提供有效数据;经实验表明,该系统实时性强,位置识别稳定,达到设计要求。
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关键词
芯片制造
Zynq
FPGA
视觉伺服
图像处理
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Keywords
chip manufacturing
Zynq
FPGA
visual servo
image processing
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分类号
TN911.73
[电子电信—通信与信息系统]
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