电子束蒸发制备CdS多晶薄膜及性质研究

采用电子束蒸发工艺在普通玻璃衬底上制备了硫化镉(CdS)多晶薄膜,研究了不同衬底温度对薄膜结构、表面形貌及光透过率的影响。测试结果显示:(1)不同衬底温度下沉积的CdS薄膜均呈现了〈002〉晶向的高度优势生长,属于六方相结构。随着衬底温度的升高,还逐渐出现了〈103〉、〈004〉、〈105〉等六方晶向;(2)CdS多晶薄膜表面连续,致密性好,且晶粒大小随着衬底温度的升高而增大;(3)低温下制备CdS薄膜吸收谱有较宽的吸收边,随着衬底温度的升高,吸收曲线趋于陡直。制备样品在550nm波段后的平均透过率都超过70%,符合作为CdTe太阳电池的窗口层。

CdS多晶薄膜的制备与光学性质研究

采用电子束蒸发法制备CdS多晶薄膜,研究了衬底温度和退火方式对薄膜光学性质的影响。XRD测试显示,制备样品为六方相多晶结构,沿(002)晶向择优取向生长,在200℃衬底温度时具有最大的择优取向度。对样品的紫外-可见透过谱测试表明,随着衬底温度的升高,薄膜的光吸收边逐渐变陡,光学带隙逐渐增大。退火后,CdS薄膜光吸收边变的更加陡直,光谱透过性能进一步提升,但光学带隙变化很小。此外,制备样品的XRD谱、光吸收边和光学带隙在250℃衬底温度下出现反常变化。同时对上述变化产生的根源进行了分析和讨论。

有机小分子发光材料的研究

系统介绍了红、绿、蓝三基色有机小分子电致发光材料的分类,分析了材料发光特性与分子结构的关系,并介绍目前的最新研究进展。

CdS多晶薄膜的制备及性质研究

分别采用近空间升华法和电子束蒸发法在透明导电玻璃和普通载玻片上制备了硫化镉(CdS)多晶薄膜。对制备样品的表征结果表明:(1)两种方法制备样品都沿(002)晶向择优生长,属于六方相多晶结构,但择优取向度不同;(2)CdS薄膜表面连续而致密,粒径均匀,但两种工艺制备样品的S:Cd原子比有较大差异;(3)CdS薄膜的光能隙在2.39～2.44eV之间,电子束蒸发制备样品光能隙稍小。分析认为,两种方法制备样品的上述差异可能与衬底温度、沉积时间及成膜机制的不同相关。

有机电致发光材料研究进展

有机发光二级管(OLED)具有主动发光、高亮度、低驱动电压、结构简单和发光颜色可调等优点,目前在平板显示、高效节能照明光源等领域显示出了极大的应用前景.本文按分类系统介绍了近年来有机电致发光材料的研究进展,通过对有机分子化学结构与发光特性、成膜特性等关系的分析,指出了各类材料的优缺点并预测了未来发展前景.

低温多晶硅薄膜的制备评述

低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)驱动技术是实现大尺寸全彩平板显示的必由之路。然而,传统的低温多晶硅薄膜制作工艺存在着工序复杂、薄膜均匀性差、可能有金属污染且造价昂贵等问题。因此,有必要研发新一代的低温多晶硅薄膜制备工艺以期进一步提高薄膜质量,降低驱动成本。本文首先介绍了金属诱导横向晶化法(MILC)和准分子激光晶化法(ELA)制备低温多晶硅薄膜的原理,分析了两者各自的优缺点。接着,重点阐述了电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)的工作原理和特点,并介绍了目前ICP-CVD在低温多晶硅薄膜制备上所取得的进展。

PbI_2厚膜的结构、形貌与光谱性质研究

毫米级厚度碘化铅(PbI2)膜是制造下一代阵列高能辐射探测器的关键材料。采用近空间升华法制备了PbI2厚膜,研究升华源温度对制备样品晶体结构、表面形貌及光谱性质的影响。结果表明,随着源温度的升高,样品厚度由1 000μm下降到220μm。X射线衍射测试表明,厚膜为沿(002)晶面择优取向生长的六方相多晶结构,其晶粒尺寸、位错密度及生长应力与源温度密切相关。扫描电子显微镜测试显示,样品由六方片状颗粒堆积而成,其颗粒直径约为248μm,厚约32.7μm,有明显的层状结构。解谱拟合发现,样品的拉曼光谱有147,169,217和210cm-1等4个散射峰,前三个峰对应于4H晶型PbI2晶体的纵光学波振动模式,210cm-1来源于衬底SnO2的相关振动模式。随源温度的升高,147cm-1拉曼峰有明显变化,其峰强高于225℃时出现大幅度的下降,峰形展宽。在340nm光激发下,样品的室温光致发光谱在2.25,2.57和2.64eV附近出现弱的发光峰,来源于与缺陷和激子相关的复合。综合结构表征与光谱测试结果,200℃时沉积的PbI2厚膜具有最佳的结晶质量,其厚度约为659μm。

近空间升华法制备CdS多晶薄膜的研究

系统地研究了近空间升华法(CSS)制备CdS薄膜沉积速率的影响因素。发现CdS薄膜的沉积速率随升华源温度的升高而增大,但随衬底温度和沉积气压的上升而下降。对所制备样品的结构、表面形貌和光谱透过率特性进行了测试,结果表明:(1)不同氧分压下沉积的CdS薄膜沿(103)晶向择优生长。CdCl2氛围下退火后,(103)晶向的优势得到进一步加强;(2)不同氧分压制备的CdS薄膜致密且粒径均匀,晶粒的大小随着衬底温度的升高而增大,但薄膜的粗糙度也随之增大;(3)随着CdS薄膜厚度的减小,可见光中短波段的透过率有所增大,有利于提高太阳电池的短波光谱响应。并将CSS制备的CdS多晶薄膜用于CdTe太阳电池的制作,获得了10.29%的光电转换效率,初步验证了该制作工艺的可行性。

有机薄膜发光器件的研究进展

有机薄膜电致发光器件具有发光效率高、驱动电压低、功耗小、响应速度快等优点,已成为近年来显示技术领域的研究热点。基于有机发光器件的能级结构,分析了电极、有机薄膜以及界面三者对器件性能的影响及相应的改进措施。重点介绍了有机发光材料的研究进展,简要介绍了国内外在有机电致发光显示方面的最新进展。

低温多晶硅薄膜制备技术应用进展

系统介绍了金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法、触媒化学气相沉积法(Cat-CVD)以及电感耦合等离子体化学气相沉积法(ICP-CVD)制备低温多晶硅薄膜的原理及进展。对不同制备工艺的优势和不足进行了比较,重点讨论了Cat-CVD和ICP-CVD在实用化中需克服的技术问题。对上述制备方法的应用前景作了评述和展望。

Si薄膜介电函数的椭偏光谱分析

椭圆偏振光谱法(简称椭偏法)是一种常见的薄膜光学参数测试方法,具有灵敏度高、测试精度高且对测试样品无损伤等优点。首先系统介绍了有效介质近似(EMA)理论模型的基本原理,在此基础上,采用EMA模型对制备的Si薄膜样品的椭偏光谱测试结果进行了计算机拟合。结果表明,当设定样品结构为多晶、非晶和孔隙的混合物时,计算结果与测试数据完全吻合,由此得到了样品的微观结构信息。

有机电致发光显示器的研究进展

有机电致发光显示器具有功耗小、驱动电压低、视角宽、响应速度快等优点,是近年来平板显示技术领域的研究热点。本文在简要介绍有机电致发光器件工作原理的基础上,对有机电致发光材料、有机电致发光显示器(OLED)面板及其驱动技术的相关进展进行了阐述。最后,论文简单分析OLED的应用前景,展望了OLED在未来的产业化进程中所面临的机遇和挑战。

电感耦合等离子体源的研究进展

在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体——电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,总结了ICP目前存在的问题,展望了其应用前景。

有机发光显示器件的研究进展

有机发光显示器件的自主发光、低功耗、宽视角和快响应速度等优点,使之成为新一代平板显示器件的有力竞争者。在阐述有机发光材料和有机显示面板研究进展的基础上,重点介绍了有机显示器件中两种较为成熟的驱动电路及其优缺点,论文同时还对上述核心技术目前存在的问题进行了简要的分析。最后讨论了有机显示实现大规模产业化所面临的机遇和挑战。

有机电致发光器件的研究进展

有机电致发光器件(OELD)具有驱动电压低,功耗小,亮度高,响应速度快等优点,由其制作有机发光显示器件已被视为下一代最理想的显示技术。在简要介绍OELD器件结构、发光机理和制备工艺的基础上系统阐述了有机发光材料、OELD显示器件及驱动技术的研究进展,最后展望了该领域目前存在的问题及可能的解决方向。

有机电致发光显示器件的研究

基于有机电致发光器件的能级结构,阐述电极薄膜优化对提高载流子注入效率的作用。系统评述了红绿蓝三原色有机发光材料在荧光量子效率、稳定性、寿命等方面的进展。在对比分析有机显示器件被动矩阵和主动矩阵两种驱动方式技术特点的基础上,介绍了主动矩阵的薄膜晶体管TFT驱动电路的研究进展及相关技术难点。最后简要回顾有机面板在显示尺寸、色彩及寿命方面的研发成果,并探讨了大尺寸面板在产业化进程中面临的问题及可能的技术解决方案。

电感耦合等离子体CVD制备Si薄膜的研究

电感耦合等离子体(ICP)是一种极具发展前景的低温高密度等离子体源,已经在大规模集成电路的深亚微米刻蚀和大面积均匀薄膜的淀积中得到广泛应用。采用自主设计的ICP-CVD设备,在不同的衬底条件和SiH4浓度下制备了一系列的Si薄膜样品。采用多种结构分析手段对样品进行了测试,发现薄膜是非晶相、结晶相和孔隙的混合物,在较低的放电功率下即出现了相当比例的结晶相,对样品电导率和光学带隙的测试也进一步验证了这一结果。

低温多晶硅薄膜的制备工艺研究

低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料,由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关注。本文系统介绍了低温多晶硅薄膜的三种制备方法—金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法和电感耦合等离子体化学气相沉积法的原理和研究进展,比较了它们之间各自的优缺点,最后对该领域的发展前景进行了展望。

有机发光显示技术的进展

有机发光显示被认为是下一代最理想的显示技术,具有自主发光、功耗小、视角宽、成本低和响应速度快等优点。本文在简述有机电致发光器件的电极结构和发光材料的基础上,重点介绍了有机显示器件的驱动技术和面板的研发成果,并展望未来发展的前景。

有机发光显示器件的研究及应用

有机发光显示器具有自主发光、功耗小、驱动电压低、视角宽、响应速度快等优点,已成为平板显示技术新的研究热点。在介绍有机电致发光器件结构和发光原理基础上,系统介绍了有机显示器件的三个核心部分—有机发光材料、显示面板和驱动技术的研究进展,分析了有机发光显示器的市场前景及可能的应用领域,最后指出有机发光显示器在产业化进程中所需要解决的问题。