ZnO:Al透明导电膜的制备及其性能的研究

利用脉冲激光法制备了 Zn O:Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。从电学分析看出 :掺杂比从0 .75%增至 1 .5%过程中 ,膜的载流子浓度、透光率 (在波长大于 50 0 nm的范围 )和光隙能相应增大。在氧分压强为 0 Pa(不充氧 )、掺杂比为 1 .5%左右时沉积的膜 ,其电阻率达到最小 ,其值为 7.1× 1 0 -4 Ω cm,且在可见光区其透光率超过了 90 %。

掺杂比和氧分压对脉冲激光沉积ZnO:Al膜性能影响的研究

利用脉冲激光法制备了ZnO :Al透明导电膜 .通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了靶材中的化学配比 (掺杂比 )对膜的透射比和电阻率的影响 .结果表明 :掺杂比、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况 .从电学分析看出 :掺杂比从 0 .75 %增至 1.5 %过程中 ,膜的载流子浓度、透射比 (在波长大于 5 0 0nm的范围 )和光隙能相应增大 .在氧分压强为 0Pa、掺杂比为 1.5 %左右时沉积的膜 ,其电阻率达到最小 ,其值为 7.1× 10 -4 Ω·cm ,且在可见光区其透射比超过了 90 % .

掺杂量对ZnO:Al膜电学性能的影响

使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜．通过霍尔系数测量及ＸＲＤ、ＳＥＭ测试分析，研究了掺铝量对膜的电学性能的影响，结果表明；掺杂量影响膜的载流子浓度、迁移率及结晶状况，当Ａｌ_２Ｏ_３与 ＺｎＯ重量比为 １．５％时，沉积的膜具有较低的电阻率．

氧分压强和基片温度对脉冲激光沉积的ZnO∶Al膜性能的影响

利用脉冲激光法制备了ZnO∶Al透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及SEM、XRD测试分析 ,详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明 :基片温度、氧分压强影响着膜的电学、光学性能和膜的结晶状况。从电学分析看出 :基片温度从 2 0 0℃升到 30 0℃过程中 ,膜的载流子浓度、透光率和光隙能相应增大。在氧分压强为0Pa、基片温度为 4 0 0℃下沉积的膜 ,其电阻率具有较低值 ,且在可见光区其透光率约为 90 %。

BaTiO_3/SrTiO_3多层膜的制备及其介电性质

采用脉冲激光沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BaTiO3/SrTiO3(BTO/STO)多层膜。XRD结果表明:多层膜呈现出明显的(110)择优取向,与Ba0.5Sr0.5TiO3单层膜相比,多层膜的相对介电常数得到了明显的增强,而介电损耗仍然保持在较低的水平。室温下频率为10kHz时,BTO/STO(n=6)多层膜的相对介电常数为506,而介电损耗仅为0.033。薄膜的C V特性研究表明:多层膜呈现出较好的电容调谐度。

锡掺杂的氧化铟透明导电膜的霍尔系数测量

采用直流辉光等离子体辅助反应蒸发法在玻璃基片上沉积了锡掺杂的氧化铟锡(ITO)透明导电膜,在沉积过程中保持了辉光放电电流、氧分压、氧流量、蒸发速率等工艺参数不变,而基片温度由室温变化到达300℃。用四探针法测量了膜的方法和用直流法测量了膜的霍尔系数,计算出膜的电阻率p、霍尔迁移率μ、载流子浓度n,从而研究了基片温度对膜的导电性能的影响。

对电子束蒸发沉积的ZnO:Al膜电学性能的研究

使用电子束蒸发法沉积了铝掺杂的氧化锌透明导电膜。通过对膜进行霍尔系数测量及XRD、SEM测试分析,详细研究了沉积时的基片温度对膜的电学性能的影响。结果表明:基片温度影响膜的载流子浓度、迁移率以及膜的结晶程度,在基片温度为200℃附近沉积的膜具有较低的电阻率和较高的透光率。

蒸发舟温度与加热电流关系的研究

本文通过实验研究了蒸发舟温度与加热电流的关系,并对结果作了分析。

化学计量对Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜介电性能的影响

采用脉冲激光沉积法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba1-xSrxTiO3薄膜,通过改变Sr化学计量,研究了其介电性质.实验结果发现:随着Sr化学计量的增加,薄膜的介电系数明显增大,而损耗仍然保持在较低的水平.研究表明:薄膜介电系数的增大是由于薄膜中颗粒尺寸的减小,导致了居里温度的降低.另外,C-V特性研究发现:随着Sr化学计量的增加,薄膜的电容调谐度也有所提高.

低温氧等离子体对有机薄膜改性的研究

在氧等离子体中对聚乙烯醇、海藻酸钠、聚乙烯和聚对苯二甲酸乙二醇脂等有机薄膜进行表面处理。研究了处理时间、放电电流和气压对膜的亲水性的影响。结果表明，经氧等离子体处理后，薄膜表面的含氧极性基团增加了，亲水性得到了改善。但是４种薄膜经等离子体处理后其亲水性变化的程度并不相同，按照接触角减小的程度来排序依次为聚乙烯醇、海藻酸钠、聚乙烯和聚对苯二甲酸乙二醇脂。这意味着，等离子体辐照有机薄膜对其亲水性改善的效果依赖于薄膜本身的表面结构。

基片温度对直流辉光等离子体辅助反应蒸发法沉积的ITO膜性能的影响

使用直流辉光等离子体辅助反应蒸发法沉积了ＩＴＯ透明导电膜。通过膜的霍尔系数测量及ＸＲＤ、ＳＥＭ分析，详细研究了沉积时的基片温度对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明：基片温度影响膜的载流子浓度，霍尔迁移率以及膜的结晶程度。当基片温度为１５００Ｃ附近时所沉积的膜具有较高的载流子浓度和迁移率，因而电阻率最低，而且结晶良好，具有高的透光率。试验中还研究了加热退火对膜性能的影响。结果表明：后处理（加热退火）的效果与成膜时的基片温度有密切关系。在低基片温度下沉积的膜经过后处理其透光率得到较大改善但电阻率有所上升，在高基片温度下沉积的膜经过后处理其导电和透光性能都变差。存在一个适中的基片温度区，在该温度下采用直流辉光等离子体辅助反应蒸发法可以不必进行后处理，直接沉积出性能良好的ＩＴＯ透明导电膜。

低温氧等离子体改性海藻酸钠膜分离乙醇-水溶液

研究了氧等离子体对海藻酸钠膜的表面改性，并将该膜用于渗透汽化分离乙醇水溶液。通过红外光谱、表面电阻、接触角等手段测试，表明在海藻酸钠膜表面增加了羟基、羧基及羰基，因而更加亲水。当分别用未处理的原始膜，氧等离子体处理膜处理表面对着原料液，以及处理表面对着减压侧用于渗透汽化法分离乙醇－水混和物时，性能明显不同。其结果是：上表面处理后，渗透通量明显增加，分离系数也较未处理略高；下表面处理后，渗透速度下降，分离系数有较大提高。表明渗透汽化膜的上、下表面对其性能有较大影响。上表面对膜的溶解过程影响较大，下表面对膜的扩散控制有较大贡献。

Pb_(1-x) La_xTiO_3薄膜的制备及特性研究

用溶胶－凝胶法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｔＯ２／Ｓｉ（１００）基底上制备Ｐｂ１－ｘＬａｘＴｉＯ３（ＰＬＴ，ｘ≤０．２）薄膜，研究薄膜的结构及其介电、电性质铁电性能。在６００℃ 下退火１ｈ的ＰＬＴ薄膜表现出单一的钙钛矿结构，（１００）择优取向明显。在室温下ＰＬＴ薄膜有典型的电滞回线。在ｘ≤０．２（摩尔比）的范围内，ＰＬＴ薄膜的矫顽场、剩余极化强度和随着Ｌａ的增加而降低，相对介电常数则随着Ｌａ的增加而增加。

高K栅介质材料的研究现状与前景

论述了45～32nm技术节点下高K材料取代SiO2的必要性和基本要求,综述了高K栅介质中极具代表性的Hf基材料。研究表明,向HfO2中分别掺杂Al、Si、Ta、N等形成的复合Hf基高K栅介质材料具备较HfO2更加优异的物理结构、晶化温度、热力学稳定性以及电学特性,但与此同时也存在如何优化掺杂量、沟道载流子迁移率下降以及中间层引起的界面退化等难题。针对这些挑战,探讨了新型"堆垛结构"和引起载流子迁移率下降的物理机制,展望了高K材料在未来先进COMS器件中的应用。

聚乙烯醇和海藻酸钠膜的接触角与表面电阻率关联性的研究

利用直流辉光氧等离子体对聚乙烯醇、海藻酸钠等有机高分子膜作表面改性处理，其亲水性和电阻等性能有了很大改变。发现膜与水的接触角和表面电阻率这两种性能经等离子体处理后呈现类同的变化规律。

磁场约束等离子体的实验演示

实验采用大气压放电产生等离子体,利用永磁体组合产生的轴向发散磁场来约束等离子体,直观地展现了磁场约束等离子体的实验现象,实验方法简单、便捷,对于提高大学生的等离子体基础知识和创新实验能力具有重要作用。

绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展

绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极。概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积AZO薄膜后再进行湿法刻蚀制绒面方法,制备的样品呈现"坑状"或"类月球地貌"的绒面,并讨论了工艺对薄膜结构、光电性能和刻蚀行为的影响,最后介绍了绒面AZO薄膜在硅薄膜太阳电池中的应用,进一步降低生产成本和实现大规模产业化生产是绒面AZO薄膜的发展趋势。

镧系掺杂NaYF_4纳米颗粒的合成及其上转换发光性能

采用简易的水热法,成功制备了Yb3+/Er3+/Gd3+共掺的NaYF4纳米颗粒.通过调节Gd3+的掺杂浓度,在较低反应温度和较短反应时间下,实现了纳米颗粒从立方相向六方相的转变,研究了Gd3+浓度对纳米颗粒的结构和发光性能的影响.

Pb_(1-x)La_xTiO_3薄膜的制备及介电特性研究

用溶胶—凝胶法在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si(1 0 0 )基底上制备 Pb1-x L ax Ti O3 (PLT,x<0 .2 )薄膜 ,研究薄膜的结构及其介电、铁电性能。在 60 0℃下退火 1小时的 PL T薄膜表现出单一的钙钛矿结构 ,(1 0 0 )择优取向明显。在室温下 PLT薄膜有典型的电滞回线。在 x<0 .2 (摩尔比 )的范围内 ,PLT薄膜相对介电常数则随着 La的增加而增加。

浅谈大学物理课程互动式教学

基于及时教学的同伴教学和基于SPOC的混合式教学模式实施了大学物理课程互动式教学。该教学模式与传统课堂教学相比,促进了学生自主学习、合作学习、生生互动、师生互动的教学环境。