俄罗斯半导体集成电路专用仪器设备研制情况

作者曾随团赴俄罗斯及独联体有关国家考察微电子技术，了解到这些国家有半导体集成电路专用设备等方面的研制生产情况，在此作一简要介绍，以供同行参考。

半导体产业及其支撑技术的发展动向

作为当今社会高技术产业之一的微电子工业,以其卓越的成就,影响着人们的生活方式,改变着现代社会的生产方式和经济结构。对代表微电子技术的集成电路工业,世界各国都极为重视,投入了大量的人力和巨额的资金,从而使其发展日渐成熟。本文主要介绍了半导体存储器的生产和研究情况。另外,还介绍了ASIC、逻辑电路、砷化镓器件、半导体材料和设备等方面的发展情况。