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常压下低折射率纳米多孔二氧化硅薄膜的制备 被引量:10
1
作者 姚兰芳 沈军 +1 位作者 吴广明 王珏 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期1123-1126,共4页
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机醇盐前驱体,采用溶胶-凝胶技术,通过酸/碱二步法控制实验条件,结合低表面张力溶剂替换以及甲基非活性基团置换修饰、超声振荡等,在常压下成功地制备出折射率在1.11~1.27范围内的二氧化硅纳米多孔光学薄膜。制... 以正硅酸乙酯(TEOS)为有机醇盐前驱体,采用溶胶-凝胶技术,通过酸/碱二步法控制实验条件,结合低表面张力溶剂替换以及甲基非活性基团置换修饰、超声振荡等,在常压下成功地制备出折射率在1.11~1.27范围内的二氧化硅纳米多孔光学薄膜。制备过程中充分注意到稀释、老化、有机修饰表面、热处理和提拉条件对薄膜都有很大的影响,利用这些因素可以对该纳米薄膜的孔洞率、折射率进行控制,尤其是能制备低折射率薄膜,从而为该薄膜的应用开发奠定基础。采用椭偏仪测量薄膜的厚度和折射率,薄膜中高的孔洞率、低的折射率归结于最终干燥阶段中的弹性回跳。扫描电镜(SEM)观察发现修饰薄膜的表面形貌具有明显的多孔结构。耐磨实验表明所制备的薄膜有良好的机械性能。 展开更多
关键词 低折射率薄膜 溶胶—凝胶 表面修饰 常压
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低折射率纳米多孔二氧化硅薄膜的疏水性 被引量:6
2
作者 姚兰芳 鲁凤芹 +2 位作者 岳春晓 沈军 吴广明 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期139-143,共5页
采用溶胶-凝胶技术,通过HCl控制酸性的酸/酸二步法,以十六烷基三甲基溴化氨为模板剂,正硅酸乙酯为硅源,以及水、盐酸等为原料,制备二氧化硅前驱体溶胶。用甲基三乙氧基硅烷(methyltriethoxysilane,MTES)改性,制各疏水型SiO_2前驱体溶胶... 采用溶胶-凝胶技术,通过HCl控制酸性的酸/酸二步法,以十六烷基三甲基溴化氨为模板剂,正硅酸乙酯为硅源,以及水、盐酸等为原料,制备二氧化硅前驱体溶胶。用甲基三乙氧基硅烷(methyltriethoxysilane,MTES)改性,制各疏水型SiO_2前驱体溶胶。结果表明:采用MTES改性制备的二氧化硅薄膜的疏水性能、光学性能、力学性能等各项性能效果更好;通过简单提拉、迅速蒸发溶剂等方法制备的疏水薄膜的折射率为1.10,且在1.1~1.38之间连续可调,根据测得的折射率,计算的气孔率高达81.8%,介电常数为1.77。其红外光谱表明,所制备的薄膜由于掺入甲基基团而疏水,水滴在薄膜表面上的照片的结果进一步支持这一结论。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 多孔二氧化硅 低折射率 疏水 甲基三乙氧基硅烷
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溶胶-凝胶法制备低折射率和低介电常数介孔二氧化硅薄膜(英文) 被引量:2
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作者 沈军 欧阳玲 +2 位作者 林雪晶 谢志勇 罗爱云 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A02期76-79,共4页
采用溶胶-凝胶技术,蒸发诱导自组装法(EISA)工艺制备了二氧化硅透明有序介孔薄膜。以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)作为模板剂,正硅酸乙酯(TEOS)为硅源前驱体,基片采用双面抛光的硅片,利用提拉法制备薄膜。经过表面修饰剂六甲基二硅胺烷(H... 采用溶胶-凝胶技术,蒸发诱导自组装法(EISA)工艺制备了二氧化硅透明有序介孔薄膜。以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)作为模板剂,正硅酸乙酯(TEOS)为硅源前驱体,基片采用双面抛光的硅片,利用提拉法制备薄膜。经过表面修饰剂六甲基二硅胺烷(HMDS)修饰后,薄膜具有疏水性能,而且薄膜的二氧化硅骨架结构更稳定。由椭偏仪测得热处理后的薄膜的折射率低至1.18,而薄膜的介电常数为2.14。 展开更多
关键词 介孔薄膜 溶胶-凝胶 低折射率 介电常数
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UV固化低折射率光纤涂料的研制 被引量:8
4
作者 王国志 胥卫奇 +2 位作者 刘文兴 杨康 李洁 《现代涂料与涂装》 CAS 2010年第9期19-22,26,共5页
研制的紫外光固化低折射率光纤类涂料由乙烯基聚硅氧烷、巯基聚硅氧烷、丙烯酸氟硅聚合物、光引发剂及助剂等组成。该涂料折射率小于1.40,固化速率小于0.3 s,吸水率低,拉伸强度为1.58MPa,伸长率为163%,适用温度范围为-60~200℃,可用于... 研制的紫外光固化低折射率光纤类涂料由乙烯基聚硅氧烷、巯基聚硅氧烷、丙烯酸氟硅聚合物、光引发剂及助剂等组成。该涂料折射率小于1.40,固化速率小于0.3 s,吸水率低,拉伸强度为1.58MPa,伸长率为163%,适用温度范围为-60~200℃,可用于双包层石英光纤的外层以及光固化电连接器等方面。 展开更多
关键词 光纤涂料 UV固化涂料 低折射率 光纤光缆
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紫外光固化低折射率光纤涂料的研究 被引量:2
5
作者 胥卫奇 王国志 +2 位作者 沙伟华 刘文兴 赵鑫阳 《现代涂料与涂装》 CAS 2017年第3期13-16,共4页
研制的紫外光固化低折射率光纤涂料由特定结构的含氟聚硅氧烷、光引发剂及助剂等组成,其固化速率≤0.3 s,固化后的折射率≤1.39,杨氏模量3.0~4.0 MPa,剥离强度5~8 N。采用该涂料涂装的双包层掺镱光纤的传输衰减≤6 dB/km,数值孔径≥0.42... 研制的紫外光固化低折射率光纤涂料由特定结构的含氟聚硅氧烷、光引发剂及助剂等组成,其固化速率≤0.3 s,固化后的折射率≤1.39,杨氏模量3.0~4.0 MPa,剥离强度5~8 N。采用该涂料涂装的双包层掺镱光纤的传输衰减≤6 dB/km,数值孔径≥0.42,可在-40~80℃温度范围内长期稳定使用。 展开更多
关键词 光纤涂料 紫外光固化 低折射率 光纤激光器
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超低折射率特异材料天线
6
作者 肖志刚 蒋瑶 徐慧梁 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期174-178,共5页
采用金属网格和泡沫材料实现低折射率材料媒质,并对其参数进行了优化,辐射源采用单极天线,制作了样机。利用HFSS电磁仿真软件对应用低折射率材料媒质天线与传统天线的方向性进行了对比研究,并研究了辐射源的参数对定向天线的性能影响。... 采用金属网格和泡沫材料实现低折射率材料媒质,并对其参数进行了优化,辐射源采用单极天线,制作了样机。利用HFSS电磁仿真软件对应用低折射率材料媒质天线与传统天线的方向性进行了对比研究,并研究了辐射源的参数对定向天线的性能影响。对样机进行了测试,测试结果与仿真结果比较吻合,与传统天线相比较,基于超低折射率特异材料的天线方向性明显提高。因此,选择适当电磁参数的超低折射率特异材料,用于定向天线的设计,可以改变传统天线的设计。 展开更多
关键词 微波天线 电磁材料 低折射率材料 天线方向性
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PECVD技术制备低折射率光学薄膜 被引量:8
7
作者 胡九龙 杭凌侠 周顺 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期95-97,共3页
采用等离子体增强化学气相沉积法在硅片上沉积含氟氧化硅薄膜,用椭偏仪测量薄膜的光学参数,研究了在固定抽速和真空度自动调节情况下C2F6气体流量的变化对薄膜折射率、消光系数、沉积速率的影响。实验表明在温度300℃、射频功率200 W、... 采用等离子体增强化学气相沉积法在硅片上沉积含氟氧化硅薄膜,用椭偏仪测量薄膜的光学参数,研究了在固定抽速和真空度自动调节情况下C2F6气体流量的变化对薄膜折射率、消光系数、沉积速率的影响。实验表明在温度300℃、射频功率200 W、压力20 Pa,SiH460 sccm,N2O440 sccm,C2F630 sccm的工艺参数下沉积的薄膜在550 nm处折射率为1.37,消光系数4×10-4,可作为光学减反膜的材料。 展开更多
关键词 薄膜 PECVD 低折射率 SiOF
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低折射率树脂对原液着色粘胶纤维结构和性能的影响 被引量:4
8
作者 刘稀 王冬 +2 位作者 张丽平 李敏 付少海 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期9-14,共6页
针对原液着色粘胶纤维颜色较浅的问题,采用低折射率树脂增深整理粘胶纤维,探讨了树脂种类、树脂用量、轧余率、焙烘时间和焙烘温度对纤维颜色明暗度(L值)、断裂强力和断裂伸长率的影响,借助红外光谱仪、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪... 针对原液着色粘胶纤维颜色较浅的问题,采用低折射率树脂增深整理粘胶纤维,探讨了树脂种类、树脂用量、轧余率、焙烘时间和焙烘温度对纤维颜色明暗度(L值)、断裂强力和断裂伸长率的影响,借助红外光谱仪、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、扫描电子显微镜等研究了树脂整理后原液着色粘胶纤维的化学结构、表面元素组成及官能团、结晶性能和表面形貌的变化。结果表明:增深剂质量浓度为80 g/L,轧余率为90%,焙烘温度为150℃,焙烘时间为180 s时,原液着色粘胶纤维的L值降低到11.84,断裂强力和断裂伸长率保持率分别为70.62%和70.11%;粘胶纤维的结晶度降低,但纤维表面更加光滑,含硅官能团含量增加。 展开更多
关键词 原液着色粘胶纤维 低折射率树脂 增深整理 力学性能
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低折射率UV光纤涂料的制备及性能研究 被引量:2
9
作者 营飞 王木立 +4 位作者 顾斌 马智俊 张东阳 狄志刚 朱东 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2017年第6期62-68,共7页
以甲基丙烯酸十二氟庚酯、丙烯酸六氟丁酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸、甲基丙烯酸缩水甘油酯为主要原料合成了低折射率含氟丙烯酸树脂(FA)。通过红外光谱对FA的结构进行了表征,研究了各原料对FA性能的影响。以FA树脂为主体,配合含氟活性稀... 以甲基丙烯酸十二氟庚酯、丙烯酸六氟丁酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸、甲基丙烯酸缩水甘油酯为主要原料合成了低折射率含氟丙烯酸树脂(FA)。通过红外光谱对FA的结构进行了表征,研究了各原料对FA性能的影响。以FA树脂为主体,配合含氟活性稀释剂、多官能活性稀释剂、光引发剂制备了折射率低于1.378 0的紫外光固化光纤涂料,分析了各组分对涂料外观、折射率、黏度、固化速度及力学性能的影响。 展开更多
关键词 光固化 光纤涂料 含氟丙烯酸树脂 低折射率
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溶胶-凝胶法制备超亲水型低折射率膜层材料 被引量:2
10
作者 张书铭 罗建辉 +3 位作者 夏碧波 李远洋 何玫莹 江波 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期1342-1348,共7页
以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,乙醇为溶剂,氨水为催化剂,制备二氧化硅(Si O2)前驱体溶胶,并采用氢氟酸(HF)对溶胶中的球形Si O2粒子进行刻蚀改性,通过浸渍提拉法镀膜制备多孔Si O2膜层材料.研究结果表明,HF刻蚀后,多孔Si O2膜层材料的折... 以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,乙醇为溶剂,氨水为催化剂,制备二氧化硅(Si O2)前驱体溶胶,并采用氢氟酸(HF)对溶胶中的球形Si O2粒子进行刻蚀改性,通过浸渍提拉法镀膜制备多孔Si O2膜层材料.研究结果表明,HF刻蚀后,多孔Si O2膜层材料的折射率明显降低,当HF的质量分数为3%时,膜层的折射率降低至1.101,膜层的静态接触角降低为3°,并且膜层的防雾性能得到显著提高. 展开更多
关键词 低折射率 溶胶-凝胶法 超亲水 防雾性 氢氟酸 SiO2粒子刻蚀
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高灵敏度低折射率的双开环通道PCF-SPR传感器设计 被引量:2
11
作者 陈淑婷 张乾坤 +1 位作者 杨县超 周哲海 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第11期7-11,共5页
为了在中红外区域获得高灵敏度的低折射率(RI),在光子晶体光纤(PCF)上设计了一种具有双开环通道的新型结构,并在表面等离子体共振(SPR)效应上建立了传感器。通过COMSOL有限元法(FEM)对所设计PCF-SPR传感器进行仿真分析。结果表明,该传... 为了在中红外区域获得高灵敏度的低折射率(RI),在光子晶体光纤(PCF)上设计了一种具有双开环通道的新型结构,并在表面等离子体共振(SPR)效应上建立了传感器。通过COMSOL有限元法(FEM)对所设计PCF-SPR传感器进行仿真分析。结果表明,该传感器对低RI感应具有优异的检测能力,在RI为1.23~1.29的范围内,实现最大波长灵敏度达到10300 nm/RIU,最大理论分辨率为9.71×10^(-6) RIU。 展开更多
关键词 光子晶体光纤 表面等离子体共振 低折射率 微开环分析物通道
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双芯探针型低折射率SPR-PCF传感器 被引量:5
12
作者 魏方皓 张祥军 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第8期13-15,19,共4页
提出了一种高灵敏度双芯型具有低折射率测量区间的表面等离子体共振—光子晶体光纤(SPRPCF)探针型生物传感器,利用SPR技术,通过纤芯损耗谱测量共振波长的变化来达到对待测物质不同折射率测量的目的。主要是在纤芯中央设置一个小型空气孔... 提出了一种高灵敏度双芯型具有低折射率测量区间的表面等离子体共振—光子晶体光纤(SPRPCF)探针型生物传感器,利用SPR技术,通过纤芯损耗谱测量共振波长的变化来达到对待测物质不同折射率测量的目的。主要是在纤芯中央设置一个小型空气孔,达到双芯传输的效果,加速光纤的SPR现象,并将金纳米探针放置于外侧圆形待测物质通道中,不但有利于加快SPR反应,并且结构简单,易于测量操作,其工作的波长范围可以调节。实验结果表明:其折射率测量区间为1.21~1.25,可以得到最大光谱灵敏度11000 nm/RIU,分辨率为205.9 RIU^-1,探针折射率精度为1.8×10^-5RIU,所提出的光纤传感装置在生化传感领域具有很大的研究价值。 展开更多
关键词 光子晶体光纤 表面等离子体共振(SPR) 生物传感 低折射率
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低折射率芯PCF基模损耗的数值模拟与分析
13
作者 关铁山 陈明阳 于荣金 《光纤与电缆及其应用技术》 2005年第4期1-4,共4页
应用多极法理论计算了低折射率芯光子晶体光纤(PCF)基模的损耗并与未掺杂芯PCF进行了比较,发现可以从损耗的角度来理解低折射率芯PCF的截止特性传输波长靠近短波长时,模式的损耗会突然变大,从而导致基模截止;而处于长波长时,这种光纤的... 应用多极法理论计算了低折射率芯光子晶体光纤(PCF)基模的损耗并与未掺杂芯PCF进行了比较,发现可以从损耗的角度来理解低折射率芯PCF的截止特性传输波长靠近短波长时,模式的损耗会突然变大,从而导致基模截止;而处于长波长时,这种光纤的传输特性和普通PCF相类似。通过改变纤芯折射率的大小和包层中空气孔的大小,可以对光纤的截止波长进行调节。 展开更多
关键词 光子晶体光纤 低折射率 多极法 截止波长
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具有良好附着力,低透射率和低折射率的含氟共聚物
14
作者 徐玲 《化工生产与技术》 CAS 2006年第2期29-29,共1页
在230°时熔体流动质量速率为0.1~100g/10min的含氟聚合物中包含有不饱和氟单体和不饱和羧酸或盐或烷基醚。含氟共聚物的例子包括四氟乙烯,全氟乙基乙烯基醚或含甲基丙烯酸或α-三氟甲基丙烯酸的偏二氟乙烯共聚物。这样,pH维持... 在230°时熔体流动质量速率为0.1~100g/10min的含氟聚合物中包含有不饱和氟单体和不饱和羧酸或盐或烷基醚。含氟共聚物的例子包括四氟乙烯,全氟乙基乙烯基醚或含甲基丙烯酸或α-三氟甲基丙烯酸的偏二氟乙烯共聚物。这样,pH维持在7-10之间,0.1kg甲基丙烯酸,11.0kgPTEE,17.3b全氟乙基乙烯基醚和2.0kg偏二氟乙烯被聚合,得到一种共聚物,它的邵氏D硬度为57,熔点为180℃,熔体流动质量速率为16g/10min,在650nm时低透射率为92%。在589nm时折射率为1.35,在各种衬层中具有良好的熔体模压性能和附着力。 展开更多
关键词 含氟共聚物 低折射率 附着力 透射率 乙基乙烯基醚 甲基丙烯酸 不饱和羧酸 含氟聚合物 偏二氟乙烯 乙烯共聚物
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低折射率对比度下有机八重准周期光子晶体缺陷模的耦合特性 被引量:2
15
作者 蔡园园 王智 +3 位作者 陈笑 李长伟 冯帅 王义全 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期285-290,共6页
基于有机半导体发光材料,研究了低折射率对比度下八重准晶结构中双缺陷微腔之间的缺陷模的耦合特性。研究结果表明,在八重准晶双9孔缺陷情况下,缺陷模不但发生了分裂,还出现了一个由双缺陷微腔与中间散射体所构建的复合腔新模式。在此... 基于有机半导体发光材料,研究了低折射率对比度下八重准晶结构中双缺陷微腔之间的缺陷模的耦合特性。研究结果表明,在八重准晶双9孔缺陷情况下,缺陷模不但发生了分裂,还出现了一个由双缺陷微腔与中间散射体所构建的复合腔新模式。在此基础上,利用缺陷模的三维场分布和模式之间的相位关系,揭示了模式耦合的物理机制,这为后续可见光波段有机半导体光子晶体器件的设计与制备提供了理论依据。 展开更多
关键词 材料 准晶 缺陷模耦合 低折射率对比度 复合腔
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基于D型光子晶体光纤的低折射率化学物传感器 被引量:4
16
作者 赵海英 赵丽娟 徐志钮 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第20期16-24,共9页
为实现低折射率药物、化学材料的高灵敏度监测,基于D型光子晶体光纤(PCF)设计了一种在开环内镀有金薄膜的表面等离子体共振(SPR)传感器。采用有限元法系统地研究了开环半径、D型结构与纤芯的距离和金膜厚度对所提传感器的波长灵敏度的... 为实现低折射率药物、化学材料的高灵敏度监测,基于D型光子晶体光纤(PCF)设计了一种在开环内镀有金薄膜的表面等离子体共振(SPR)传感器。采用有限元法系统地研究了开环半径、D型结构与纤芯的距离和金膜厚度对所提传感器的波长灵敏度的影响。结果表明,当分析物折射率范围为1.28~1.32时,该PCF-SPR传感器的最大波长灵敏度高达15346 nm/RIU(RIU为折射率单位),相应的分辨率为6.52×10^(-9)RIU。与现有的研究相比,在同一折射率测量范围内,该PCF-SPR传感器的波长灵敏度和分辨率分别是已有的典型PCF-SPR传感器的1.28~6.67倍和153/1000~783/1000。因此,该PCF-SPR传感器在生物医学、食品安全和物质监测等领域中具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 光纤光学 表面等离子体共振 光子晶体光纤 低折射率传感 高灵敏度
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超低折射率材料有利于光子晶体波导
17
作者 傅恩生(编译) 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2005年第11期60-60,共1页
用光刻方法在同体基片上制作两维条状光子晶体(PC)应用很普遍,它减少了加工难度,但是仅遗留下一种折射率很低的波导包层,该包层位于上层光子晶体表面和空气之间。这种结构导致波导模很深地延伸到底层波导包层(固体),因而产生损... 用光刻方法在同体基片上制作两维条状光子晶体(PC)应用很普遍,它减少了加工难度,但是仅遗留下一种折射率很低的波导包层,该包层位于上层光子晶体表面和空气之间。这种结构导致波导模很深地延伸到底层波导包层(固体),因而产生损耗和模的非对称性,使TE-和准TM-模之间发生耦合。一种解决方法是在靠近空气的两边,包上一层光子晶体膜,但是这种形式的光子晶体非常脆弱。 展开更多
关键词 光子晶体波导 低折射率 材料 加工难度 晶体表面 非对称性 包层 空气 基片
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低折射率新型封装材料
18
《中国照明电器》 2012年第3期17-17,共1页
信越化工有限公司(Shin.Etsu Chemical)开发出了新一代低折射率硅封装材料“KER-7000”系列,大大提高了发光二极管的可靠性和亮度,而且降低了透气性。“KER.7000”系列有两种产品,“KER-7080A/B”和“KER-7030A/B”,硬度分别... 信越化工有限公司(Shin.Etsu Chemical)开发出了新一代低折射率硅封装材料“KER-7000”系列,大大提高了发光二极管的可靠性和亮度,而且降低了透气性。“KER.7000”系列有两种产品,“KER-7080A/B”和“KER-7030A/B”,硬度分别为80和30,目前已经开始提供样品。 展开更多
关键词 封装材料 低折射率 发光二极管 可靠性 透气性
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有序介孔二氧化硅薄膜的制备及性能 被引量:5
19
作者 林雪晶 沈军 +3 位作者 谢志勇 姚兰芳 吴筱娴 罗爱云 《过程工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期164-167,共4页
以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为模板剂,正硅酸乙酯为无机前驱体,在酸性条件下,采用溶胶-凝胶技术,用蒸发诱导自组装(EISA)工艺制备了二氧化硅透明介孔薄膜.透射电子显微镜图显示热处理后的薄膜具有高度有序的六方相结构孔道;由椭偏仪... 以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为模板剂,正硅酸乙酯为无机前驱体,在酸性条件下,采用溶胶-凝胶技术,用蒸发诱导自组装(EISA)工艺制备了二氧化硅透明介孔薄膜.透射电子显微镜图显示热处理后的薄膜具有高度有序的六方相结构孔道;由椭偏仪测得热处理后薄膜的折射率低至1.18,厚度在180nm左右;阻抗分析仪测得薄膜的介电常数为2.14.薄膜经过六甲基二硅胺烷(HMDS)表面修饰后具有良好的疏水性能和热稳定性,作为低介电材料能更好满足工业需求. 展开更多
关键词 光学性能 溶胶-凝胶技术 介孔薄膜 低折射率
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一种红外双半波滤光片的设计和制造方法 被引量:6
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作者 赵兴梅 师建涛 郭鸿香 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第3期208-210,共3页
针对唐晋发、郑权老师在《应用薄膜光学》一书中介绍的采用低折射率材料做间隔层,用16个λ/4层完成红外双半波滤光片的设计方法制作的薄膜易发生断裂,该文给出该膜系另一种设计计算方法,即采用高折射率材料做间隔层,用12个λ/4完成膜系... 针对唐晋发、郑权老师在《应用薄膜光学》一书中介绍的采用低折射率材料做间隔层,用16个λ/4层完成红外双半波滤光片的设计方法制作的薄膜易发生断裂,该文给出该膜系另一种设计计算方法,即采用高折射率材料做间隔层,用12个λ/4完成膜系设计。与前者相比,该方法节省了材料和时间。同时给出了镀制该膜系的工艺要点,并对镀膜过程中的初始真空度、蒸镀温度和2种材料的蒸发速率做了说明。指出在该工艺实施过程中,首先使用离子源对基底进行活化轰击,然后在蒸镀硫化锌和锗的过程中用离子源进行辅助蒸镀,可得到非常牢固的膜层。 展开更多
关键词 红外双半波滤光片 膜系设计 间隔层 低折射率材料 折射率材料
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