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用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征
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作者 张丛春 康志鹏 +1 位作者 雷鹏 闫博 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期589-596,共8页
使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电... 使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电阻温度系数(TCR),约为59.9×10^(-6)/℃,经过200℃退火处理的薄膜应变计的应变灵敏度系数(GF)为2.2,TCR为64.4×10^(-6)/℃。经历温湿循环、盐雾、霉菌试验后,薄膜的压阻特性变化不大,能耐受海洋特殊环境。 展开更多
关键词 磁控溅射 薄膜应变计 电阻温度系数 应变因子 环境实验
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高温退火对合金衬底上PtW薄膜应变计性能影响研究
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作者 陈哲 张劲宇 赵晓辉 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第5期538-543,550,共7页
为实现航空发动机热端部件健康监测,采用磁控溅射技术在GH4169高温合金基板上制备了一种耐高温的PtW薄膜应变计。该应变计由NiCrAlY过渡层、热氧化生成TGO层、YSZ/Al_(2)O_(3)复合绝缘层和PtW功能层构成。采用SEM和EDS分析了退火前后Pt... 为实现航空发动机热端部件健康监测,采用磁控溅射技术在GH4169高温合金基板上制备了一种耐高温的PtW薄膜应变计。该应变计由NiCrAlY过渡层、热氧化生成TGO层、YSZ/Al_(2)O_(3)复合绝缘层和PtW功能层构成。采用SEM和EDS分析了退火前后PtW薄膜的微结构。研究结果表明,退火后PtW薄膜晶粒长大,电阻率下降,W元素含量减少且在晶界处发生富集。通过悬臂梁施加应变,研究了退火前后PtW薄膜应变计在室温~600℃下的应变敏感性能。结果表明,其应变灵敏系数均随温度升高而逐渐降低,且退火后薄膜应变计的应变灵敏系数随温度变化更为显著。该PtW薄膜应变计应变测量量程超过1400με且重复性良好,在航空航天高温部件表面应变测试领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 退火 高温合金 薄膜 应变计 复合绝缘层 悬臂梁
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基于PCA-GA-BP的高温动态应变计精度预测研究
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作者 吴亚伦 张凤玲 +1 位作者 王志 田晶 《设备管理与维修》 2024年第9期30-33,共4页
高温动态应变计作为热端部件应力、应变检验的重要工具,其测试精度会直接影响其测试结果的准确性。针对目前高温动态应变计测试能耗大、测试周期长等问题,对其敏感栅结构参数进行主成分分析(PCA),运用遗传算法(GA)优化后的神经网络(BP)... 高温动态应变计作为热端部件应力、应变检验的重要工具,其测试精度会直接影响其测试结果的准确性。针对目前高温动态应变计测试能耗大、测试周期长等问题,对其敏感栅结构参数进行主成分分析(PCA),运用遗传算法(GA)优化后的神经网络(BP),对高温动态应变计的测试精度进行预测。与几种传统的预测方法比较后得出结论:GA优化后的BP神经网络的预测精度明显高于其他算法,对于高温动态应变计测试精度的预测效果具有适用性。 展开更多
关键词 高温动态应变计 精度 主成分分析 遗传算法 神经网络
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镍基合金上FeCrAl薄膜应变计的制备与性能
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作者 陈长源 周世威 +1 位作者 周枳仲 蒋书文 《中国仪器仪表》 2024年第11期69-73,共5页
薄膜应变计是航空发动机涡轮叶片应变测量的可靠选择。本文以FeCrAl合金为敏感材料,在镍基合金DD6上制备了多层薄膜材料体系的FeCrAl薄膜应变计,并测试了不同温度环境下应变计的应变性能。结果表明,20℃,200℃,400℃和600℃时的应变灵... 薄膜应变计是航空发动机涡轮叶片应变测量的可靠选择。本文以FeCrAl合金为敏感材料,在镍基合金DD6上制备了多层薄膜材料体系的FeCrAl薄膜应变计,并测试了不同温度环境下应变计的应变性能。结果表明,20℃,200℃,400℃和600℃时的应变灵敏系数为2.41,2.68,3.16和3.70;200℃,400℃和600℃的电阻温度系数为567.5ppm/℃,534.1ppm/℃,517.3ppm/℃,电阻漂移率为0.00118h^(-1),0.00167h^(-1),0.00181h^(-1)。 展开更多
关键词 薄膜应变计 FeCrAl合金 应变灵敏系数 电阻温度系数 电阻漂移率
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基于核主成分分析的高温动态应变计疲劳寿命预测
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作者 吴亚伦 张凤玲 艾延廷 《航空发动机》 北大核心 2024年第4期162-168,共7页
高温动态应变计作为航空发动机部件应力、应变检测的重要工具,一旦发生疲劳破坏会直接影响其测试结果的可靠性。针对目前应变计测试耗时长、使用寿命离散程度高等问题,对高温动态应变计敏感栅结构参数进行基于多类型核函数的核主成分分... 高温动态应变计作为航空发动机部件应力、应变检测的重要工具,一旦发生疲劳破坏会直接影响其测试结果的可靠性。针对目前应变计测试耗时长、使用寿命离散程度高等问题,对高温动态应变计敏感栅结构参数进行基于多类型核函数的核主成分分析(KPCA)。采用最佳的核函数对应变计疲劳寿命影响因素进行降维,得出栅丝直径、弯数、涂层厚度为主要影响因素;为解决降维后应变计疲劳寿命预测精度差、收敛速度慢等问题,运用遗传算法(GA)优化反向传递(BP)神经网络,即通过遗传算法对神经网络中权值和阈值进行参数寻优,应用于高温动态应变计疲劳寿命的预测,并与几种传统的预测方法进行了比较。结果表明:GA优化后的BP神经网络预测的绝对误差(MAE)、均方误差(MSE)、平均绝对百分比误差(MAPE)均有所减小,对于高温应变计疲劳寿命的预测效果更可靠。 展开更多
关键词 高温动态应变计 核主成分分析 遗传算法 神经网络 航空发动机
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敏感栅结构参数对金属丝式应变计精度研究
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作者 吴亚伦 张凤玲 张冉 《内燃机与配件》 2024年第1期55-57,共3页
金属丝式应变计作为内燃机测试中的重要工具,其测试精度直接关乎到实验结果的可靠性。为提高金属丝式应变计的精度特性,本文以应变计中敏感栅结构参数为变量,通过有限元仿真的方式来计算应变计的测试误差,并在此基础之上提出一种因粘贴... 金属丝式应变计作为内燃机测试中的重要工具,其测试精度直接关乎到实验结果的可靠性。为提高金属丝式应变计的精度特性,本文以应变计中敏感栅结构参数为变量,通过有限元仿真的方式来计算应变计的测试误差,并在此基础之上提出一种因粘贴应变计而带来的干扰误差。通过改变敏感栅的结构参数来对应变计的误差规律进行研究。结果表明:栅丝直径越大,误差越大;长度、间距、弯数的变化,使误差存在最小值;弯数的变化,使贴片处干扰误差不能忽略,其他结构参数的变化对干扰误差的影响可以忽略不计。 展开更多
关键词 金属丝式应变计 精度 敏感栅 结构参数 有限元
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NiCrAlY薄膜应变计的研制 被引量:3
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作者 张洁 杨晓东 +3 位作者 蒋书文 蒋洪川 赵晓辉 张万里 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第4期105-107,共3页
采用射频磁控溅射法在Ni基高温合金拉伸件上制备Ni Cr Al Y薄膜应变计。研究了热稳定处理对Ni Cr Al Y薄膜结构、表面形貌的影响,并且测试了Ni Cr Al Y薄膜应变计的电学与应变性能。结果表明:热稳定处理后Ni Cr Al Y薄膜应变计由于在... 采用射频磁控溅射法在Ni基高温合金拉伸件上制备Ni Cr Al Y薄膜应变计。研究了热稳定处理对Ni Cr Al Y薄膜结构、表面形貌的影响,并且测试了Ni Cr Al Y薄膜应变计的电学与应变性能。结果表明:热稳定处理后Ni Cr Al Y薄膜应变计由于在表面形成了一层Al2O3膜,具有抗高温氧化的特性,在室温~800℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数(TCR)约为290×10^-6/℃,室温下的应变计系数(GF)为2.1。 展开更多
关键词 磁控溅射 NICRALY 薄膜应变计 应变计系数 电阻温度系数
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应变计灵敏系数测定装置中标定梁的优化设计(一) 被引量:6
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作者 邓足斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第1期11-15,42,共6页
本文从理论分析入手,结合实际使用的需要,对应变计灵敏系数测定装置中的标定梁横截面形状及其尺寸的优化设计从理论上进行了初步探讨;文中新推出一个公式揭示了梁表面应变值ε、应变区长Z内的应变均匀性δp与梁厚h四者之间的数量... 本文从理论分析入手,结合实际使用的需要,对应变计灵敏系数测定装置中的标定梁横截面形状及其尺寸的优化设计从理论上进行了初步探讨;文中新推出一个公式揭示了梁表面应变值ε、应变区长Z内的应变均匀性δp与梁厚h四者之间的数量关系式。为高精度应变计灵敏系数测定装置提高精度和标定梁的合理使用提供了理论依据。为各国应变计标准涉及应变计灵敏系数测试装置中标定梁的有关条文的制定和修改提供了理论依据,并用实验证明了矩形截面梁在纯弯矩的作用下,中性线实际变形不是圆弧形而是抛物线形。 展开更多
关键词 电阻应变计 优化设计 应变计灵敏系数 标定梁
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从应变计现状看电阻式传感器的前景 被引量:3
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作者 肖斌 高振玲 《华北航天工业学院学报》 2000年第2期21-23,共3页
电阻式传感器的核心部件——电阻应变计是目前最常用的应力分析的敏感元件.也常用于测量力、压力、扭矩和加速度等物理量.作者简要回顾了电阻应变计的发展历史,介绍了电阻应变计的结构、分类及现状,展望了电阻式传感器的前景.
关键词 电阻式传感器 电阻应变计 电阻应变 半导体应变计 敏感栅材料 薄膜 厚膜 粘结剂
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光纤多轴应变计
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作者 李威宣 李明 《光学技术》 CAS CSCD 1998年第4期67-69,74,共4页
本文介绍了一种用于应变测量的新型元件——光纤多轴应变计。这种元件的测量原理与以往的金属敏感栅测量原理截然不同,测量部分为光信号调制,具有灵敏度高、不受电磁干扰、耐高温、传输距离远等特点。本文对这种应变测量元件做了理论... 本文介绍了一种用于应变测量的新型元件——光纤多轴应变计。这种元件的测量原理与以往的金属敏感栅测量原理截然不同,测量部分为光信号调制,具有灵敏度高、不受电磁干扰、耐高温、传输距离远等特点。本文对这种应变测量元件做了理论上的分析及实验研究,确定了光纤多轴应变计的测量方案,从而得到点的应力状态。文中还介绍了应变计的测量电路和温度补偿方法。对于这种新型光学应变计来说,作者对其性能与电阻应变片做了初步比较与探讨,这项工作还将继续下去。 展开更多
关键词 光导纤维 应变计 多轴应变计
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混凝土振弦式应变计测试技术研究 被引量:85
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作者 陈常松 颜东煌 +2 位作者 陈政清 涂光亚 田仲初 《中国公路学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期29-33,共5页
基于振弦式混凝土应变计的测试原理,在现场试验的基础上,对桥梁工程中应变测试的温度变化影响作了深入的探讨,分析了振弦式应变计的自由应变的温度影响以及约束温度应变的计算方法;提出了针对振弦式应变计的温度影响修正公式;同时对水... 基于振弦式混凝土应变计的测试原理,在现场试验的基础上,对桥梁工程中应变测试的温度变化影响作了深入的探讨,分析了振弦式应变计的自由应变的温度影响以及约束温度应变的计算方法;提出了针对振弦式应变计的温度影响修正公式;同时对水化热影响的消除办法进行了分析探讨;提出了用测试应变反映混凝土应力的处理方法,并以荆州长江公路大桥为例介绍了这种消除办法和处理方法的应用效果。 展开更多
关键词 桥梁工程 振弦式应变计 现场试验 混凝土应变 温度影响修正 水化热 应力阈值
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电阻应变计技术六十年(7)——国内外电阻应变计计量标准的进展
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作者 尹福炎 《传感器世界》 1999年第11期5-13,共9页
本文简要介绍美、日等国有关电阻应变计计量标准的进展和OIMLN.62建议的概况。
关键词 电阻应变计 应变计 计量标准 称重传感器
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关于影响空心包体应变计地应力测量精度若干因素的讨论 被引量:24
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作者 李远 乔兰 孙歆硕 《岩石力学与工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期2140-2144,共5页
空心包体应变计法测量地应力较其他地应力测量方法具有精度高、一次可测得三维应力的特点。蔡美峰教授对测量探头进行改进对最初的围压率定公式进行修正,大大提高空心包体地应力测量的精度。但是目前,空心包体地应力测量在实际操作、电... 空心包体应变计法测量地应力较其他地应力测量方法具有精度高、一次可测得三维应力的特点。蔡美峰教授对测量探头进行改进对最初的围压率定公式进行修正,大大提高空心包体地应力测量的精度。但是目前,空心包体地应力测量在实际操作、电路情况、温度变化以及率定公式等方面仍然存在一些误差。通过对国内目前使用的两种空心包体应变计探头在测量电路和温度补偿方面产生误差的大小和原因进行综合比较、分析,指出13线探头在电路方面产生的误差较小,而15线探头在温度补偿方面性能更优。详细分析目前使用的围压率定修正公式,指出蔡美峰教授推导的围压率定修正公式虽然较最初的率定公式在精度上有很大提高但未考虑树脂层受压产生抗力的影响,因此与实际情况也存在一定出入,并推导了完整形式的公式。 展开更多
关键词 岩石力学 测量精度 空心包体应变计 围压
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NiCr高温薄膜电阻应变计制备及耐高温性能研究 被引量:10
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作者 崔云先 张子超 +2 位作者 丁万昱 胡晓勇 张启翔 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1548-1555,共8页
针对高温环境下应力应变测试的技术难题,提出了一种以NiCr薄膜为敏感材料的高温薄膜应变计的制备方法,并对薄膜应变计敏感层的耐高温性能进行研究。研究发现,NiCr薄膜在高温下微观结构、成分发生明显转变,电学性能急剧下降。对添加SiN_x... 针对高温环境下应力应变测试的技术难题,提出了一种以NiCr薄膜为敏感材料的高温薄膜应变计的制备方法,并对薄膜应变计敏感层的耐高温性能进行研究。研究发现,NiCr薄膜在高温下微观结构、成分发生明显转变,电学性能急剧下降。对添加SiN_xO_y和ITO薄膜后的NiCr薄膜分别进行高温测试发现,NiCr薄膜结构、性能没有明显改变,表明SiN_xO_y和ITO薄膜保护下的NiCr薄膜高温下性能稳定。所制的高温薄膜应变计在50~350℃内电阻温度系数为(80~787)×10-6/K,常温下应变灵敏系数为1.19,机械滞后为5.02,高温下的应变测试性能有待进一步研究。 展开更多
关键词 NiCr高温薄膜电阻应变计 耐高温性能 光刻工艺 电阻温度系数
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空心包体式钻孔三向应变计地应力测量的研究 被引量:38
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作者 刘允芳 朱杰兵 刘元坤 《岩石力学与工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期448-453,共6页
对空心包体式钻孔三向应变计的地应力测量方法进行了系统的研究,推导了资料整理的计算公式。对应变片并非直接粘贴在钻孔岩壁上而引入的修正系数Ki和各因素对它的影响以及由它的误差所导致的测量误差,进行了分析。
关键词 地应力测量 空心包体式钻孔三向应变计 测量误差
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金属粘贴式电阻应变计应变传递分析 被引量:18
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作者 王彪 刘腾 +1 位作者 徐敬龙 刘马宝 《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第8期1-6,共6页
通过建立金属粘贴式电阻应变计的二维应变传递解析计算模型,对金属粘贴式电阻应变计的应变传递机理进行深入分析。结果表明,金属粘贴式电阻应变计的应变传递过程受敏感栅、基底及胶接层的几何参数和物理特性参数影响,且在金属粘贴式电... 通过建立金属粘贴式电阻应变计的二维应变传递解析计算模型,对金属粘贴式电阻应变计的应变传递机理进行深入分析。结果表明,金属粘贴式电阻应变计的应变传递过程受敏感栅、基底及胶接层的几何参数和物理特性参数影响,且在金属粘贴式电阻应变计敏感栅两端存在应变过渡区。当胶接层横向宽度越宽、厚度越薄、弹性模量越大时,敏感栅两端的应变传递过渡区就越小,金属粘贴式电阻应变计的平均应变传递率则越大。因此,在实际应用中,应优先选择高弹性模量的胶粘剂,且必须严格控制金属粘贴式电阻应变计的粘贴工艺。 展开更多
关键词 金属粘贴式电阻应变计 胶接层 应变传递 测量准确度
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振弦式应变计在箱型梁桥中的测试技术 被引量:17
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作者 张向东 柴源 刘佳琦 《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2015年第1期48-51,共4页
为改善应变计通用温度修正公式对箱型梁桥修正效果不理想的现象,基于振弦式应变计测试原理和现场试验的方法,分析了环境温度、水化热及太阳辐射对测试结果的影响.研究结果表明:顶板主要受太阳辐射和环境温度影响;腹板和底板主要受环境... 为改善应变计通用温度修正公式对箱型梁桥修正效果不理想的现象,基于振弦式应变计测试原理和现场试验的方法,分析了环境温度、水化热及太阳辐射对测试结果的影响.研究结果表明:顶板主要受太阳辐射和环境温度影响;腹板和底板主要受环境温度影响;对于长期监测,水化热的影响可忽略不计.并根据试验测得数据提出振弦式应变计专门应用于箱型梁桥的温度修正公式.最后在实际工程中验证了这种修正方法的实际应用效果. 展开更多
关键词 桥梁工程 温度影响修正 现场试验 混凝土应变 振弦式应变计
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光纤Bragg光栅应变计在500m口径球面射电望远镜工程索力监测中的应用 被引量:9
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作者 孙晓 王启明 +1 位作者 朱明 吴明长 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期919-925,共7页
为了实时监测500m口径球面射电望远镜(FAST)索网支承结构的典型索力,避免传统索力监测方法对索网支承结构的影响和工作中的电磁干扰,提出了一种间接获取索力值的方法。该方法使用光纤布拉格光栅(FBG)传感器监测索头应变值来间接测量索... 为了实时监测500m口径球面射电望远镜(FAST)索网支承结构的典型索力,避免传统索力监测方法对索网支承结构的影响和工作中的电磁干扰,提出了一种间接获取索力值的方法。该方法使用光纤布拉格光栅(FBG)传感器监测索头应变值来间接测量索力。测量时将FBG应变计与补偿温度计通过专用安装底座焊接于索头线性应变区域轴向,防止直接焊接对索头结构性能的影响;然后使用温度应变补偿法补偿温度变化对FBG应变计测量结果的影响。在索体出厂预张拉过程中对该方法进行标定得到相关索力换算公式系数,从而在实际工程应用中实现了索力的测量。试验结果表明,索力与索头应变线性拟合度高达0.98,实际测量中绝对误差均方差为1.38t,在FAST工程主索工作索力范围内相对误差优于3%,满足工程需求。该方法无电磁干扰,耐用性久,布线灵活简单,已成功应用于FAST工程中的316根典型主索的索力监测中。 展开更多
关键词 光纤BRAGG光栅 应变计 索力监测 温度补偿 射电望远镜
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空心包体应变计测量精度问题 被引量:29
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作者 蔡美峰 乔兰 于劲波 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期15-20,共6页
空心包体应变计已在国内外地应力测量中得到广泛的应用。然而目前国内在使用空心包体应变计的测量结果计算地应力场的过程中存在着一些不可忽视的问题,这些问题与使用者对空心包体应变计的理论基础和工作原理缺乏认识有关。而这些问题... 空心包体应变计已在国内外地应力测量中得到广泛的应用。然而目前国内在使用空心包体应变计的测量结果计算地应力场的过程中存在着一些不可忽视的问题,这些问题与使用者对空心包体应变计的理论基础和工作原理缺乏认识有关。而这些问题的存在将大大影响地应力测量计算结果的可靠性和准确性。本文提出了有关问题并给出了解决这些问题的有效技术和方法。 展开更多
关键词 空心包体应变计 地应力 测量 计算
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围压试验在空心包体式应变计地应力测量中的作用 被引量:26
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作者 刘允芳 刘元坤 《岩石力学与工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第23期3932-3937,共6页
围压加载试验是空心包体式钻孔三向应变计地应力测量中配套进行的一种重要试验。详细推导了围压加载试验测定弹性常数的计算公式,并且利用它的试验成果对解除应变值进行修正,使地应力实测成果的可靠性更高。附有实例。
关键词 岩石力学 地应力测量 空心包体式钻孔三向应变计 围压加载试验 弹性常数的测定
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