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模具钢在汽车模具加工中的应用
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作者 田丰 《汽车测试报告》 2024年第5期76-78,共3页
近年来,随着科学技术及汽车模具加工技术的不断发展,汽车模具钢材质日渐丰富,多种模具钢适用于汽车模具加工制造,可极大地提升汽车模具加工效果。模具生产是汽车加工的重要流程,有利于保障汽车加工质量。同时,模具钢作为一种重要材料,... 近年来,随着科学技术及汽车模具加工技术的不断发展,汽车模具钢材质日渐丰富,多种模具钢适用于汽车模具加工制造,可极大地提升汽车模具加工效果。模具生产是汽车加工的重要流程,有利于保障汽车加工质量。同时,模具钢作为一种重要材料,加强对其在汽车模具加工中的应用研究十分重要。该文对模具钢进行概述,包括特征及优势、分类、常用材质及发展前景,探讨模具钢在汽车模具加工中的具体应用,从而更好地提升汽车模具加工质量。 展开更多
关键词 汽车模具 模具 塑料模具 冷作模具 热作模具
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2024辽宁模具产业交流大会隆重举行
2
《模具制造》 2024年第2期I0022-I0022,共1页
2024年1月6日,由沈阳市工业和信息化局、苏家屯区人民政府、辽宁省模具制造行业协会共同主办,沈阳市工装模具行业协会和大连市模具协会共同承办的"数智模具·赋能辽宁·引领未来"2024辽宁模具产业交流大会在辽宁大厦... 2024年1月6日,由沈阳市工业和信息化局、苏家屯区人民政府、辽宁省模具制造行业协会共同主办,沈阳市工装模具行业协会和大连市模具协会共同承办的"数智模具·赋能辽宁·引领未来"2024辽宁模具产业交流大会在辽宁大厦隆重举行。 展开更多
关键词 模具产业 行业协会 工装模具 苏家屯区 交流大会 模具制造行业 模具协会 工业和信息化
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精密汽车注射模具数控加工精度提升探析
3
作者 何佳春 《数控机床市场》 2024年第3期21-24,共4页
近年来,国家大力发展汽车工业和基础工业,汽车工业的发展离不开精密汽车注射模具的发展,而模具的发展和制造离不开加工制造,现在市面上大部分的精密汽车模具都采用数控加工,数控加工汽车精密模具有着独特的工艺优势。汽车精密注射模具... 近年来,国家大力发展汽车工业和基础工业,汽车工业的发展离不开精密汽车注射模具的发展,而模具的发展和制造离不开加工制造,现在市面上大部分的精密汽车模具都采用数控加工,数控加工汽车精密模具有着独特的工艺优势。汽车精密注射模具制造是工业和汽车领域的装备基础设施。随着数控加工技术在模具制造领域中大量的应用,各式各样的数控机床的的自动化和精度都在不断的提高。汽车精密注射模具数控加工的精度对模具整体加工的精度提出了更苛刻和严格的要求,特别是复杂大型的汽车注射模具加工,同时也对注射模具加工精度提出了更高的挑战。对于模具设计加工制造企业来讲,提升模具自身的加工精度,不光是提升产品的质量,更重要的意义是提高模具制造企业在行业领域中的核心竞争力的关键点。 展开更多
关键词 核心竞争力 注射模具 精密模具 基础设施 加工精度 模具制造企业 汽车模具 整体加工
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基于动态磨损模型的汽车覆盖件模具磨损数值模拟研究
4
作者 赵妍洁 张双杰 +4 位作者 穆振凯 王伟 闫华军 马世博 张永辉 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期515-523,共9页
针对某铝合金覆盖件冲模磨损失效问题,为更加准确地预测汽车覆盖件模具的使用寿命,基于Archard磨损模型建立了动态磨损模型。该模型耦合了动态磨损系数和表面硬度变化曲线,其中,磨损系数K转化为随接触压力和相对滑移速度变化的动态磨损... 针对某铝合金覆盖件冲模磨损失效问题,为更加准确地预测汽车覆盖件模具的使用寿命,基于Archard磨损模型建立了动态磨损模型。该模型耦合了动态磨损系数和表面硬度变化曲线,其中,磨损系数K转化为随接触压力和相对滑移速度变化的动态磨损系数,表面硬度考虑了磨损深度的变化。利用Python语言对ABAQUS软件进行二次开发,将动态磨损模型耦合到有限元模拟中,实现了考虑磨损系数和硬化层深度变化的汽车覆盖件模具磨损计算。通过对比分析凸凹模典型位置在成形过程中的动态磨损演化规律,并以模具最大磨损深度0.5 mm作为失效判据,得到该铝合金覆盖件冲压模具的使用寿命为635428次。模具主要发生磨损的位置集中在模具合模线附近和大圆角处,在实际生产中需要对这些位置进行修模、调试,从而有效延长模具的使用寿命。 展开更多
关键词 汽车覆盖件模具 模具寿命 模具磨损 动态磨损模型
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常见工模具钢分类及热处理工艺
5
作者 谢耀洲 董航宇 《金属加工(热加工)》 2024年第6期1-10,共10页
工模具钢是模具制造业的基础,它的选择对模具加工行业中的模具设计和制造有着至关重要的作用。工模具钢广泛应用于汽车、航空航天、无线电仪表等行业,且随着模具加工行业的进步和模具钢的大范围应用,研究工模具钢的性能就显得十分重要... 工模具钢是模具制造业的基础,它的选择对模具加工行业中的模具设计和制造有着至关重要的作用。工模具钢广泛应用于汽车、航空航天、无线电仪表等行业,且随着模具加工行业的进步和模具钢的大范围应用,研究工模具钢的性能就显得十分重要。热处理工艺是将模具钢应用于实际中的重要一环,合理的热处理工艺可以改善模具钢的强度性能和工艺性能。目前,在试验研究和实际生产领域已有多种热处理工艺,并且研究人员仍在致力于更加高效、更加绿色的新工艺开发。主要概述了一些常见的工模具钢热处理工艺,并对其发展趋势做出展望。 展开更多
关键词 模具 热处理 热作模具 冷作模具 塑料模具
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基于改进SVR算法的模具棱线磨损预测方法研究
6
作者 谢晖 蒋磊 +3 位作者 刘守河 王龙 李乐平 孔繁涛 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期198-210,共13页
为研究汽车覆盖件模具棱线几何特征参数及成形工艺参数对棱线磨损的影响,实现对模具棱线磨损的精准预测,提出了一种基于改进SVR算法的模具棱线磨损预测模型.通过利用改进的拉丁超立方抽样(ILHS)方法获取模具棱线磨损有限元计算的实验样... 为研究汽车覆盖件模具棱线几何特征参数及成形工艺参数对棱线磨损的影响,实现对模具棱线磨损的精准预测,提出了一种基于改进SVR算法的模具棱线磨损预测模型.通过利用改进的拉丁超立方抽样(ILHS)方法获取模具棱线磨损有限元计算的实验样本,进而构建预测模型的输入参数集.通过耦合混沌理论、动态权重方法对蝗虫优化算法(GOA)进行改进,利用改进后的蝗虫优化算法(IGOA)对SVR算法关键参数进行寻优.构建了基于IGOASVR算法的模具棱线磨损预测模型,结合粒子群寻优算法(PSO)建立多目标优化模型,实现对模具棱线磨损的高精度预测以及几何特征参数和成形工艺参数优化.对比5种常规预测模型,基于IGOA-SVR算法的预测模型在采样点处的预测误差分别为8.546%、8.497%、8.473%,较GOA-SVR预测模型分别提高25.9%、26.2%、26.4%,预测精度相比于其他预测模型也有不同程度的提高.结果表明改进后的IGOA-SVR算法具有更高的精度. 展开更多
关键词 模具磨损 蝗虫优化算法 支持向量回归 模具锐棱 粒子群寻优算法
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碎纸机塑件外壳大型注塑模具设计
7
作者 赵利平 张小娟 彭新华 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期106-111,共6页
以碎纸机塑件外壳为研究对象,设计了一副结构复杂的大型热流道塑胶模具。根据塑件的结构特点和使用要求,模具设计两点热咀进胶方式保证进胶的均衡性;采用1个油缸驱动的定模隧道滑块抽芯机构,1个天侧油缸驱动的滑块抽芯机构,1个地侧斜销... 以碎纸机塑件外壳为研究对象,设计了一副结构复杂的大型热流道塑胶模具。根据塑件的结构特点和使用要求,模具设计两点热咀进胶方式保证进胶的均衡性;采用1个油缸驱动的定模隧道滑块抽芯机构,1个天侧油缸驱动的滑块抽芯机构,1个地侧斜销驱动的滑块抽芯机构,滑块还包括延时弹针设计,5个斜顶抽芯机构,解决塑件所有倒扣的脱模难题。定模采用U形水路设计,动模采用水井均布的方式,滑块上单独水路冷却设计,使模具在实际生产过程中塑件的成型周期和品质均表现优异。模具顶出主要采用直顶块顶出机构的方式配合斜顶完成。 展开更多
关键词 碎纸机 热流道 注塑模具 抽芯机构 模具排气 水路设计
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空间扭曲的导光条注塑模具设计
8
作者 许红伍 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期76-85,共10页
导光条的重要特征是导光齿,针对导光齿呈空间扭曲状态分布的长条形导光条模具的开模方向设计难点,提出了基于特征面的法向集合选择模具Z向的方法。先分析零件特征,进行特征面归类,整理归类好的特征面的法向集合,寻找法向的分布规律,根... 导光条的重要特征是导光齿,针对导光齿呈空间扭曲状态分布的长条形导光条模具的开模方向设计难点,提出了基于特征面的法向集合选择模具Z向的方法。先分析零件特征,进行特征面归类,整理归类好的特征面的法向集合,寻找法向的分布规律,根据分布规律确定模具的开模方向范围,再借助零件上其他特征缩小开模方向范围,直至选定合适的开模方向和模具坐标系。在模具结构设计过程中,充分考虑模具受力平衡,设计了瓣合分型+空间大角度抽芯的多层组合式分型机构,最终成功设计了一套一模两件带组合抽芯机构的热流道模具。模具受力平衡,产品质量好。 展开更多
关键词 导光条 开模方向 组合抽芯 模具受力 注塑模具
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注塑模具随形冷却管道自动生成技术
9
作者 王静 吴浩杰 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期121-127,共7页
作为一种新颖的水路结构,随形水路以其优越的冷却效果在模具工程中得到了越来越多的应用。然而由于随形水路的特殊性,其管道的创建过程并不容易。针对注塑模具随形水路传统设计方法中普遍存在的操作复杂耗时且易出错的问题,受莲藕内部... 作为一种新颖的水路结构,随形水路以其优越的冷却效果在模具工程中得到了越来越多的应用。然而由于随形水路的特殊性,其管道的创建过程并不容易。针对注塑模具随形水路传统设计方法中普遍存在的操作复杂耗时且易出错的问题,受莲藕内部导管结构的启发,结合实际模具工程中随形水路的设计要求,提出了一种随形水路自动生成算法。该算法的基本思路是首先沿模具型芯高度方向建立一系列基准面,作为切片层,通过对模具零件进行分层切片,获得每一个切片层上的型芯轮廓线。然后在每一个切片层上以指定管径按照逐点扫描的方法进行曲线干涉检查,筛选出样条曲线的控制点,并制定连线策略使用样条曲线依次连接各个切片层上的控制点,从而获得样条曲线。最后以样条曲线作为管道扫描中心线,扫描形成随形冷却管道实体。以NX为算法实现平台,开发了随形水路自动设计系统与NX无缝衔接,实例验证表明,该方法大幅度缩短了设计时间,减轻了设计人员的工作负担,提高了随形水路的设计效率和质量。 展开更多
关键词 注塑模具 模具设计 随形水路 随形冷却 冷却系统
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基于抽真空系统的继电器线圈BMC热固性塑料模具结构设计
10
作者 郑跃刚 金晓明 黄寅 《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期60-64,71,共6页
对于原有BMC继电器线圈模具的外观较差、线圈断线丝、生产效率及合格率较低等问题,设计了一种1模16腔布局的上、下双顶出系统的压注模具,通过抽真空系统结构的设计将注塑压力从原充填压力19~42 MPa降低至22~25 MPa,成型件采用电加热及... 对于原有BMC继电器线圈模具的外观较差、线圈断线丝、生产效率及合格率较低等问题,设计了一种1模16腔布局的上、下双顶出系统的压注模具,通过抽真空系统结构的设计将注塑压力从原充填压力19~42 MPa降低至22~25 MPa,成型件采用电加热及电阻测温方法,上模镶件的温度控制在148~151℃之间,下模镶件的温度控制在148~151℃之间,通过实际生产验证抽真空系统的效果。该改进方案使不合格品率从0.08%降低至0.015%,生产效率提高了20%。结果表明,该模具通过抽真空系统的应用提高了模具的可靠性及稳定性,满足自动化数字化生产线的要求,并且,提高了生产效率与产品的合格率。 展开更多
关键词 抽真空系统 BMC继电器线圈模具 模具设计 模流仿真验证 排气槽 溢料槽
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洗发液瓶盖倒装式多板点浇口模具设计
11
作者 程文 秦鹏高 《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期111-115,共5页
基于三板模设计了洗发液瓶盖的倒装式点浇口多瓣式模具,模具解决了瓶盖外表面不留浇口痕迹的浇注系统设计难点,也解决了被动式脱螺纹容易导致塑件成型螺纹损伤的问题。首先,将模腔在模具中按倒装方式布置,使点浇口可以设置开设在瓶盖内... 基于三板模设计了洗发液瓶盖的倒装式点浇口多瓣式模具,模具解决了瓶盖外表面不留浇口痕迹的浇注系统设计难点,也解决了被动式脱螺纹容易导致塑件成型螺纹损伤的问题。首先,将模腔在模具中按倒装方式布置,使点浇口可以设置开设在瓶盖内部。其次,固定内螺纹型芯不动,利用液压马达驱动的旋转动力驱动型芯镶件转动,带动瓶盖在内螺纹型芯上转动,从而主动脱模,并同步依靠瓶盖外沿推板辅助推动将瓶盖从旋转的型芯镶件上推出而完全脱模。瓶盖通过模具的4次机械开模,达到自动脱模的目的,动作可靠,生产效率较高,能将单模瓶盖生产能力提高到40万件/月的能力。所设计的脱螺纹方法新颖实用,模具多次开模顺序控制件简单可靠,将三板模模具结构进行衍生创新,设计为多板式点浇口模具,满足塑件成型要求。 展开更多
关键词 洗发液瓶盖 三板模具 多板模具 脱螺纹 倒装结构 机构设计 注塑模具
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轮胎阶梯式直压硫化内模具的运动学仿真研究 被引量:1
12
作者 涂玉祥 靳晓哲 +4 位作者 杨卫民 何雪涛 阎华 谭晶 焦志伟 《橡胶工业》 CAS 2024年第1期58-62,共5页
对225/40R18轮胎的阶梯式直压硫化内模具(简称内模具)进行运动学仿真研究。通过设定连杆和运动副以及用STEP函数控制内模具的运动,进行仿真分析得到了在活塞外杆、活塞内杆、宽鼓瓦、窄鼓瓦中心位置设置的观测点的位移情况。结果表明,... 对225/40R18轮胎的阶梯式直压硫化内模具(简称内模具)进行运动学仿真研究。通过设定连杆和运动副以及用STEP函数控制内模具的运动,进行仿真分析得到了在活塞外杆、活塞内杆、宽鼓瓦、窄鼓瓦中心位置设置的观测点的位移情况。结果表明,阶梯式内模具的运动平稳、连续,且不会发生干涉。 展开更多
关键词 轮胎 阶梯式直压硫化内模具 模具设计 运动学仿真
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冲裁模具间隙分析
13
作者 李勇华 谭伟美 《中国科技信息》 2024年第12期66-68,共3页
在21世纪发展中国家经济进入高速发展时期,原传统的手工制作已经落后,21世纪的今天普遍采用数字化,信息化设计的现代加工技术时代,模具制造业依然是现代工业生产之母,也是我国发展经济重要支柱,也是国民经济的重要基础之一,制造业大部... 在21世纪发展中国家经济进入高速发展时期,原传统的手工制作已经落后,21世纪的今天普遍采用数字化,信息化设计的现代加工技术时代,模具制造业依然是现代工业生产之母,也是我国发展经济重要支柱,也是国民经济的重要基础之一,制造业大部分产业离不开模具制造。在五大产业中,五金、汽车、电子、通信、家电等广泛应用模具制造。模具制造领域占重要地点,模具制造技术水平也体现一个国家的生产技术水平,人们在技术与产品非常重视,以至到现在我们模具制造的质量有了一个很大的提高. 展开更多
关键词 发展中国家经济 模具制造技术 模具制造业 信息化设计 冲裁模具 间隙分析 手工制作 现代加工技术
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超薄黄金制品模具的设计制作
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作者 冯桂坤 赵锟 +2 位作者 吴鹏 王耀杰 李香娟 《内江科技》 2024年第8期23-25,共3页
为满足批量化生产需要,保证超薄黄金制品的表面光洁,提高产品在市场上的竞争力,采用了超薄黄金双面压铸一体成形工艺,该工艺需要保证足够的压制模具供应。通过对压制超薄黄金类产品相关设备及模具加工工艺的改进,形成了一套完整的超薄... 为满足批量化生产需要,保证超薄黄金制品的表面光洁,提高产品在市场上的竞争力,采用了超薄黄金双面压铸一体成形工艺,该工艺需要保证足够的压制模具供应。通过对压制超薄黄金类产品相关设备及模具加工工艺的改进,形成了一套完整的超薄黄金类模具制作方法,实现了压制超薄类黄金产品模具制作的批量化,并提高了模具产品的合格率。 展开更多
关键词 批量化生产 模具制作 模具产品 压制模具 设计制作 竞争力 超薄 合格率
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汽车制造用模具材料与模具热处理技术的进展
15
作者 马广兴 《锻压装备与制造技术》 2024年第5期95-98,共4页
随着汽车制造技术的不断进步,对其模具材料的要求也在不断提高。传统的模具材料如碳钢、合金钢等在一定程度上已经不能满足高效、高精度、高耐磨等要求,需要进行新型模具材料的研发应用。同时,汽车制造用模具材料与模具热处理技术的进... 随着汽车制造技术的不断进步,对其模具材料的要求也在不断提高。传统的模具材料如碳钢、合金钢等在一定程度上已经不能满足高效、高精度、高耐磨等要求,需要进行新型模具材料的研发应用。同时,汽车制造用模具材料与模具热处理技术的进展也为汽车制造业带来更高效、更精密的模具加工工艺,推动了模具技术的全面进步。 展开更多
关键词 汽车制造 模具技术 模具材料 模具热处理
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广东省模具产业高质量发展技术交流会在东莞圆满举行
16
《模具制造》 2024年第8期I0023-I0023,共1页
2024年7月21日,由广东省机械模具科技促进协会主办、东莞市高端装备制造业技能人才培养联盟协办的以“产业要发展,技术乃先行”为主题的广东省模具产业高质量发展技术交流会在东莞横沥圆满举行。本次技术交流会汇聚了来自模具行业的众... 2024年7月21日,由广东省机械模具科技促进协会主办、东莞市高端装备制造业技能人才培养联盟协办的以“产业要发展,技术乃先行”为主题的广东省模具产业高质量发展技术交流会在东莞横沥圆满举行。本次技术交流会汇聚了来自模具行业的众多专家学者和技术人员,围绕模具材料、热流道、金属3D打印、企业数字化建设及企业发展核心要素分析等展开详细的技术分享,共同探讨模具产业的高质量发展路径。 展开更多
关键词 高端装备制造业 模具产业 机械模具 模具材料 热流道 技术人员 数字化建设 技能人才培养
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先张法预制混凝土30米双T梁整体式模具体系研究
17
作者 刘殿生 吴晨磊 朱敏涛 《混凝土世界》 2024年第4期54-58,共5页
先张法预制双T梁构造简单,具有良好的承载能力和稳定性,且施工便捷,便于工业化生产。本文依托上海市沿江通道西延伸改建工程,研究先张法预制30 m双T梁整体式模具的结构体系和设计思路。在整体式模具方案中,单侧模板在构件长度方向上被... 先张法预制双T梁构造简单,具有良好的承载能力和稳定性,且施工便捷,便于工业化生产。本文依托上海市沿江通道西延伸改建工程,研究先张法预制30 m双T梁整体式模具的结构体系和设计思路。在整体式模具方案中,单侧模板在构件长度方向上被合并为一个整体,通过液压机构驱动模板整体移动,施工人员通过操作液压控制系统,可以实现模具整体式快速拆装。与传统散拆模具相比,整体式模具拆合模的所用时间和人工成本均明显下降,由于整体式模具拼缝较少,预制构件的外观质量和尺寸精度得到了大幅提升。 展开更多
关键词 先张法双T梁 模具设计制作 高精度模具 整体式模具
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内牙水管接头的注塑模具设计及CAE仿真 被引量:2
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作者 李波 罗善明 +1 位作者 李毅 陈志杭 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期95-101,共7页
针对一端带有内螺纹和另一端为光孔的水管接头,设计了一套带有齿轮传动+抽芯液压缸的自动脱螺纹机构和斜导柱侧抽芯机构的三板式注塑模具。首先,结合塑件的结构特点,确定了点浇口进胶以及浇口位置和直流循环式的冷却回路,利用模流仿真... 针对一端带有内螺纹和另一端为光孔的水管接头,设计了一套带有齿轮传动+抽芯液压缸的自动脱螺纹机构和斜导柱侧抽芯机构的三板式注塑模具。首先,结合塑件的结构特点,确定了点浇口进胶以及浇口位置和直流循环式的冷却回路,利用模流仿真分析软件moldflow对确定的模流分析模型进行注塑成型工艺过程模拟分析。结果表明,塑料熔体的充填时间、缩痕指数、气穴分布以及翘曲变形量等成型工艺参数都在合理范围之内,验证了浇注系统和冷却系统设计的合理性。其次,对模具结构进行设计,将主分型面取在塑件的轴心面上,其余两个分型面顺序分型实现浇注系统凝料的自动脱落。由于塑件为带内螺纹的管状零件,针对内螺纹脱模难的问题,设计了齿轮传动机构驱动螺纹侧型芯旋转和抽芯液压缸的直线移动的两套运动机构实施自动脱螺纹,塑件光孔部分的成型和抽芯采用斜导柱侧抽芯机构来实现。通过模流分析,验证了模具结构的合理性,并且缩短了模具设计的开发周期,有效地提高了塑件的成型质量。 展开更多
关键词 水管接头 自动脱螺纹 模流分析 抽芯机构 注塑模具
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汽车激光雷达盖板的双色注塑模具设计 被引量:1
19
作者 翁礼杰 彭贤峰 +2 位作者 傅莹龙 夏文明 任建平 《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期50-55,共6页
根据某车型激光雷达盖板的双色结构及形状,采用动模型芯旋转式结构的模具方案,设计了一套一出二的热流道双色注塑模具。利用Moldflow软件进行了双色成型分析,双色注塑第一次注射成型透明的PMMA材料的产品,第二次注射成型黑色ASA材料的... 根据某车型激光雷达盖板的双色结构及形状,采用动模型芯旋转式结构的模具方案,设计了一套一出二的热流道双色注塑模具。利用Moldflow软件进行了双色成型分析,双色注塑第一次注射成型透明的PMMA材料的产品,第二次注射成型黑色ASA材料的产品。为实现该双色产品的结构成型,在定模处设计了2组不同结构的型腔,在动模处设计了2组左右对称的型芯,并且,在型芯侧设计了双斜导柱抽芯机构,冷却系统设计为“直通式+隔水片”的随形循环水路;顶出系统设计为2组独立的液压油缸,在产品顶出取件中,第一次注射成型的PMMA产品不顶出,第二次注射成型的ASA材料的产品采用“直顶+斜顶”的组合机构将双色产品推出,最终通过机械手完成产品的取件。实践生产证明了该双色模具结构合理、运行稳定、成型的双色塑件表面无缺陷。 展开更多
关键词 激光雷达盖板 型芯旋转式结构 双色注塑模具 双色成型分析 双斜导柱抽芯
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微模具重复利用的高深宽比铜微结构微电铸复制技术
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作者 苏少雄 孙云娜 +3 位作者 宋嘉诚 吴永进 姚锦元 丁桂甫 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期162-169,共8页
针对紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺的去胶难题,提出了一种以脱模代替去胶的改良工艺,用于批量制造高深宽比铜微结构。该工艺以可重复利用的硅橡胶软模具代替传统的SU-8光刻微模具,采用硅通孔(TSV)镀铜技术进行微电铸填充,然... 针对紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺的去胶难题,提出了一种以脱模代替去胶的改良工艺,用于批量制造高深宽比铜微结构。该工艺以可重复利用的硅橡胶软模具代替传统的SU-8光刻微模具,采用硅通孔(TSV)镀铜技术进行微电铸填充,然后通过直接脱模实现金属微结构的完全释放,既解决了去胶难题,又能够解决高深宽比微模具电铸因侧壁金属化导致的空洞包夹问题,同时可以大幅降低成套工艺成本。仿真和实验结果显示,热处理可以改善脱模效果,显著降低脱模损伤,支持微模具重复利用。采用初步优化的改良工艺已成功实现深宽比约3∶1的铜微结构的高精度复制。 展开更多
关键词 紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺 硅橡胶模具 硅通孔(TSV)镀铜 脱模 模具重复利用
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