BEPCⅡ大功率波导真空阀门的研制

大功率波导真空阀门是BEPCⅡ直线加速器微波系统的重点改进项目，作为微波大功率传输和真空密封双重功能的超高真空微波器件，机械结构比较复杂，制造工艺难度大。经过各方努力，已经研究完成16台大功率波导真空阀门，并在2004年全部安装在加速器上使用。目前进入到波导真空阀门的脉冲功率为30-50MW，高功率运行工作状态良好。对阀门从设计原理、机械结构、微波测试及高功率运行等方面作了较详细的阐述。

真空泵、真空阀门质量检测公告

2008年9月-2009年3月经国家真空设备质量监督检验中心检验，下列产品符合相关标准要求，特此公告。（排名不分先后）

真空泵、真空阀门质量检测公告

2008年9月-2009年3月经国家真空设备质量监督检验中心检验，下列产品符合相关标准要求，特此公告。（排名不分先后）

真空泵、真空阀门质量检测公告

2008年9月-2009年3月经国家真空设备质量监督检验中心检验，下列产品符合相关标准要求，特此公告。（排名不分先后）

制氦装置应用三偏心真空蝶阀密封圈的探索

基于氦气本身特性、制氦装置高密封性要求以及液氦资源经济性的考虑,以三偏心蝶阀为研究对象,对制氦装置用密封圈设计进行了多方面的探索和研究。首先针对多种密封圈方案进行尝试,探讨其各自的优缺点和局限性。然后提出了一种采用金属骨架橡胶密封圈来有效解决真空密封问题的设计,并从密封性、工作力矩及寿命等方面对该设计进行了理论和试验验证。最后对该设计的整体经济性进行了阐述。该金属骨架橡胶密封圈设计能充分满足常温下制氦装置中调节蝶阀的密封要求。

半导体制造装备用阀门技术发展现状

针对目前国内半导体制造装备用阀门研究极少和国产化所面临的诸多困难,对半导体制造装备用阀门的技术发展水平进行了综述,介绍了半导体制造装备用阀门的主要制造工艺和设备以及目前国内外超高真空阀门的研究现状,总结了半导体制造用阀门具有高洁净度、长寿命、超高真空密封性能和精密控制等显著特点;指出了实现国产化面临着磨损粒子产生机理不明、缺乏相应长寿命的配套件和产品技术标准缺失等主要挑战,并对半导体制造装备用阀门国产化的开展给出了具体建议。

PV-10型真空压电阀门性能测定实验

压电晶体阀是真空充气系统中一种微流量充气阀门。它具有流量小、开启快、可以远程控制等优点,但压电阀门的进气量难以用函数的方式准确描述,而且随着使用时间的增长往往有改变。本文介绍了一种PV 10型阀门的性能测定方法和结果,为HT 7托卡马克聚变装置中性束注入器系统离子源和中性化室充气量确定提供了参考数据。

当年代号“真空阀门”--记研制我国第一颗原子弹“心脏”的“隐姓埋名人”

在中国科学院上海分院举办的“报国讲坛”首场报告会上,一位年逾八旬的老人动情地说:“我为自己曾为我国第一颗原子弹成功爆炸,作出了切实贡献而感到光荣和自豪,那一段为蘑菇云早日升空而奋斗的峥嵯岁月,给了我一生的教益,那就是:要永远为我们的国家努力奋斗!”

第十六讲 真空系统的操作与维护

（上接2009年第6期88页） 图40给出不单独设置粗抽管道，不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。

第十六讲 真空系统的操作与维护

1真空系统的组成 1．1真空系统的型式 用于满足某种工艺要求，能够获得并测量有特定要求真空度的系统称真空系统。一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、及其它真空元件及电气控制系统构成。典型的真空系统如图1及图2所示。

第九讲:真空系统组成元件

真空技术及应用系列讲座东北大学真空工程博士点，博士导师杨乃恒先生主持第一讲：真空科学的发展及其应用李云奇９５（２）…………………………………………第二讲：真空物理基础张世伟９５（３）………………………………………………………第三讲：机械真空泵（一）（...

《真空工程技术》一书已出版

由东北大学徐成海教授任主编，巴德纯教授（东北大学）、于溥教授级高工（沈阳真空技术研究所）、达道安研究员（航天部510所）、张世伟副教授（东北大学）任副主编的《真空工程技术》一书于2006年9月由化学工业出版社出版。全书约200万字，共一册32章，内容包括真空技术基础、真空泵、真空测量仪器、真空阀门、密封等零部件以及真空容器和真空系统设计计算等和真空技术在各工业领域中的应用，

《真空工程技术》一书已出版

由东北大学徐成海教授任主编，巴德纯教授（东北大学）、于溥教授级高工（沈阳真空技术研究所）、达道安研究员（航天部510所）、张世伟副教授（东北大学）任副主编的《真空工程技术》一书于2006年9月由化学工业出版社出版。全书约200万字，共一册32章，内容包括真空技术基础、真空泵、真空测量仪器、真空阀门、密封等零部件以及真空容器和真空系统设计计算等和真空技术在各工业领域中的应用，包括冶金、热处理、镀膜、干燥、浸渍、包装、蒸馏、过滤、输送、绝热、航天、核工业领域，

《真空工程技术》一书已出版

由东北大学徐成海教授任主编，巴德纯教授（东北大学）、于溥教授级高工（沈阳真空技术研究所）、达道安研究员（航天部510所）、张世伟副教授（东北大学）任副主编的《真空工程技术》一书于2006年9月由化学工业出版社出版。全书约200万字，共一册32章，内容包括真空技术基础、真空泵、真空测量仪器、真空阀门、密封等零部件以及真空容器和真空系统设计计算等和真空技术在各工业领域中的应用，包括冶金、热处理、镀膜、干燥、浸渍、包装、蒸馏、过滤、输送、绝热、航天、核工业领域，还有真空工程材料与工艺等内容。

半导体衬底晶体材料生长真空系统

一种适用于半导体衬底晶体材料生长的真空系统，包括晶体生长真空室和高真空系统，所述高真空系统包括用于抽真空的直联旋叶式机械泵、钛离子泵和冷却阱，直联旋叶式机械泵经预真空阀门、真空管道接钛离子泵，钛离子泵经冷却阱、阀门、高真空管道、高真空阀接晶体生长真空室。本发明为半导体衬底晶体材料生长提供一个优质洁净的超高真空环境，真空室内极限真空度可达3×10^-8Pa。

上海阀门二厂成功转制为全民营企业——上海阀门二厂有限公司

上海阀门二厂创立于1935年，至今已有七十年的历史。70年来全厂员工厉精图治，致力于我国真空阀门的开发生产和发展事业，为国家重点工程国防科研项目的建设和国民经济发展作出了重大贡献。曾获得国家经委颁发的新产品金龙奖；国家重大项目一等奖；李鹏总理亲笔签名的银奖；多次获得市、局级新产品奖。