挠性摆式微硅加速度计的有限元分析

】微硅加速度计是近年来发展起来的新型器件，在结构设计阶段必须对其进行力学分析，以期对使用条件下的摆片位移、应力等作到心中有数。本文采用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行有限元分析，其中包括对未封装及封装后实体单元进行敏感轴位移、侧向位移、横向灵敏度、受力情况等分析。分析结果表明所设计的微硅加速度计符合仪表性能要求。

硅加速度计系统设计技术

介绍了力平衡式硅加速度计的设计 ,勾画了 MEMS产品的一般设计思路和方法 .微结构与电子线路这两个相互依存的设计部分的有效结合保证了整个系统的最终性能与特性 .因此 。

静电力平衡式微型硅加速度计方案分析

静电力平衡式微型硅加速度计是一种新型加速度计。本文对这种加速度计的３种典型方案进行了分析，导出静电力（力矩）、静电力平衡回路刚度（角刚度）及加速度测量范围的表达式。有关结果可为这种加速度计参数设计提供理论依据。

硅加速度计动态I/O特性的标定和数据采集

介绍了振动台测量控制系统、标定振动g值及减小标定误差的技术 .在此基础上 ,介绍了利用HP344 0 1A型数字万用表和微型计算机进行数据采集的通信技巧和编程技巧 .利用这套系统 ,对笔者联合研制开发的仪表级压阻式硅加速度计动态I/O特性进行了大量的测试标定和数据采集处理 ,得出了可靠和满意的结果 .

一种高精度微硅加速度计的模态分析与模拟验证

文章介绍了一种“轿式”结构高精度微硅加速度计的总体结构。从振动机理出发,重点分析该加速度计的振动模态与结构参数的关系,得出了两者之间的函数关系,利用Ansys结构分析软件对其进行了模拟验证。

3140型压阻式微硅加速度计测试与分析

微型加速度计作为一种新型惯性传感器 ,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。 314 0型压阻式微硅加速度计是美国ICSensors公司的产品。文中介绍了它的结构设计和工作原理 ,并对其重要性能参数进行了测试和分析。

叉指式微硅加速度计的参数化设计

详细阐述了微硅加速度计的原理 ,根据材料力学以及结构动力学原理 ,分析了叉指式驱动 /检测结构的动力学模型 ,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型 ,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系 ,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导 。

微机械硅加速度计的性能分析

介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。

硅加速度计幅频特性曲线的全自动数据采集和处理技术

介绍由激振控制系统、数字存储示波器和计算机等组成的硅加速计幅频特性全自动采集处理的硬件系统和软件技术 。

新颖型非整体膜结构硅加速度计的研制

简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片 ,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件 。

压阻式硅加速度计固有频率的解析计算

固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式误差大的缺点,利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式硅加速度计固有频率的计算公式。计算结果与有限元软件仿真分析的结果相符。推导的公式能快速准确地计算压阻式硅加速度计的固有频率,并可直接用来编程,避免了有限元仿真分析需要反复建模的复杂过程,简化了优化设计的过程。

一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析

本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真 ,其敏感轴平行于检测质量平面 ,微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择 ,利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠梁结构参数对加速度计固有谐振频率和力学特性的影响。最后给出了一个符合仪表性能要求的微加速度计 ,其中心摆片大小为 1.6 mm× 1.0 mm ,量程为 2 5 g,分辨率为 0 .5× 10 - 3g。

硅加速度计在末制导炮弹测试中的应用

文中着重于在小动态范围情况下炮射导弹抗高过载的测试问题。详细介绍了3255型硅加速度计的构成和工作原理及其简要的结构特点;尤其关于硅加速度计在弹道测试中的应用;给出了测试曲线和安装工艺;得出了结论。

微硅加速度计技术综述

综述了微硅加速度计的发展概况 ,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用 。

微硅加速度计的超精细加工

本文讨论了各向异性腐蚀的机理；硅的各向异性腐蚀设计；双面光刻等与微硅加速度计有关的超精细加工问题。

硅加速度计设计的折衷方案

加速度计系统的设计者们面临的是一系列彼此竞争的技术。从中作出正确的选择往往需要对价格和性能进行折衷考虑。象汽车安全气囊和刹车系统这种对安全性要求极高的应用场合，需要依赖先进的传感器技术来满足其严格的性能及可靠性要求。当设计者开发用于这些应用的加速度计...

硅加速度计设计的折衷方案

硅加速度计设计的折衷方案美国ＥＧ＆ＧＩＣＳＥＮＳＯＲＳ公司加速度计系统的设计者们面临的是一系列彼此竞争的技术。从中做出正确的选择往往需要对价格和性能进行折衷考虑。像汽车安全气囊和刹车系统这种对安全性要求极高的应用场合，需要依赖先进的传感器技术来满足其...

微硅加速度计中静电键合封接技术的应用

在微硅加速度计的研制中,静电键合具有传统胶接技术所无法比拟的优点,是目前该加速度计研制中广泛应用的粘接技术。叙述了静电键合技术的机理和它在微硅加速度计装配中的具体工艺流程,指明了技术的关键之处,并分析了该技术的优缺点,提出了进一步改进的方案。

工程化硅微谐振加速度计设计与实现

提出一种基于MEMS敏感结构芯片与专用集成电路芯片(ASIC)集成封装的硅微谐振加速度计设计方案。敏感结构主要包括敏感质量块、一级微杠杆放大结构和双端固定音叉谐振器。整体结构采用左右差分对称布局,实现器件高灵敏度。敏感结构芯片基于全硅晶圆级封装工艺,实现敏感结构芯片的低应力与批量化加工。敏感结构芯片与ASIC芯片采用堆叠式集成封装,实现器件的小型化与低功耗。所设计加速度计的谐振频率约为18.2 kHz,量程为±20 g_(n),标度因数为216 Hz/g_(n),标度因数稳定性为5×10^(-6),零偏稳定性为6.5μg_(n)(1σ,10 s)。所提方案实现了器件的小型化、低功耗与集成化。

挠性摆式微硅加速度计的模态分析

近年来，在很多应用中，对加速度计动态性能提出较高的要求，故在结构设计阶段必须对其进行动态力学分析，以期使摆片模态满足使用要求。有限元分析是分析复杂结构的一种较新的高精度的分析工具。本文利用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行模态分析。文中按照设计加速度计的尺寸给出仿真的振型图、各模态的谐振频率、加速度作用时模态参与因素、振动响应谱以及各模态产生的位移和应力比较等。得出该加速度计共有六种模态，而第一模态（工作模态）比其它模态作用强很多，是主要模态。