氢化非晶 Si 和微晶 Si 生长机理的研究,通常用静态法。我们首次用动态法对氢化非晶 Si 的结构弛豫进行研究,即氢化非晶 Si 向氢化微晶 Si 转变,及氢化微晶 Si 向多晶 Si 转变的动态研究。根据实验结果,讨论了非晶 Si 的生产机理,并对非...氢化非晶 Si 和微晶 Si 生长机理的研究,通常用静态法。我们首次用动态法对氢化非晶 Si 的结构弛豫进行研究,即氢化非晶 Si 向氢化微晶 Si 转变,及氢化微晶 Si 向多晶 Si 转变的动态研究。根据实验结果,讨论了非晶 Si 的生产机理,并对非晶 Si 和微晶 Si 微结构的可能模型提出看法。实验还表明,非晶 Si 具有卵石状微结构和柱状微结构,而微晶 Si 具有锥状微结构。展开更多
文摘氢化非晶 Si 和微晶 Si 生长机理的研究,通常用静态法。我们首次用动态法对氢化非晶 Si 的结构弛豫进行研究,即氢化非晶 Si 向氢化微晶 Si 转变,及氢化微晶 Si 向多晶 Si 转变的动态研究。根据实验结果,讨论了非晶 Si 的生产机理,并对非晶 Si 和微晶 Si 微结构的可能模型提出看法。实验还表明,非晶 Si 具有卵石状微结构和柱状微结构,而微晶 Si 具有锥状微结构。