高频摆镜测试系统

以压电陶瓷（ＰＺＴ）为材料制成的摆镜处于较高频率的工作状态下，对其转动角、俯仰角和轴向位移量进行准确的实时非接触测试是必要的；本文介绍了利用二维连续分布式光电位置探测器ＰＳＤ作为敏感元件的测量高频摆镜动态性能的高速数据采集系统。利用“Ｍ”型光路实现了摆镜二维转角和轴向位移的同时测试；给出了一种二维ＰＳＤ的非线性快速修正方法，并利用１６ 通道的Ａ／Ｄ卡实现了４ 路模拟信号的ＤＭＡ 传送。