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调制周期数对Mo/AZO成分调制多层膜透光、反光特性以及电性能的影响
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作者 张邵奇 吴隽 +3 位作者 王凯丰 宋坤峰 卢志红 祝柏林 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2024年第2期107-113,共7页
采用射频(RF)和单极中频脉冲直流(UMFPDC)磁控溅射技术,在300℃下制备了Mo/AZO成分调制多层膜。测试结果表明,Mo/AZO成分调制多层膜以(002)为取向的六方纤锌矿型ZnO结构为主;薄膜中Mo的化学态随薄膜厚度而变化,当薄膜厚度为1.67 nm时,M... 采用射频(RF)和单极中频脉冲直流(UMFPDC)磁控溅射技术,在300℃下制备了Mo/AZO成分调制多层膜。测试结果表明,Mo/AZO成分调制多层膜以(002)为取向的六方纤锌矿型ZnO结构为主;薄膜中Mo的化学态随薄膜厚度而变化,当薄膜厚度为1.67 nm时,Mo除单质态外,还存在部分+4和+5的离子价态,当薄膜厚度降至0.83 nm时,已无单质态Mo;调制周期数对成分调制多层膜的透光、反光特性以及电性能影响显著,当调制周期数为3时,Mo/AZO成分调制多层膜的综合性能达到最佳,电阻率、霍尔迁移率和载流子浓度分别为8.64×10^(-4)Ω·cm、8.78 cm^2)/(V·s)和8.23×10^(20)cm^(-3)。在保持金属层、半导体层总厚度不变的情况下,通过改变调制周期数可以增加薄膜的光学透过率并可在较宽范围内调节多层膜的综合性能,这为制备综合性能优异的金属/半导体型透光导电薄膜提供了一条切实可行的途径。 展开更多
关键词 磁控溅射 Mo/azo多层膜 调制周期 光性能 电性能
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退火温度对ITO/Cu/AZO透明导电薄膜结构及性能的影响
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作者 孙冰成 张健 +1 位作者 张贤旺 于尉 《微纳电子技术》 CAS 2024年第11期155-162,共8页
采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电... 采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等表征手段,系统地研究了退火温度对ITO/Cu/AZO复合薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果显示,经过不同温度的真空退火处理,薄膜的晶体结构和导电性能得到显著改善和提高,薄膜可见光平均透过率随着退火温度的升高先增加后降低。对比发现,在气压5×10^(-3)Pa、温度150℃下退火制备的ITO/Cu/AZO结构薄膜表现出最佳的综合性能,薄膜具有较强的(222)和(440)晶面衍射峰,在400~800 nm光波范围平均透过率约为80.5%,电导率约为1.76×10^(3) S/cm,综合品质因数达到约2.12×10^(-3)/Ω。 展开更多
关键词 磁控溅射 真空热处理 氧化铟锡(ITO)薄膜 Al掺杂ZnO(azo)薄膜 交替溅射法
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Progress and prospects of Mg-based amorphous alloys in azo dye wastewater treatment
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作者 Yanan Chen Fengchun Chen +5 位作者 Liang Li Chen Su Bo Song Hongju Zhang Shengfeng Guo Fusheng Pan 《Journal of Magnesium and Alloys》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期873-889,共17页
Mg-based amorphous alloys exhibit efficient catalytic performance and excellent biocompatibility with a promising application probability,specifically in the field of azo dye wastewater degradation.However,the problem... Mg-based amorphous alloys exhibit efficient catalytic performance and excellent biocompatibility with a promising application probability,specifically in the field of azo dye wastewater degradation.However,the problems like difficulty in preparation and poor cycling stability need to be solved.At present,Mg-based amorphous alloys applied in wastewater degradation are available in powder and ribbon.The amorphous alloy powder fabricated by ball milling has a high specific surface area,and its reactivity is thousands of times better than that of gas atomized alloy powder.But the development is limited due to the high energy consumption,difficult and costly process of powder recycling.The single roller melt-spinning method is a new manufacturing process of amorphous alloy ribbon.Compared to amorphous powder,the specific surface area of amorphous ribbon is relatively lower,therefore,it is necessary to carry out surface modification to enhance it.Dealloying is a way that can form a pore structure on the surface of the amorphous alloys,increasing the specific surface area and providing more reactive sites,which all contribute to the catalytic performance.Exploring the optimal conditions for Mg-based amorphous alloys in wastewater degradation by adjusting amorphous alloy composition,choosing suitable method to preparation and surface modification,reducing cost,expanding the pH range will advance the steps to put Mg-based amorphous alloys in industrial environments into practice. 展开更多
关键词 Mg-based amorphous alloys azo dyes DEALLOYING Surface modification Wastewater degradation.
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Bioremediation of Textile Azo Dyes Amido Black 10B, Reactive Black 5, Reactive Blue 160 by Lentinus squarrosulus AF5 and Assessment of Toxicity of the Degraded Metabolites
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作者 Anshu Mathur Chandrachur Ghosh +2 位作者 Partha Roy Ramasare Prasad Rajesh Pratap Singh 《Advances in Microbiology》 CAS 2024年第2期137-161,共25页
Bioremediation is an eco-compatible and economical approach to counter textile dye menace. The isolated Lentinus squarrosulus AF5 was assessed for decolourization of textile azo dyes, and had shown ~93%, 88% and 70% d... Bioremediation is an eco-compatible and economical approach to counter textile dye menace. The isolated Lentinus squarrosulus AF5 was assessed for decolourization of textile azo dyes, and had shown ~93%, 88% and 70% decolorization of Reactive blue 160 (RB160), Reactive black 5 (RB5) and Amido black 10B (AB10B) respectively. Further analysis using UV-vis, HPLC, and FTIR, <sup>1</sup>H NMR had shown the degradation of the dyes. Toxicity analysis of the metabolites was performed using seed germination and plant growth on two agriculturally important plants Guar (Cyamopsis tetragonoloba) and wheat (Triticum aestivum) as well as cytotoxicity analysis using the human keratinocyte cell line (HaCaT). The dye mix appeared inhibitory for seed germination (20% - 40%), whereas metabolites were non-inhibitory for germination. Treatment of HaCaT cells with of dye mix and metabolites led into 45% and ~100% of cell viability of HaCaT cells respectively. Therefore, metabolites following degradation of the dye mix were observed to be non-toxic. 展开更多
关键词 Lentinus squarrosulus AF5 azo Dyes FTIR 1H NMR CATABOLISM CYTOTOXICITY
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SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF POLYMERS BEARING AZOBENZENE AND CARBAZOLE GROUPS VIA POST-AZO-COUPLING REACTION 被引量:1
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作者 JunShi Zhi-weiJiang LiZhang Shao-kuiCao 《Chinese Journal of Polymer Science》 SCIE CAS CSCD 2005年第1期5-9,共5页
A series of polymers bearing azobenzene and carbazole groups for photorefractive purpose were prepared viapost-azo-coupling reaction.The successful reaction was identified by spectroscopic analysis and gel permeationc... A series of polymers bearing azobenzene and carbazole groups for photorefractive purpose were prepared viapost-azo-coupling reaction.The successful reaction was identified by spectroscopic analysis and gel permeationchromatography.This approach is more facile compared with the direct polymerization of corresponding functionalmonomer.The polymers prepared have weight average molecular weight of higher than 1.5×10~4 and are easily soluble incommon organic solvents like chloroform and tetrahydrofuran,polymer films with high optical quality could be easilyfabricated through solution casting.Glass transition temperature (T_(?)) of the polymers ranges from 60℃ to 182℃,dependingon the alkylene spacer length between the functional side group and the polymer backbone,and the polymers are relativelystable under 300℃. 展开更多
关键词 s:Post-azo-coupling CARBazoLE azoBENZENE Photorefractive.
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Synthesis and Identification of Some New Tetrazole Derivatives from 4,5-dichloro Imidazole and Study of Their Biological Activity 被引量:1
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作者 Zainab fadhil Shaimaa Adnan 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2016年第7期347-352,共6页
A number of tetrazoles derivatives were prepared by series of steps, the first step includes react (4,5-dichloroimidazole) with (4-aminoacetophenone) to form 1-(4-((4,5-dichloro-lH-imidazol-2yl)diazenyl)ethan... A number of tetrazoles derivatives were prepared by series of steps, the first step includes react (4,5-dichloroimidazole) with (4-aminoacetophenone) to form 1-(4-((4,5-dichloro-lH-imidazol-2yl)diazenyl)ethanone (1). The second step was (1) reaction with (Amines derivatives) to get Schiff bases (2-7). The third step was reaction of Shciff base with sodiumazide to form tetrazoles derivatives (8-13). then study the biological activity for all compounds to word two type of bacteria. 展开更多
关键词 azo Schiffbase TETRazoLE IMIDazoLE biological activity.
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AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的制备及其物性分析
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作者 杨波 《科技创新与应用》 2019年第8期96-97,共2页
文章在溶胶燃烧法制备的AZO薄膜的基础上,将银层导入其中,制备出AZO/Ag/AZO三层结构透明导电薄膜。并对得到的透明导电薄膜进行分析研究。最终成功降低了溶胶燃烧法制备的薄膜的电阻率。
关键词 azo/Ag/azo 溶胶燃烧 azo 真空蒸镀
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AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展 被引量:1
8
作者 张程 代明江 +1 位作者 石倩 代建清 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2016年第1期228-234,共7页
掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与... 掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与电学性能的研究进展,讨论了各制备工艺条件对薄膜性能的影响,分析了AZO/metal/AZO多层膜的研究现状,并对AZO薄膜的研究方向给予了展望。 展开更多
关键词 azo薄膜 磁控溅射 光电性能 azo/metal/azo多层膜
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AZO薄膜制备工艺及其性能研究 被引量:21
9
作者 黄稳 余洲 +4 位作者 张勇 刘连 黄涛 闫勇 赵勇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期35-39,共5页
综述了掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备方法与光电特性,重点阐述了磁控溅射法制备工艺参数如衬底温度、溅射功率、气体压强、溅射时间、衬底和靶间距、负偏压等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,并指出目前AZO薄膜的研究关键以及所面临的挑战,展... 综述了掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备方法与光电特性,重点阐述了磁控溅射法制备工艺参数如衬底温度、溅射功率、气体压强、溅射时间、衬底和靶间距、负偏压等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,并指出目前AZO薄膜的研究关键以及所面临的挑战,展望了未来的研究方向。 展开更多
关键词 azo 结构特性 光电特性
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磁控溅射法制备AZO薄膜的工艺研究 被引量:15
10
作者 张丽伟 卢景霄 +5 位作者 段启亮 王海燕 李瑞 靳锐敏 王红娟 张宇翔 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期46-48,共3页
用XRD测试仪、分光光度计、四探针等测试仪器,探讨了制备气氛、退火温度和退火环境对AZO薄膜光电性能及结构的影响。结果表明:氧气和氩气的体积流量比为2∶1时,薄膜透光率最高(95.33%);退火有利于薄膜结晶;低于400℃退火时,温度越高薄... 用XRD测试仪、分光光度计、四探针等测试仪器,探讨了制备气氛、退火温度和退火环境对AZO薄膜光电性能及结构的影响。结果表明:氧气和氩气的体积流量比为2∶1时,薄膜透光率最高(95.33%);退火有利于薄膜结晶;低于400℃退火时,温度越高薄膜电阻越小,超过400℃后,真空中退火温度再升高电阻变化不大,而空气中退火温度再升高电阻反而变大。 展开更多
关键词 无机非金属材料 azo薄膜 磁控溅射法 制备气氛 退火温度
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磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电膜的性能研究 被引量:8
11
作者 贾芳 乔学亮 +2 位作者 陈建国 李世涛 王国锋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期38-41,共4页
选择ZnO2与Al2O3质量比为97:3的靶材为溅射源,用射频磁控溅射法室温下在玻璃基底上沉积AZO/Ag/AZO薄膜,讨论了氧流量变化对薄膜透光率、方阻及表面形貌的影响并深入分析了机理。研究结果表明,氧流量变化会导致薄膜沉积厚度的变化,氧流量... 选择ZnO2与Al2O3质量比为97:3的靶材为溅射源,用射频磁控溅射法室温下在玻璃基底上沉积AZO/Ag/AZO薄膜,讨论了氧流量变化对薄膜透光率、方阻及表面形貌的影响并深入分析了机理。研究结果表明,氧流量变化会导致薄膜沉积厚度的变化,氧流量为4时薄膜沉积速率最快。沉积AZO时充入氧气会使整个膜系的透光率不随Ag层增厚明显降低,并且会使膜系的方阻降低。在最优氧流量为4L/min(标准状态下,下同)上下各沉积59nm的AZO与氧流量为0时沉积33nm银层相匹配的复合膜在可见光区(包括基底)的透光率达到90%,方阻为2.5Ω/ □。 展开更多
关键词 磁控溅射 azo/Ag/azo 透光导电膜 透射率
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射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响 被引量:8
12
作者 马晓翠 叶家聪 +4 位作者 曹培江 柳文军 贾芳 朱德亮 吕有明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期235-238,共4页
采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上制备了ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜。用X射线衍射(XRD)仪、紫外-可见分光光度计、方块电阻测试仪和台阶仪对不同溅射功率下Al掺杂ZnO薄膜的结晶、光学、电学性能、沉积速率以及热稳定性进行了研究。研究结... 采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上制备了ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜。用X射线衍射(XRD)仪、紫外-可见分光光度计、方块电阻测试仪和台阶仪对不同溅射功率下Al掺杂ZnO薄膜的结晶、光学、电学性能、沉积速率以及热稳定性进行了研究。研究结果表明:不同溅射功率下沉积的AZO薄膜具有六角纤锌矿结构,均呈c轴择优取向;(002)衍射峰强和薄膜的结晶度随溅射功率的提高逐渐增强;随溅射功率的提高,AZO薄膜的透射率有所下降,但在可见光(380~780nm)范围内平均透射率仍>80%;薄膜的方块电阻随溅射功率的增加逐渐减小;功率为160~200W时,薄膜的热稳定性最好,升温前后方块电阻变化率为13%。 展开更多
关键词 磁控溅射 azo薄膜 射频功率 热稳定性
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AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用 被引量:38
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作者 范志新 陈玖琳 孙以材 《真空》 CAS 北大核心 2000年第5期10-13,共4页
本文综述了 AZO透明导电薄膜的结构特点 ,电学和光学的特性 ,薄膜研究、应用和开发现状 。
关键词 特性 制备 应用 azo 掺铝氧化锌 透明导电薄膜
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氧化锌铝陶瓷(AZO)靶材的制备及其电阻性能的测定 被引量:5
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作者 王志勇 彭超群 +2 位作者 王日初 王小锋 刘兵 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3341-3347,共7页
采用二步烧结技术制备AZO陶瓷靶材,并采用XRD、SEM和EDS对AZO陶瓷靶材进行表征,研究AZO靶材的电阻性能。结果表明:当Al的掺杂量w(Al2O3)为0.5%时,AZO靶材出现第二相ZnAl2O4;随Al掺杂浓度增加,ZnAl2O4的衍射峰强度逐渐增强,ZnO晶粒尺寸... 采用二步烧结技术制备AZO陶瓷靶材,并采用XRD、SEM和EDS对AZO陶瓷靶材进行表征,研究AZO靶材的电阻性能。结果表明:当Al的掺杂量w(Al2O3)为0.5%时,AZO靶材出现第二相ZnAl2O4;随Al掺杂浓度增加,ZnAl2O4的衍射峰强度逐渐增强,ZnO晶粒尺寸逐渐减小;随着第二步烧结温度θnd的升高,AZO靶材的晶粒尺寸逐渐增大,相对密度也随之增加。靶材的电阻率随θnd增加而降低,且随掺杂浓度升高而增加;在第一步烧结温度θst=1 400℃,升温速率vst=10℃/min,第二步烧结温度θnd=1 350℃和t nd=16 h烧结条件下,AZO陶瓷靶材(w(Al2O3)=1.5%)的电阻率仅为2.9×10-2Ω·cm。 展开更多
关键词 azo靶材 二步烧结 保温温度 相对密度 电阻率
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本底真空度对磁控溅射法制备AZO薄膜的影响 被引量:10
15
作者 霍红英 邹敏 +1 位作者 马光强 常会 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期75-77,共3页
采用直流磁控溅射方法在平板玻璃基体表面沉积AZO薄膜,研究了本底真空度对薄膜厚度、方块电阻以及在300~1100 nm波长范围内透过率的影响。结果表明:薄膜的方块电阻和透过率随本底真空度的提高而降低,厚度随本底真空度的提高而增加;本... 采用直流磁控溅射方法在平板玻璃基体表面沉积AZO薄膜,研究了本底真空度对薄膜厚度、方块电阻以及在300~1100 nm波长范围内透过率的影响。结果表明:薄膜的方块电阻和透过率随本底真空度的提高而降低,厚度随本底真空度的提高而增加;本底真空度较低时,其变化对薄膜的厚度、方块电阻和透过率的影响较大,随着本底真空度的增加,影响程度逐渐降低。 展开更多
关键词 磁控溅射 azo薄膜 本底真空度
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Al浓度对AZO薄膜结构和光电性能的影响 被引量:6
16
作者 李金丽 邓宏 +2 位作者 刘财坤 袁庆亮 韦敏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期91-92,96,共3页
采用射频溅射方法在Si基片上制备出AZO掺杂薄膜,对薄膜进行了XRD和AFM分析,并对其电性能作了研究。结果表明,掺杂量低于15%(原子分数)时,AZO薄膜结构为纤锌矿结构,呈c轴方向择优生长,没有Al2O3相出现。薄膜的可见光透过率均在80%以上,... 采用射频溅射方法在Si基片上制备出AZO掺杂薄膜,对薄膜进行了XRD和AFM分析,并对其电性能作了研究。结果表明,掺杂量低于15%(原子分数)时,AZO薄膜结构为纤锌矿结构,呈c轴方向择优生长,没有Al2O3相出现。薄膜的可见光透过率均在80%以上,其最高电阻率出现在掺杂量为30%(原子分数),为1.3×107Ω.cm。 展开更多
关键词 azo薄膜 X射线衍射 AFM 电阻率
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溅射功率对AZO透明导电薄膜的影响 被引量:5
17
作者 史永胜 陈阳阳 +2 位作者 宁青菊 秦双亮 宁磊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期42-44,共3页
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积了AZO透明导电薄膜,并用原子力显微镜观测了薄膜表面形貌,XRD测试了薄膜相结构和单色仪测试了薄膜透射率。结果表明,制备的薄膜具有高度c轴择优取向性,其表面平整,晶粒均匀致密。当溅射功率为180W、... 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积了AZO透明导电薄膜,并用原子力显微镜观测了薄膜表面形貌,XRD测试了薄膜相结构和单色仪测试了薄膜透射率。结果表明,制备的薄膜具有高度c轴择优取向性,其表面平整,晶粒均匀致密。当溅射功率为180W、溅射气体流量为15sccm、基片温度为200℃时制得的薄膜方阻为10Ω/□,在可见光区平均透射率大于85%。 展开更多
关键词 azo 射频磁控溅射 溅射功率 方阻 透射率
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衬底温度对AZO/Cu/AZO多层薄膜结构及光电特性的影响 被引量:5
18
作者 杨田林 张之圣 +4 位作者 宋淑梅 李延辉 吕茂水 韩圣浩 庞智勇 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1209-1213,共5页
采用射频磁控溅射和离子束溅射联合设备在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的AZO/Cu/AZO多层薄膜。研究了衬底温度对薄膜的结构和光电特性影响。X射线衍射谱表明AZO/Cu/AZO多层薄膜是多晶膜,AZO层具有六角纤锌矿结... 采用射频磁控溅射和离子束溅射联合设备在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的AZO/Cu/AZO多层薄膜。研究了衬底温度对薄膜的结构和光电特性影响。X射线衍射谱表明AZO/Cu/AZO多层薄膜是多晶膜,AZO层具有六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向,Cu层具有立方结构。当三层薄膜制备过程中,衬底始终加热,衬底温度为100℃时,制备的薄膜具有最高的品质因子2.26×10^(-2)Ω^(-1),其方块电阻为11Ω·□^(-1),在波长500~800nm范围内平均透过率达到了87%。当制备靠近衬底的AZO层,衬底才加热时,发现衬底温度为250℃时,制备的多层薄膜光电特性最优,其方块电阻为8Ω·□^(-1),平均透过率为86%。 展开更多
关键词 azo 多层薄膜 离子束溅射 透明导电膜
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煅烧工艺对氧化锌铝(AZO)粉体光学性能的影响 被引量:4
19
作者 王志勇 彭超群 +2 位作者 王日初 王小锋 刘兵 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期171-176,共6页
采用聚丙烯酰胺凝胶法制备高浓度Al掺杂ZnO(AZO)前驱体(x(Al)=5.5mol%、6.5mol%),研究煅烧工艺对AZO粉体光学性能的影响.结果表明:随着煅烧温度升高,Al在ZnO中的固溶度降低。当煅烧温度为750℃时,生成ZnAl2O4相。提高煅烧温度,粉体的紫... 采用聚丙烯酰胺凝胶法制备高浓度Al掺杂ZnO(AZO)前驱体(x(Al)=5.5mol%、6.5mol%),研究煅烧工艺对AZO粉体光学性能的影响.结果表明:随着煅烧温度升高,Al在ZnO中的固溶度降低。当煅烧温度为750℃时,生成ZnAl2O4相。提高煅烧温度,粉体的紫外吸收峰从366 nm红移至373 nm;延长煅烧时间,紫外吸收峰发生蓝移,吸收强度明显增大。室温下AZO粉体光致发光(PL)光谱主要由354 nm的紫外发射峰、406 nm的近边紫外发射峰和430 nm的蓝光发射峰组成。 展开更多
关键词 azo XPS UV-VIS 吸收性能 光致发光 聚丙烯酰胺凝胶法
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AZO靶材热压致密化及Al元素扩散研究 被引量:5
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作者 白雪 王星明 +5 位作者 储茂友 张碧田 段华英 石志霞 孙静 韩沧 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期420-427,439,共9页
以98∶2(质量比)的ZnO-Al2O3混合粉体为原料热压制备AZO靶材。通过阿基米德排水法测定试样密度,XRD分析物相组成,TEM观察靶材的微观结构,研究靶材热压致密化和Al元素扩散的规律。结果表明:Al元素在未经煅烧的原料粉中以Al2O3的形式存在... 以98∶2(质量比)的ZnO-Al2O3混合粉体为原料热压制备AZO靶材。通过阿基米德排水法测定试样密度,XRD分析物相组成,TEM观察靶材的微观结构,研究靶材热压致密化和Al元素扩散的规律。结果表明:Al元素在未经煅烧的原料粉中以Al2O3的形式存在;而在煅烧处理后的粉末中,Al元素部分扩散进入了ZnO的晶格中,导致其层状属性c/a值的减小,另一部分Al元素由于固溶度的限制形成ZnAl2O4尖晶石。在热压温度为1 000℃时,未经煅烧的原料粉中Al2O3与ZnO发生反应生成ZnAl2O4;而煅烧处理后的粉末在1 000℃热压时,尖晶石含量最高为3.41%(质量分数,下同),温度升至1 150℃,ZnAl2O4的含量下降至2.64%,延长保温时间,ZnAl2O4含量逐渐减少。由此说明,热压温度为1 000℃时,易于形成ZnAl2O4相,在升温过程中,ZnAl2O4与ZnO中的Al元素存在互扩散。通过靶材的微观结构分析发现,ZnO晶粒中夹杂着ZnAl2O4,Al元素含量在ZnO晶粒中呈梯度分布。在热压过程中插入合适的保温保压点能改进热压工艺,有效提高靶材的致密度。 展开更多
关键词 azo靶材 热压 密度 ZNAL2O4
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