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磁控溅射CN_x薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系 被引量:8
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作者 李俊杰 王欣 +4 位作者 卞海蛟 郑伟涛 吕宪义 金曾孙 孙龙 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期305-308,共4页
对磁控溅射生长在单晶Si(001)衬底上的CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系进行了研究。CNx薄膜沉积实验在纯N2的环境下进行,衬底温度(Ts)保持在350℃,衬底偏压(Vb)在0~-150V之间变化。利用原子力显微镜(AFM)和划痕试验机来测量CN... 对磁控溅射生长在单晶Si(001)衬底上的CNx薄膜的附着力、粗糙度与衬底偏压的关系进行了研究。CNx薄膜沉积实验在纯N2的环境下进行,衬底温度(Ts)保持在350℃,衬底偏压(Vb)在0~-150V之间变化。利用原子力显微镜(AFM)和划痕试验机来测量CNx薄膜的表面粗糙度及对衬底的附着力。AFM和划痕实验的结果显示衬底偏压Vb对CNx薄膜的附着力和表面粗糙程度的影响很大,在-100V偏压下生长的CNx薄膜表面最光滑(粗糙度最小),同时对Si(001)衬底的附着力最好。最后根据实验结果确定了在单晶Si(001)衬底上生长光滑而且附着力好的CNx薄膜的最佳实验条件。 展开更多
关键词 磁控溅射 CNX薄膜 附着力 粗糙度 衬底偏压 碳氮薄膜 薄膜测量
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射频磁控溅射CN_x薄膜的结构与衬底温度关系的研究 被引量:4
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作者 曹培江 姜志刚 +4 位作者 李俊杰 金曾孙 王欣 郑伟涛 李哲奎 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期275-278,共4页
使用射频磁控溅射方法在不同衬底温度下 ( ts=室温 ,35 0 ,5 0 0℃ )于 Si( 0 0 1 )衬底上沉积了 CNx 膜 ,并利用拉曼 ( Raman)光谱、傅里叶变换红外光谱 ( FTIR)及 X射线衍射光电子能谱 ( XPS)对 CNx 膜的化学结合状态与温度的关系进... 使用射频磁控溅射方法在不同衬底温度下 ( ts=室温 ,35 0 ,5 0 0℃ )于 Si( 0 0 1 )衬底上沉积了 CNx 膜 ,并利用拉曼 ( Raman)光谱、傅里叶变换红外光谱 ( FTIR)及 X射线衍射光电子能谱 ( XPS)对 CNx 膜的化学结合状态与温度的关系进行了研究 .Raman光谱结果表明 ,随衬底温度 ( ts)增加 ,D带向低频方向移动 ,G带向高频方向移动 ;它们的半高宽分别由 375和 1 5 0 cm- 1减小至 32 8和 1 4 2 cm- 1 ;ID/IG 由 3.76减小至 2 .88.FTIR谱中除无序 D带 ( 1 4 0 0 cm- 1 )和石墨 G带 ( 1 5 70 cm- 1 )外 ,还有~ 70 0 cm- 1 ,~ 2 2 1 0 cm- 1 ( C≡ N) ,2 330 cm- 1 ( C—O)及 3 2 5 5~ 335 1 cm- 1 ( N—H)等峰 .XPS测试结果表明 :随衬底温度增加 ,N与 C的物质的量比由 0 .4 9下降至 0 .38,sp2 ( C—N)组分与 sp3( C—N)组分强度比呈增大趋势 .低温 ( 35 0℃ )退火并未对CNx 膜的化学结合状态产生较大影响 ;高温 ( 90 0℃ ) 展开更多
关键词 射频磁控溅射 化学结合状态 结构 氮化碳薄膜 衬底温度 退火温度 FTIR XPS 拉曼光谱
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液体电阻率与温度和浓度之间关系的测量 被引量:13
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作者 金虎杰 韩德万 王成贵 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第1期72-75,共4页
通过液体温度、浓度与电阻率之间的关系的测定,得出液体导电与一般金属导电之间的区别,掌握液体电阻率的温度特性和浓度特性,掌握导电液体均匀加热方法.
关键词 均匀加热 离子 定向运动
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在二维坐标系下的一般经典哈密顿系统的正则变换和对应于它的量子幺正变换(英文) 被引量:2
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作者 李哲奎 张寿 +1 位作者 KyuHwangYeon SucKyoungHong 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第4期250-257,267,共9页
讨论了与线形正则变换相关的二维一般哈密顿系统 .并利用幺正变换计算了变换后和变换前的薛定谔方程之间的关系 .
关键词 正则变换 传播子 二维坐标系 哈密顿系统 量子幺正交换 薛定谔方程
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非理想气体的第二维里系数及物态方程 被引量:1
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作者 王翠 汤桂英 林榕 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 1999年第2期79-82,共4页
利用MayerUrsel集团展开法及两体作用的Morse位势,计算了非理想气体的第二维里系数及物态方程.结果表明第二维里系数和物态方程中的参数都是随温度变化的函数,这一结论与实验相符.
关键词 物态方程 第二维里系数 非理想气体
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光学系统─等效透镜的集光特性
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作者 金逢锡 金虎杰 +1 位作者 孙龙 王成贵 《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期16-17,29,共3页
主要介绍了可等效成薄透镜的光学系统的集光特性 ,即通过分析等效光学系统的光辐射通量与物体在三个不同位置时的关系 。
关键词 光辐射通量 等效透镜 集光特性 光阑
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简单系统任意循环的效率 被引量:1
7
作者 王翠 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第4期265-267,共3页
从T-S图出发推导了任意循环的效率 ,结果表明任意循环的效率一定小于相应卡诺循环的效率 .这一结论不仅适用于理想气体 。
关键词 任意循环 效率 T-S图 卡诺循环 简单系统 理想气体 等温过程 绝热过程 热量 Otto循环
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s-d系统的杂质效应与传导电子的有效热质量 被引量:1
8
作者 顾广瑞 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第3期178-182,共5页
基于Andersons-d混合作用和s-d交换作用及Falicov库仑互作用 ,建立了一个新模型 ,利用格林函数方法 ,定量地讨论了磁性杂质效应在充分低的温度下 ,对稀磁合金中传导电子有效热质量的影响 .
关键词 有效热质量 比热 传导电子 杂质效应 磁性
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介观LC电路中电荷和电流量子涨落的一般关系式
9
作者 郭振平 孙玉君 +1 位作者 姜文植 徐文韬 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 1998年第3期15-17,共3页
从有源LC电路的运动方程出发,研究了在压缩相干态下介观LC电路中电荷、电流的量子涨落,并导出了压缩真空态等状态下的相应结果.
关键词 电荷 电流 量子涨落 介观LC电路
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s-d混合效应与s-d系统附加比热
10
作者 李哲奎 王翠 金光星 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 1998年第1期16-20,共5页
根据AndersonModel定量地估计了稀磁合金中有磁解与非磁解的情况下s-d混合效应所引起的杂质电子与传导电子的附加比热.
关键词 混合效应 稀磁合金 s-d系统 附加比热
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s-d系统的磁性杂质效应与低温杂质电阻
11
作者 顾广瑞 吴宝嘉 马琰铭 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 1999年第1期10-15,25,共7页
基于s-d混合效应与s-d交换效应的统一模型,利用格林函数方法,研究了稀磁合金中极低温情况下的电阻特性与准电子质量.
关键词 磁性杂质效应 电阻 s-d系统 低低杂质电阻
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跨世纪物理学的几个活跃领域和发展趋势
12
作者 金哲 林进虎 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第4期310-312,共3页
论述了 2 1世纪物理学几个活跃领域的现状和发展趋势 .
关键词 凝聚态 超导材料 等离子体 核聚变 纳米技术 类星体 暗物资 发展趋势
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推导氢原子基态测不准关系和能量的一种方法
13
作者 金哲 刘艳辉 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第2期152-154,共3页
利用测不准关系和算符对易关系推导出了氢原子基态测不准关系和基态能量 .
关键词 测不准关系 算符对易关系 基态能量 波函数 氢原子 平均能量
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一种测定水表面张力系数的方法——干涉法
14
作者 金逢锡 金虎杰 王玉兰 《物理通报》 2000年第7期42-42,共1页
当有一定深度的水表面发生微波振动时,波速 v=((gλ)/(2π)+(2πT)/(ρλ))^(1/2) (1)式中T为水的表面张力系数,λ为波长,ρ为水的密度,g为重力加速度. (1)式中代入v=λf后,整理得 T=(λ~2ρ)/(2π)(λf^2-(g/2π)) (2)上式为测量表面... 当有一定深度的水表面发生微波振动时,波速 v=((gλ)/(2π)+(2πT)/(ρλ))^(1/2) (1)式中T为水的表面张力系数,λ为波长,ρ为水的密度,g为重力加速度. (1)式中代入v=λf后,整理得 T=(λ~2ρ)/(2π)(λf^2-(g/2π)) (2)上式为测量表面张力系数公式。 展开更多
关键词 表面张菌系数 干涉法
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s-d系统的统一模型与稀磁合金中的热导率
15
作者 顾广瑞 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第2期103-106,共4页
基于s-d混合效应和s-d交换效应的统一模型 ,利用格林函数方法 ,讨论了磁性杂质效应对稀磁合金中热导率的影响 .
关键词 s-d混合作用 s-d交换作用 热导率 稀磁合金 格林函数 统一模型
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探索人类大脑奥秘的物理学——脑物理学
16
作者 朱爱东 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第2期144-148,共5页
综述了脑物理学的发展过程以及研究脑物理学的意义、方法和有待于进一步探索的问题 .
关键词 脑物理学 脑电磁场 思维模型 脑电波 皮层功率谱密度 脑磁图
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介观LC电路中电荷和电流量子涨落的一般关系式
17
作者 王众臣 郭振平 《青岛建筑工程学院学报》 2001年第2期93-95,共3页
从有源 LC电路的运动方程出发 ,研究了在压缩相干态下介观 LC电路中电荷、电流的量子涨落 ,并导出了压缩真空态等状态下的相应结果 .
关键词 介观电路 电荷 电流 量子涨落 LC电路
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与腔场的耦合系数不同的两个级联三能级原子最大纠缠态的制备
18
作者 金星日 李岩 +1 位作者 张寿 徐龙石 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第3期170-173,共4页
提出在外加强经典场的非共振热腔中制备两个与腔场的耦合系数不同的级联三能级原子最大纠缠态的方法 .因外加强经典场的存在 ,有效哈密顿中与光子数有关的部分被取消 .
关键词 级联三能级原子 纠缠态 强经典场
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Al-Ni-Cr系合金中的准晶相关相
19
作者 李应虎 李哲奎 柳林 《延边大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第2期95-98,共4页
为了研究Al-Ni-Cr系合金中是否存在准晶及其相关相 ,对Al75Ni1 5Cr1 0 合金进行了实验研究 .比较XRD与TEM实验结果 ,在Al75Ni1 5Cr1 0 合金中发现了十次准晶的 [3/2 ,3/2 ]相关相 ,且实验显示此相关相在 80 0~ 950℃温度范围内是稳定... 为了研究Al-Ni-Cr系合金中是否存在准晶及其相关相 ,对Al75Ni1 5Cr1 0 合金进行了实验研究 .比较XRD与TEM实验结果 ,在Al75Ni1 5Cr1 0 合金中发现了十次准晶的 [3/2 ,3/2 ]相关相 ,且实验显示此相关相在 80 0~ 950℃温度范围内是稳定相 .除此之外 ,通过Al75Ni1 5Cr1 0 合金的XRD图谱与其它合金样品的XRD图谱的比较 ,发现在Al60 Ni2 0 Cr2 0 、Al65Ni1 5Cr2 0 、Al65Ni2 0 Cr1 5、Al70 Ni1 0 Cr2 0 、Al75Ni1 5Cr1 0 、Al70 Ni1 5Cr1 5、Al70 Ni2 0 Cr1 0 、Al75Ni2 5Cr5、Al75Ni1 0 Cr1 5、Al80 Ni1 0 Cr1 0 合金中也存在着十次准晶的 [3/2 ,3/2 展开更多
关键词 十次准晶相关晶体相 XRD图谱 铝镍铬系合金
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热真空下介观RLC电路的量子涨落(英) 被引量:11
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作者 刘博学 张寿 赵永芳 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期192-197,共6页
在真空态和热真空态下讨论了介观RLC电路的量子涨落。结果表明电荷和电流的量子力学零点涨落随着温度增加。
关键词 介观电路 热真空态 量子涨落 RLC电路 温度 热真空
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