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硅加速度计设计的折衷方案
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《中国仪器仪表》 1997年第6期24-26,共3页
硅加速度计设计的折衷方案美国ＥＧ＆ＧＩＣＳＥＮＳＯＲＳ公司加速度计系统的设计者们面临的是一系列彼此竞争的技术。从中做出正确的选择往往需要对价格和性能进行折衷考虑。像汽车安全气囊和刹车系统这种对安全性要求极高的应用场合... 硅加速度计设计的折衷方案美国ＥＧ＆ＧＩＣＳＥＮＳＯＲＳ公司加速度计系统的设计者们面临的是一系列彼此竞争的技术。从中做出正确的选择往往需要对价格和性能进行折衷考虑。像汽车安全气囊和刹车系统这种对安全性要求极高的应用场合，需要依赖先进的传感器技术来满足其... 展开更多
关键词 微细加工 设计 检测 硅加速度计 加速度计
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