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退火温度对ITO/Cu/AZO透明导电薄膜结构及性能的影响
1
作者
孙冰成
张健
+1 位作者
张贤旺
于尉
《微纳电子技术》
CAS
2024年第11期155-162,共8页
采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电...
采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等表征手段,系统地研究了退火温度对ITO/Cu/AZO复合薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果显示,经过不同温度的真空退火处理,薄膜的晶体结构和导电性能得到显著改善和提高,薄膜可见光平均透过率随着退火温度的升高先增加后降低。对比发现,在气压5×10^(-3)Pa、温度150℃下退火制备的ITO/Cu/AZO结构薄膜表现出最佳的综合性能,薄膜具有较强的(222)和(440)晶面衍射峰,在400~800 nm光波范围平均透过率约为80.5%,电导率约为1.76×10^(3) S/cm,综合品质因数达到约2.12×10^(-3)/Ω。
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关键词
磁控溅射
真空热处理
氧化铟锡(ITO)薄膜
Al掺杂ZnO(AZO)薄膜
交替溅射法
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职称材料
波尔山羊与莎能山羊杂交试验
被引量:
2
2
作者
海龙
吴广安
+1 位作者
薛建华
于尉
《黑龙江畜牧科技》
1999年第4期5-7,共3页
利用波尔山羊冷冻精液与莎能奶山羊进行杂交,其后代体型、外貌、生产性能等趋向父本,体尺、体重增加显著,5 月龄体重达24.12 kg,比同期莎能奶山羊羔羊的13.7 kg 增加10.42 kg,提高了76.1% ;平均日增重...
利用波尔山羊冷冻精液与莎能奶山羊进行杂交,其后代体型、外貌、生产性能等趋向父本,体尺、体重增加显著,5 月龄体重达24.12 kg,比同期莎能奶山羊羔羊的13.7 kg 增加10.42 kg,提高了76.1% ;平均日增重达141.4 g,比莎能奶山羊的81.9 g 增加8.12 g,提高了72.9% ;增重效果显著。
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关键词
波尔山羊
冷冻精液
莎能奶山羊
杂交
日增重
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职称材料
羔羊阶段常发疾病的防预与治疗
被引量:
1
3
作者
海龙
吴广安
于尉
《黑龙江畜牧科技》
2000年第1期29-30,共2页
关键词
羔羊疾病
窒息
脐带炎
下痢
症状
防治
下载PDF
职称材料
宠物市场的建设与管理
被引量:
5
4
作者
张世俊
杨敬
+4 位作者
张国学
李泽英
姜兆宁
于尉
苑淑芬
《中国动物检疫》
CAS
1999年第3期20-21,共2页
关键词
宠物市场
市场建设
市场检疫
市场管理
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职称材料
康柏公司:抢占市场最高点
5
作者
于尉
《华商》
2002年第Z2期127-128,共2页
康柏计算机公司是一家高度专业化的大型工业企业。该公司在便携式电脑、桌式电脑、商用及专业人员用个人电脑的研究开发、制造及销售方面居全球领先地位。自1982年创建以来,发展迅速,业绩骄人。仅4年后,康柏公司就被《财富》杂志评为美...
康柏计算机公司是一家高度专业化的大型工业企业。该公司在便携式电脑、桌式电脑、商用及专业人员用个人电脑的研究开发、制造及销售方面居全球领先地位。自1982年创建以来,发展迅速,业绩骄人。仅4年后,康柏公司就被《财富》杂志评为美国工商界500强之一,成为全美工商界历史上用最短的时间进入500强的公司。近年来。
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关键词
大型工业企业
领先地位
便携式电脑
计算机
专业化
研究开发
个人电脑
专业人员
公司
销售方
全文增补中
题名
退火温度对ITO/Cu/AZO透明导电薄膜结构及性能的影响
1
作者
孙冰成
张健
张贤旺
于尉
机构
沈阳化工大学机械与动力工程学院
出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第11期155-162,共8页
文摘
采用射频与直流磁控交替溅射法在石英玻璃载玻片上制备了氧化铟锡(ITO)/Cu/Al掺杂ZnO(AZO)(45 nm/10 nm/45 nm)组合结构的透明导电薄膜,并在不同退火温度下对薄膜进行真空热处理。利用X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等表征手段,系统地研究了退火温度对ITO/Cu/AZO复合薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果显示,经过不同温度的真空退火处理,薄膜的晶体结构和导电性能得到显著改善和提高,薄膜可见光平均透过率随着退火温度的升高先增加后降低。对比发现,在气压5×10^(-3)Pa、温度150℃下退火制备的ITO/Cu/AZO结构薄膜表现出最佳的综合性能,薄膜具有较强的(222)和(440)晶面衍射峰,在400~800 nm光波范围平均透过率约为80.5%,电导率约为1.76×10^(3) S/cm,综合品质因数达到约2.12×10^(-3)/Ω。
关键词
磁控溅射
真空热处理
氧化铟锡(ITO)薄膜
Al掺杂ZnO(AZO)薄膜
交替溅射法
Keywords
magnetron sputtering
vacuum heat treatment
indium tin oxide(ITO)film
Al doped ZnO(AZO)film
alternating sputtering method
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
波尔山羊与莎能山羊杂交试验
被引量:
2
2
作者
海龙
吴广安
薛建华
于尉
机构
黑龙江省畜牧研究所
沈阳市兽医卫生监督检验所大东动检站
出处
《黑龙江畜牧科技》
1999年第4期5-7,共3页
文摘
利用波尔山羊冷冻精液与莎能奶山羊进行杂交,其后代体型、外貌、生产性能等趋向父本,体尺、体重增加显著,5 月龄体重达24.12 kg,比同期莎能奶山羊羔羊的13.7 kg 增加10.42 kg,提高了76.1% ;平均日增重达141.4 g,比莎能奶山羊的81.9 g 增加8.12 g,提高了72.9% ;增重效果显著。
关键词
波尔山羊
冷冻精液
莎能奶山羊
杂交
日增重
分类号
S827.34 [农业科学—畜牧学]
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职称材料
题名
羔羊阶段常发疾病的防预与治疗
被引量:
1
3
作者
海龙
吴广安
于尉
机构
黑龙江省畜牧研究所
沈阳市兽医卫生监督检验所
出处
《黑龙江畜牧科技》
2000年第1期29-30,共2页
关键词
羔羊疾病
窒息
脐带炎
下痢
症状
防治
分类号
S858.267.3 [农业科学—临床兽医学]
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职称材料
题名
宠物市场的建设与管理
被引量:
5
4
作者
张世俊
杨敬
张国学
李泽英
姜兆宁
于尉
苑淑芬
机构
沈阳市动物卫生监督检验所
沈阳市畜牧技术推广站
出处
《中国动物检疫》
CAS
1999年第3期20-21,共2页
关键词
宠物市场
市场建设
市场检疫
市场管理
分类号
F723 [经济管理—市场营销]
下载PDF
职称材料
题名
康柏公司:抢占市场最高点
5
作者
于尉
出处
《华商》
2002年第Z2期127-128,共2页
文摘
康柏计算机公司是一家高度专业化的大型工业企业。该公司在便携式电脑、桌式电脑、商用及专业人员用个人电脑的研究开发、制造及销售方面居全球领先地位。自1982年创建以来,发展迅速,业绩骄人。仅4年后,康柏公司就被《财富》杂志评为美国工商界500强之一,成为全美工商界历史上用最短的时间进入500强的公司。近年来。
关键词
大型工业企业
领先地位
便携式电脑
计算机
专业化
研究开发
个人电脑
专业人员
公司
销售方
分类号
F416.67 [经济管理—产业经济]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
退火温度对ITO/Cu/AZO透明导电薄膜结构及性能的影响
孙冰成
张健
张贤旺
于尉
《微纳电子技术》
CAS
2024
0
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职称材料
2
波尔山羊与莎能山羊杂交试验
海龙
吴广安
薛建华
于尉
《黑龙江畜牧科技》
1999
2
下载PDF
职称材料
3
羔羊阶段常发疾病的防预与治疗
海龙
吴广安
于尉
《黑龙江畜牧科技》
2000
1
下载PDF
职称材料
4
宠物市场的建设与管理
张世俊
杨敬
张国学
李泽英
姜兆宁
于尉
苑淑芬
《中国动物检疫》
CAS
1999
5
下载PDF
职称材料
5
康柏公司:抢占市场最高点
于尉
《华商》
2002
0
全文增补中
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