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利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究 被引量:9
1
作者 伊福廷 张菊芳 +1 位作者 彭良强 韩勇 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期126-128,141,共4页
SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶... SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶结构。SU 8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中 ,克服了许多技术难题 ,使得这一技术能够应用到实际的需要中。 展开更多
关键词 紫外光刻 SU8光刻胶 MEMS技术 微结构
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微流路生物芯片的研制 被引量:2
2
作者 伊福廷 姜雄平 +2 位作者 彭良强 张菊芳 韩勇 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期356-358,361,共4页
运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽 70 μm、深 30 μm、长 7cm的沟槽 ,与另一载玻片键合 ,形成一微流路沟道 ,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中 ,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经... 运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽 70 μm、深 30 μm、长 7cm的沟槽 ,与另一载玻片键合 ,形成一微流路沟道 ,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中 ,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经交付合作单位使用 。 展开更多
关键词 微流路生物芯片 电泳技术 微结构 生物电泳技术 微流路芯片 毛细管电泳芯片
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微细加工新技术—LIGA技术 被引量:13
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作者 伊福廷 吴坚武 冼鼎昌 《微细加工技术》 EI 1993年第4期1-7,共7页
LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、塑铸三个环节组成,尤刻以同步辐射深度X光曝光为主。由于同步... LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、塑铸三个环节组成,尤刻以同步辐射深度X光曝光为主。由于同步辐射X光有非常好的平行性、极高的辐射强度、连续的光谱,使这项技术能够制造出高宽比大到100、厚度可达几百微米、结构侧壁平行线偏差在亚微米范围内的微米级三维立体结构。通过电铸、塑铸就可将这一结构转换成金属或塑料的微结构产品。 这项技术在短短几年的发展过程中,已制造出电机、齿轮、发动机、涡轮、联杆、单色器、光纤联接器、电联接器、喷嘴、泵、阀、加速度传感器等微型结构与器件,被认为是将对下一世纪带来重大影响的一门新技术。 展开更多
关键词 同步辐射爆光 电铸 塑铸 光刻 微器件
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同步辐射X射线深度光刻实验 被引量:4
4
作者 伊福廷 习复 +3 位作者 唐鄂生 郑宏卫 晋明 冼鼎昌 《微细加工技术》 1997年第2期31-33,共3页
深度同步辐射光刻是LIGA技术的关键工艺环节。利用同步辐射X射线的高平行性、硬射线的高强度,可以光刻出非常深的胶结构,并且这一结构有着很好的尺寸精度和垂直精度,对加工出微型机械结构,具有重要作用。
关键词 LIGA技术 同步辐射 X射线 光刻
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LIGA技术的掩模制造 被引量:4
5
作者 伊福廷 吴坚武 +3 位作者 晋明 洗鼎昌 刘金声 王乃强 《微细加工技术》 1995年第2期33-37,共5页
LIGA技术是近几年才发展起来的一门新的技术,包括光刻、电铸和塑铸。由于要进行深度X光曝光,所用的同步辐射X光较硬,这一曝光条件相应就需要X光掩模吸收体有较大厚度和较高的加工精度,这样才能够阻挡住X光,同时保证较高的... LIGA技术是近几年才发展起来的一门新的技术,包括光刻、电铸和塑铸。由于要进行深度X光曝光,所用的同步辐射X光较硬,这一曝光条件相应就需要X光掩模吸收体有较大厚度和较高的加工精度,这样才能够阻挡住X光,同时保证较高的光刻精度。这种掩模的加工一般需要分二步完成,首先要加工出一块不太厚吸收体图形的X光掩模,然后利用同步辐射X光将这一掩模翻制成较大厚度的LIGA技术用掩模。本文是利用紫外光曝光与氩离子刻蚀相结合,制造出吸收体图形厚度2微米的X光掩模,然后用同步光将这一掩模翻制成LIGA技术用的掩模。 展开更多
关键词 掩模 制造 LIGA技术 X光曝光
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利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极 被引量:1
6
作者 伊福廷 李勇 刘改红 《电加工与模具》 2011年第5期14-17,25,共5页
利用LIGA技术的优势,针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺,完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构,这对于LIGA技术工艺具有特殊的难度,需要突破深孔显影和电铸工艺难题。通过大量的工艺试验... 利用LIGA技术的优势,针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺,完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构,这对于LIGA技术工艺具有特殊的难度,需要突破深孔显影和电铸工艺难题。通过大量的工艺试验,优化出电火花电极阵列结构的工艺路线,圆满完成阵列结构和异形复杂结构的电极制造,为电火花技术在新领域的应用提供了技术支持。 展开更多
关键词 电火花电极 异形阵列电极 大高宽比金属结构 LIGA技术
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A New Method for Fabrication of SU8 Structures with a High Aspect Ratio Using a Mask-Back Exposure Technique
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作者 伊福廷 缪鹏 +2 位作者 彭良强 张菊芳 韩勇 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期26-29,共4页
A new method is presented,which can obtain high aspect ratio in SU8 structures.Instead that the top of the photo resist layers are exposed to UV light through masks in conventional lithography,the new method utilizes ... A new method is presented,which can obtain high aspect ratio in SU8 structures.Instead that the top of the photo resist layers are exposed to UV light through masks in conventional lithography,the new method utilizes a mask-back exposure technique,i.e.the SU8 resist layer coated on a mask surface (metal patterns on a glass plate),is irradiated by UV light through the back of the mask.So a desired exposure dose on the bottom of the resist layer can be easily achieved without over-exposing from its top.This has a two-fold effect,i.e.proper dose on the bottom of the resist and less internal stress.Initial experimental results show that compared to an aspect ratio of 18 obtained by conventional method,a higher aspect ratio of 32 in the SU8 structures can be achieved by this new method. 展开更多
关键词 MEMS SU8 resist MICROFABRICATION back-exposure.
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利用LIGA技术研制超微步进电机
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作者 伊福廷 彭良强 +1 位作者 张菊芳 韩勇 《微特电机》 北大核心 2001年第3期18-20,共3页
文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成 ,线圈由手工在显微镜下绕制完成 ,转子直径 2mm ,整个电机直径 5mm。
关键词 超微步进电机 LIGA技术 微加工技术 导磁棒
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LIGA技术在先进模具制造中的应用 被引量:1
9
作者 伊福廷 张菊芳 《模具工程》 2006年第7期72-75,共4页
LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统——MEMS(Microelectromechanical System)加工热潮。经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大... LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统——MEMS(Microelectromechanical System)加工热潮。经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不能够相比的。这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础。该技术的目标就是制造模具,用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具。通过对该技术以及北京同步辐射的LIGA技术发展现状和应用的介绍。希望对同仁有所帮助。共同推进该技术在模具制造领域内的应用。 展开更多
关键词 微机械 LIGA技术 微细加工技术 先进模具技术
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纳米岛光刻技术及其应用 被引量:1
10
作者 伊福廷 Mino Green 《微细加工技术》 2004年第4期22-26,共5页
介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构... 介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构(最高覆盖率可达50%以上),且开发成本低,工艺性能优越,是一种有效制造纳米岛结构的专业方法。 展开更多
关键词 光刻 纳米岛 纳米技术 微加工
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悬空金属微条探头的制造
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作者 伊福廷 晋明 +1 位作者 唐鄂生 谢一冈 《微细加工技术》 EI 1996年第4期63-66,共4页
悬空金属微条是探测高能粒子和X射线的新型探测器──微条气体室的探测元件。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度都可控制在微米量级,因此能够得到非常好的空间分辨率,并具有抗辐射、低成本等独特优点。
关键词 核物理 微条气体室 高能粒子探测器 探头
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利用LIGA技术制造夹钳
12
作者 伊福廷 唐鄂生 +2 位作者 张菊芳 晋明 洗鼎昌 《微细加工技术》 1999年第3期54-57,共4页
在航天、国防、医学、核物理等领域,有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下,精密机械加工、 L I G A 技术以及硅技术有了长足发展,制造出许多部件和产品。但对于复杂的微机电系统,单靠这些... 在航天、国防、医学、核物理等领域,有着对仪器设备向小型化、复杂化、集成化方向发展的要求。在这一动力驱动下,精密机械加工、 L I G A 技术以及硅技术有了长足发展,制造出许多部件和产品。但对于复杂的微机电系统,单靠这些技术难以实现,需要进行系统的装配工作。微夹钳也是在这一需求下发展起来的。除此之外,在细胞操作和其他微细操作过程中也迫切需要这样的执行软件。本文利用 L I G A 技术进行了这方面的研究工作,并得到了一些结果。 展开更多
关键词 LIGA技术 微机械 微机器人 夹钳
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电铸在LIGA技术中的应用
13
作者 伊福廷 晋明 +1 位作者 吴坚武 冼鼎昌 《微细加工技术》 1995年第3期49-52,共4页
近年来,电铸在微细加工中的应用得到了较快发展,尤其在近几年高速发展的LIGA技术的掩模加工和其应用产品中,该技术充分体现出了它的优越性能和潜在的应用前景。本文结合LIGA技术掩模的加工及其电铸产品,用已取得的实验结果... 近年来,电铸在微细加工中的应用得到了较快发展,尤其在近几年高速发展的LIGA技术的掩模加工和其应用产品中,该技术充分体现出了它的优越性能和潜在的应用前景。本文结合LIGA技术掩模的加工及其电铸产品,用已取得的实验结果来说明电铸的应用潜力。 展开更多
关键词 微细加工 LIGA技术 电铸 掩模
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利用LIGA技术研制超微步进电机
14
作者 伊福廷 彭良强 +1 位作者 张菊芳 韩勇 《Beijing Synchrotron Radiation Facility》 2001年第2期93-95,共3页
文章慨述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镀照片等。该电机的转于和定于由LIGA技术制造完成.线圈由手工在显微镑下绕制完成,转子直径2mm.整个电机直径5mm。
关键词 LIGA 超微步进电机 微机械系统 微加工技术 研制 光刻 电铸 塑铸
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大面积微细结构的电火花高效加工
15
作者 伊福廷 张院春 《北京机电通讯》 2001年第28期29-31,共3页
采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上,利用优化的微细电火花加工工艺,可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。
关键词 电火花加工 微细加工 大面积 微细结构
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大面积微细结构的电火花加工 被引量:3
16
作者 彭良强 伊福廷 +3 位作者 张菊芳 韩勇 张院春 邹丽芸 《航空制造技术》 北大核心 2002年第5期47-48,共2页
采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 。
关键词 电火花加工 微细加工 大面积微细结构 工具电极
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50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计 被引量:1
17
作者 谢常青 陈大鹏 +5 位作者 李兵 叶甜春 伊福廷 彭良强 韩勇 张菊芳 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期321-324,共4页
X射线光刻相对于其他下一代光刻技术而言有许多优点,比如其工艺宽容度大、成品率高、景深大、曝光视场大、成本低等,更为重要的是,其技术已经比较成熟。对于 100nm 同步辐射 X 射线光刻系统而言,它采用的波长通常为 0.7—1.0nm,而当光... X射线光刻相对于其他下一代光刻技术而言有许多优点,比如其工艺宽容度大、成品率高、景深大、曝光视场大、成本低等,更为重要的是,其技术已经比较成熟。对于 100nm 同步辐射 X 射线光刻系统而言,它采用的波长通常为 0.7—1.0nm,而当光刻分辨率达到 50nm 以下时,采用的同步辐射 X 射线波长范围应该为 0.2—0.4 nm。探讨了在北京同步辐射 3B1A 光刻束线上进行 50nm X 射线光刻的可能性。 展开更多
关键词 X射线光刻 同步辐射 束衍生法 光刻分辨率
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X射线光刻技术应用现状与前景 被引量:1
18
作者 谢常青 陈大鹏 +2 位作者 刘明 叶甜春 伊福廷 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第12期904-908,共5页
鉴于接近式X射线光刻技术具有高分辨率、大焦深、大曝光像场、高产量、大工艺宽容度、易于扩展到50nm及50nm以下规则等诸多优点,它非常适合应用于100nm及100nm以下集成电路的生产。本文首先简要介绍了国际上X射线光刻技术(PXL)现状,再... 鉴于接近式X射线光刻技术具有高分辨率、大焦深、大曝光像场、高产量、大工艺宽容度、易于扩展到50nm及50nm以下规则等诸多优点,它非常适合应用于100nm及100nm以下集成电路的生产。本文首先简要介绍了国际上X射线光刻技术(PXL)现状,再分别介绍X射线光刻技术在纳米电子学研究、单片微波集成电路(MMIC)生产、硅基超大规模集成电路生产中的应用现状与前景,并对国内的X射线光刻技术的近期研究进展进行了简要介绍。 展开更多
关键词 接近式X射线光刻 纳米电子学 单片微波集成电路 硅基超大规模集成电路
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x光纳米光刻掩模的离子束制备法 被引量:1
19
作者 韩勇 彭良强 +3 位作者 巨新 伊福廷 张菊芳 吴自玉 《微纳电子技术》 CAS 2002年第1期44-45,共2页
重离子束轰击聚碳酸酯后,对样品进行陈化和紫外线照射敏化,在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜。利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线。获得的铜纳米线/聚碳酸酯可以作为x光纳米光刻的掩模。
关键词 纳米光刻 纳米线 x光掩模 离子束制备法
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一种微细EDM电极的制造方法 被引量:3
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作者 彭良强 伊福廷 +2 位作者 张菊芳 韩勇 张院春 《电加工与模具》 2000年第6期43-45,共3页
针对微细EDM异形电极的加工难题 ,提出了利用同步辐射深度光刻和电铸技术相结合制造EDM电极的方法 ,可望较好地解决异形电极的制造问题。
关键词 同步辐射深度光刻 电铸 EDM电极 制造方法 电火花加工
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