IC工厂的防微振设计

集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位。防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题。

现代科技发展中的防微振技术

现代科学技术的发展给防微振技术提出了更高的要求,它已成为一项前沿学科。本文在对防微振技术重要性分析的基础上,对精密设备、仪器微振动控制值确定原理及方法进行深入分析,在此基础上,提出了防微振的主要措施,并给出了工程应用实例,最后展望了防微振技术发展的方向。

IC工厂的防微振设计

集成电路(IC)工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位。防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学的方法,解决防微振问题。

空气弹簧的研究及在防微振领域的应用

阐述了作者从事防微振用空气弹簧隔振装置研究的结果,包括对隔振器、阻尼器、高度控制阀结构及性能的探讨.同时列举了若干应用实例.

弹性支承平台结构模态分析的有限元方法与试验研究

在大型平台的结构设计中 ,对于模态频率的分析是不可忽视的。以某研究所的阻抗测试平台为背景 ,采用有限元分析程序 ,初步做了模态分析和谐响应分析 ,并重点对其进行了试验研究。试验证明 ,对于大型及有高频要求的平台 ,在设计时应考虑其模态问题 ,还可看出 ,计算结果具有较高的精度。