期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
50
篇文章
<
1
2
3
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
固氧在液氢中的行为特性及液氢生产的安全问题
被引量:
7
1
作者
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1998年第1期55-62,共8页
介绍了液氢装置各部分温区固体O2、N2积累部位、积累量大小等进行排液及升温测定实验考察,获得了固体O2、N2的流动性,溶解性和积累位置等行为特性数据。这些数据对估价液H2生产安全措施的可行性及改进方向提供了重要依据,...
介绍了液氢装置各部分温区固体O2、N2积累部位、积累量大小等进行排液及升温测定实验考察,获得了固体O2、N2的流动性,溶解性和积累位置等行为特性数据。这些数据对估价液H2生产安全措施的可行性及改进方向提供了重要依据,对液H2生产安全和提高产品质量有重要参考价值。
展开更多
关键词
液氢
固氧
行为特性
制备
安全问题
下载PDF
职称材料
高纯甲烷、乙烷、丙烷的制备及其纯度分析
被引量:
1
2
作者
冯庆祥
汪玉云
王淑娟
《低温与特气》
CAS
1984年第4期15-22,共8页
高纯甲烷、乙烷、丙烷在工业、科研等各部门有广泛的用途。本文介绍了这些气体一些主要的制备和分析方法。其中生产的乙烷和丙烷纯度超过99.99%,已达国外同类产品研究级水平。
关键词
甲烷
乙烷
丙烷
纯度分析
制备方法
下载PDF
职称材料
我国工业液体二氧化碳生产技术现状及改进方向
被引量:
3
3
作者
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1997年第2期1-7,共7页
介绍了我国工业液体CO2的生产特点和我国CO2生产技术的现状及与国际水平的差距。分析了提高我国食品添加剂CO2国家标准的重要性及改进生产技术所应采取的措施。其目标是努力使我国工业液体CO2的生产技术和产品质量赶上和达...
介绍了我国工业液体CO2的生产特点和我国CO2生产技术的现状及与国际水平的差距。分析了提高我国食品添加剂CO2国家标准的重要性及改进生产技术所应采取的措施。其目标是努力使我国工业液体CO2的生产技术和产品质量赶上和达到国外先进水平,振兴我国的民族CO2工业。
展开更多
关键词
二氧化碳
提纯
食品
添加剂
工业液体
下载PDF
职称材料
用分压法配制标准混合气
被引量:
3
4
作者
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1985年第2期32-39,共8页
本文叙述了用分压法配制瓶装标准混合气的原理,装置和方法,着重讨论了用本法配制标准混合气过程中产生偏差的原因及如何减小配气偏差、提高配制准度的一些具体办法。
关键词
混合气
分压法
配制
标准
偏差
下载PDF
职称材料
瓶装有机标准混合气的配制及其最大配制压力的计算
5
作者
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1988年第2期20-26,共7页
有机标准混合气在石油化工、煤气工业、环境检测和科研等领域被广泛地用作标准气和校正气,因此,瓶装有机标准混合气(以下简称有机混合气)的配制是特种气体的重要工作内容之一。有机混合气和无机混合气比较,有许多不同的特点。首先,...
有机标准混合气在石油化工、煤气工业、环境检测和科研等领域被广泛地用作标准气和校正气,因此,瓶装有机标准混合气(以下简称有机混合气)的配制是特种气体的重要工作内容之一。有机混合气和无机混合气比较,有许多不同的特点。首先,前者的充装压力一般较低,
展开更多
关键词
混合气
有机
配制
压力
瓶装
计算
石油化工
煤气工业
环境检测
工作内容
特种气体
标准气
充装
下载PDF
职称材料
新型标准气体配气装置研制
被引量:
7
6
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2007年第4期19-22,共4页
介绍了一种先进、实用的标准混合气配制装置,并对该装置的特点进行了详细描述。此外还对配气装置所必须配套的技术软件,以及培训的必要性进行了简要说明。
关键词
配气装置
气体
气体净化
标准气体
阀门
下载PDF
职称材料
简谈中国气体
被引量:
3
7
作者
孙福楠
吴江红
+2 位作者
柳蔚
李英辉
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2008年第6期1-4,共4页
回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心。
关键词
标准气体
电子气体
工业气体
下载PDF
职称材料
高纯羰基硫的生产
被引量:
8
8
作者
孙福楠
冯庆祥
吴江红
《低温与特气》
CAS
2004年第3期32-34,共3页
详细介绍了高纯羰基硫的合成与纯化
关键词
羰基硫
氧硫化碳
下载PDF
职称材料
瓶装标准混合气配制中若干技术问题简述
被引量:
3
9
作者
孙福楠
冯庆祥
吴江红
《低温与特气》
CAS
2003年第6期1-4,共4页
简单介绍了瓶装标准混合气配制过程中技术软件的重要性。叙述了配制顺序、设计计算及有机气、环保气、爆炸气等有关技术问题。还叙述了配制组分的浓度相对不确定度的计算及其意义。
关键词
瓶装标准混合气
不确定度
配制技术
饱和蒸气压
竞争机制
下载PDF
职称材料
5.5N以上超纯氨的研制及产业化
被引量:
5
10
作者
孙福楠
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2002年第3期25-33,共9页
“六五”以来 ,国内 5 N电子级高纯氨制备中长期存在水纯化曲线“马鞍形”现象和瓶装高纯氨中 O2 、N2 、CH4 等杂质反弹等技术难点及包装容器的落后与生产规模过小 ,使国内生产的瓶装高纯氨的质量长期徘徊在 5 N的水平 ,且很不稳定。...
“六五”以来 ,国内 5 N电子级高纯氨制备中长期存在水纯化曲线“马鞍形”现象和瓶装高纯氨中 O2 、N2 、CH4 等杂质反弹等技术难点及包装容器的落后与生产规模过小 ,使国内生产的瓶装高纯氨的质量长期徘徊在 5 N的水平 ,且很不稳定。针对上述技术难点进行克服和突破 ,说明了我院 5 .5 N以上超纯氨研制及产业化在技术上的进展。介绍了包装容器及氨中杂质尤其是氨中痕量水分析的有关工作。本工作对我国电子工业的发展将会产生一定的促进作用。
展开更多
关键词
高纯氨
制备
水分析
包装容器
杂质
工业液氨
纯化
下载PDF
职称材料
电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料
被引量:
2
11
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2008年第4期1-5,共5页
分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法。
关键词
电子气体
砷烷
硅烷
合成
净化
分析
下载PDF
职称材料
超高纯氯气的大规模产业化生产
被引量:
3
12
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2008年第1期1-2,共2页
超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料。近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展,作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用。为确保产品质量稳定、降低成本,对该产品进行产业化生产十分必要。
关键词
超纯氯
吸附
低温精馏
下载PDF
职称材料
吸附—低温精馏法生产高纯四氟化碳的探讨
被引量:
4
13
作者
孙福楠
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1996年第4期37-39,共3页
对吸附—低温精馏法生产高纯四氟化碳的可行性进行了控讨。用乙烯为致冷剂的制冷循环来满足低温精馏操作的要求。
关键词
四氟化碳
吸附
低温精馏
生产
下载PDF
职称材料
超纯氨(99.99999%)净化技术的最新研究进展
被引量:
2
14
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2007年第1期1-3,共3页
随着LED的飞速发展,作为重要原材料的高纯氨的纯度已达到7 N(99.99999%),传统的净化方法已成为初级预处理手段。介绍了当今世界最先进的氨净化方法,旨在提高我国超纯氨国产化水平,以满足中国LED生产的需要。
关键词
氨
净化
催化
吸附
下载PDF
职称材料
二氯二氢硅的纯化
被引量:
3
15
作者
孙福楠
冯庆祥
陈国忠
《低温与特气》
CAS
1996年第1期53-56,共4页
采用化学改性的吸附剂和络合剂,能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质.纯化后的气体经气相色谱分析,表明化学改住的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用.
关键词
二氯二氢硅
吸附剂
络合剂
纯化
下载PDF
职称材料
超高纯氨杂质分析
被引量:
1
16
作者
吴江红
冯庆祥
孙福楠
《低温与特气》
CAS
2001年第6期25-27,共3页
论述了超高纯氨中痕量杂质分析方法
关键词
超高纯氨
杂质分析
转化率
标准气
转化机理
痕量分析
纯度
乙炔
氮气
氧气
下载PDF
职称材料
高纯氨包装容器中存在痕量水积累问题的理论探讨
被引量:
1
17
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2007年第2期18-22,共5页
充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下。对高纯氨水积累原...
充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下。对高纯氨水积累原因进行探讨,并提出解决问题的方法。
展开更多
关键词
高纯氨
水积累
包装容器
下载PDF
职称材料
半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究
18
作者
孙福楠
吴江红
+3 位作者
柳蔚
李英辉
于大秋
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2009年第1期1-3,共3页
在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒,对人身及环境有危害性,为了确保IC等新型半导体材料产业顺利发展,开展气体解毒研究意义重大。传统...
在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒,对人身及环境有危害性,为了确保IC等新型半导体材料产业顺利发展,开展气体解毒研究意义重大。传统上采用酸、碱、氧化剂的湿法工艺,存在许多弊病,近年来,剧毒气体干法解毒技术发展迅猛。本文介绍了该技术的原理,希望国产解毒装置能适应IC发展需求。
展开更多
关键词
半导体
剧毒有害气体
SIH4
B2H6
GeH4
PH3
AsH3
干法解毒
下载PDF
职称材料
配合法净化电子级二氯二氢硅
19
作者
孙福楠
冯庆祥
陈国忠
《化学世界》
CAS
CSCD
1997年第8期405-406,共2页
本文叙述了净化二氯二氢硅的方法。结果表明配合法是除去二氯二氢硅中杂质“硼”的有效方法。
关键词
净化
二氯二氢硅
配合法
电子级
硅源气
下载PDF
职称材料
体外震波治疗胆道结石初步体会
20
作者
冯庆祥
宋来泉
+1 位作者
张爱萍
张晓梅
《河北医药》
CAS
1989年第6期352-353,共2页
胆囊碎石、胆总管结石是胆道系统最常见的疾病。治疗中常以胆囊切除或单纯切开取出,手术后易发合并症。我院自1989年1月~4月应用体外震波碎石法治疗胆道结石83例,均获得满意效果,现报导如下:
关键词
体外震波
胆道结石
下载PDF
职称材料
题名
固氧在液氢中的行为特性及液氢生产的安全问题
被引量:
7
1
作者
冯庆祥
机构
化工部光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
1998年第1期55-62,共8页
文摘
介绍了液氢装置各部分温区固体O2、N2积累部位、积累量大小等进行排液及升温测定实验考察,获得了固体O2、N2的流动性,溶解性和积累位置等行为特性数据。这些数据对估价液H2生产安全措施的可行性及改进方向提供了重要依据,对液H2生产安全和提高产品质量有重要参考价值。
关键词
液氢
固氧
行为特性
制备
安全问题
分类号
TQ116.27 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
高纯甲烷、乙烷、丙烷的制备及其纯度分析
被引量:
1
2
作者
冯庆祥
汪玉云
王淑娟
机构
化工部光明化工研究所
出处
《低温与特气》
CAS
1984年第4期15-22,共8页
文摘
高纯甲烷、乙烷、丙烷在工业、科研等各部门有广泛的用途。本文介绍了这些气体一些主要的制备和分析方法。其中生产的乙烷和丙烷纯度超过99.99%,已达国外同类产品研究级水平。
关键词
甲烷
乙烷
丙烷
纯度分析
制备方法
分类号
TQ221.1 [化学工程—有机化工]
下载PDF
职称材料
题名
我国工业液体二氧化碳生产技术现状及改进方向
被引量:
3
3
作者
冯庆祥
机构
化工部光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
1997年第2期1-7,共7页
文摘
介绍了我国工业液体CO2的生产特点和我国CO2生产技术的现状及与国际水平的差距。分析了提高我国食品添加剂CO2国家标准的重要性及改进生产技术所应采取的措施。其目标是努力使我国工业液体CO2的生产技术和产品质量赶上和达到国外先进水平,振兴我国的民族CO2工业。
关键词
二氧化碳
提纯
食品
添加剂
工业液体
分类号
TQ116.3 [化学工程—无机化工]
TS202 [轻工技术与工程—食品科学]
下载PDF
职称材料
题名
用分压法配制标准混合气
被引量:
3
4
作者
冯庆祥
机构
化工部光明化工研究所
出处
《低温与特气》
CAS
1985年第2期32-39,共8页
文摘
本文叙述了用分压法配制瓶装标准混合气的原理,装置和方法,着重讨论了用本法配制标准混合气过程中产生偏差的原因及如何减小配气偏差、提高配制准度的一些具体办法。
关键词
混合气
分压法
配制
标准
偏差
分类号
U464.136 [机械工程—车辆工程]
TD727.3 [矿业工程—矿井通风与安全]
下载PDF
职称材料
题名
瓶装有机标准混合气的配制及其最大配制压力的计算
5
作者
冯庆祥
机构
化工部光明化工研究所
出处
《低温与特气》
CAS
1988年第2期20-26,共7页
文摘
有机标准混合气在石油化工、煤气工业、环境检测和科研等领域被广泛地用作标准气和校正气,因此,瓶装有机标准混合气(以下简称有机混合气)的配制是特种气体的重要工作内容之一。有机混合气和无机混合气比较,有许多不同的特点。首先,前者的充装压力一般较低,
关键词
混合气
有机
配制
压力
瓶装
计算
石油化工
煤气工业
环境检测
工作内容
特种气体
标准气
充装
分类号
TQ54 [化学工程—煤化学工程]
U464.136 [机械工程—车辆工程]
下载PDF
职称材料
题名
新型标准气体配气装置研制
被引量:
7
6
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2007年第4期19-22,共4页
文摘
介绍了一种先进、实用的标准混合气配制装置,并对该装置的特点进行了详细描述。此外还对配气装置所必须配套的技术软件,以及培训的必要性进行了简要说明。
关键词
配气装置
气体
气体净化
标准气体
阀门
Keywords
gas preparation equipment
gas
gas purification
calibrating gas
valve
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
简谈中国气体
被引量:
3
7
作者
孙福楠
吴江红
柳蔚
李英辉
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2008年第6期1-4,共4页
文摘
回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心。
关键词
标准气体
电子气体
工业气体
Keywords
reference gas
electronic gas
industry gas
分类号
F426.71 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
高纯羰基硫的生产
被引量:
8
8
作者
孙福楠
冯庆祥
吴江红
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2004年第3期32-34,共3页
文摘
详细介绍了高纯羰基硫的合成与纯化
关键词
羰基硫
氧硫化碳
Keywords
carbonyl oxysulfide
carbonyl sulfide
分类号
TQ227 [化学工程—有机化工]
下载PDF
职称材料
题名
瓶装标准混合气配制中若干技术问题简述
被引量:
3
9
作者
孙福楠
冯庆祥
吴江红
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2003年第6期1-4,共4页
文摘
简单介绍了瓶装标准混合气配制过程中技术软件的重要性。叙述了配制顺序、设计计算及有机气、环保气、爆炸气等有关技术问题。还叙述了配制组分的浓度相对不确定度的计算及其意义。
关键词
瓶装标准混合气
不确定度
配制技术
饱和蒸气压
竞争机制
Keywords
standard mixed gases in cylinder
preparation
technical matters
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
5.5N以上超纯氨的研制及产业化
被引量:
5
10
作者
孙福楠
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2002年第3期25-33,共9页
基金
国家科技型中小企业技术创新基金无偿资助项目 (0 0 C2 6 2 12 12 0 12 0 )
国家"十五""86 3"高科技研究发展课题 (2 0 0 1AA3110 4 0 )
文摘
“六五”以来 ,国内 5 N电子级高纯氨制备中长期存在水纯化曲线“马鞍形”现象和瓶装高纯氨中 O2 、N2 、CH4 等杂质反弹等技术难点及包装容器的落后与生产规模过小 ,使国内生产的瓶装高纯氨的质量长期徘徊在 5 N的水平 ,且很不稳定。针对上述技术难点进行克服和突破 ,说明了我院 5 .5 N以上超纯氨研制及产业化在技术上的进展。介绍了包装容器及氨中杂质尤其是氨中痕量水分析的有关工作。本工作对我国电子工业的发展将会产生一定的促进作用。
关键词
高纯氨
制备
水分析
包装容器
杂质
工业液氨
纯化
Keywords
ammonia
purification
analyses
分类号
TQ113.2 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料
被引量:
2
11
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2008年第4期1-5,共5页
文摘
分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法。
关键词
电子气体
砷烷
硅烷
合成
净化
分析
Keywords
electronic gases
arsine
silane
synthesis
purification
analysis
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
超高纯氯气的大规模产业化生产
被引量:
3
12
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2008年第1期1-2,共2页
基金
国家资金支持项目
文摘
超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料。近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展,作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用。为确保产品质量稳定、降低成本,对该产品进行产业化生产十分必要。
关键词
超纯氯
吸附
低温精馏
Keywords
ultra purity chlorine
adsorption
cryogenic rectification
分类号
F416.71 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
吸附—低温精馏法生产高纯四氟化碳的探讨
被引量:
4
13
作者
孙福楠
冯庆祥
机构
化工部光明化工研究所
出处
《低温与特气》
CAS
1996年第4期37-39,共3页
文摘
对吸附—低温精馏法生产高纯四氟化碳的可行性进行了控讨。用乙烯为致冷剂的制冷循环来满足低温精馏操作的要求。
关键词
四氟化碳
吸附
低温精馏
生产
分类号
TQ222.213 [化学工程—有机化工]
下载PDF
职称材料
题名
超纯氨(99.99999%)净化技术的最新研究进展
被引量:
2
14
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2007年第1期1-3,共3页
文摘
随着LED的飞速发展,作为重要原材料的高纯氨的纯度已达到7 N(99.99999%),传统的净化方法已成为初级预处理手段。介绍了当今世界最先进的氨净化方法,旨在提高我国超纯氨国产化水平,以满足中国LED生产的需要。
关键词
氨
净化
催化
吸附
Keywords
ammonia
purify
catalysis
adsorption
分类号
TQ113.2 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
二氯二氢硅的纯化
被引量:
3
15
作者
孙福楠
冯庆祥
陈国忠
机构
化工部光明化工研究所
出处
《低温与特气》
CAS
1996年第1期53-56,共4页
文摘
采用化学改性的吸附剂和络合剂,能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质.纯化后的气体经气相色谱分析,表明化学改住的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用.
关键词
二氯二氢硅
吸附剂
络合剂
纯化
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
超高纯氨杂质分析
被引量:
1
16
作者
吴江红
冯庆祥
孙福楠
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2001年第6期25-27,共3页
基金
国家 2 0 0 0年科技型中小企业技术创新基金无偿资助项目
文摘
论述了超高纯氨中痕量杂质分析方法
关键词
超高纯氨
杂质分析
转化率
标准气
转化机理
痕量分析
纯度
乙炔
氮气
氧气
分类号
TQ113.26 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
高纯氨包装容器中存在痕量水积累问题的理论探讨
被引量:
1
17
作者
孙福楠
吴江红
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2007年第2期18-22,共5页
文摘
充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下。对高纯氨水积累原因进行探讨,并提出解决问题的方法。
关键词
高纯氨
水积累
包装容器
Keywords
high purity ammonia
accumulation of trace water
package containers
分类号
TQ053.2 [化学工程]
下载PDF
职称材料
题名
半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究
18
作者
孙福楠
吴江红
柳蔚
李英辉
于大秋
冯庆祥
机构
光明化工研究设计院
出处
《低温与特气》
CAS
2009年第1期1-3,共3页
文摘
在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒,对人身及环境有危害性,为了确保IC等新型半导体材料产业顺利发展,开展气体解毒研究意义重大。传统上采用酸、碱、氧化剂的湿法工艺,存在许多弊病,近年来,剧毒气体干法解毒技术发展迅猛。本文介绍了该技术的原理,希望国产解毒装置能适应IC发展需求。
关键词
半导体
剧毒有害气体
SIH4
B2H6
GeH4
PH3
AsH3
干法解毒
Keywords
semiconductor
highly toxic gases
SiH4
B2 H6
GeH4
PH3
AsH3
detoxification techniques by pyrolysis
分类号
X705 [环境科学与工程—环境工程]
下载PDF
职称材料
题名
配合法净化电子级二氯二氢硅
19
作者
孙福楠
冯庆祥
陈国忠
机构
化工部光明化工研究设计院
出处
《化学世界》
CAS
CSCD
1997年第8期405-406,共2页
文摘
本文叙述了净化二氯二氢硅的方法。结果表明配合法是除去二氯二氢硅中杂质“硼”的有效方法。
关键词
净化
二氯二氢硅
配合法
电子级
硅源气
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
下载PDF
职称材料
题名
体外震波治疗胆道结石初步体会
20
作者
冯庆祥
宋来泉
张爱萍
张晓梅
机构
中国人民解放军
出处
《河北医药》
CAS
1989年第6期352-353,共2页
文摘
胆囊碎石、胆总管结石是胆道系统最常见的疾病。治疗中常以胆囊切除或单纯切开取出,手术后易发合并症。我院自1989年1月~4月应用体外震波碎石法治疗胆道结石83例,均获得满意效果,现报导如下:
关键词
体外震波
胆道结石
分类号
R657.420.5 [医药卫生—外科学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
固氧在液氢中的行为特性及液氢生产的安全问题
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1998
7
下载PDF
职称材料
2
高纯甲烷、乙烷、丙烷的制备及其纯度分析
冯庆祥
汪玉云
王淑娟
《低温与特气》
CAS
1984
1
下载PDF
职称材料
3
我国工业液体二氧化碳生产技术现状及改进方向
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1997
3
下载PDF
职称材料
4
用分压法配制标准混合气
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1985
3
下载PDF
职称材料
5
瓶装有机标准混合气的配制及其最大配制压力的计算
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1988
0
下载PDF
职称材料
6
新型标准气体配气装置研制
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2007
7
下载PDF
职称材料
7
简谈中国气体
孙福楠
吴江红
柳蔚
李英辉
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2008
3
下载PDF
职称材料
8
高纯羰基硫的生产
孙福楠
冯庆祥
吴江红
《低温与特气》
CAS
2004
8
下载PDF
职称材料
9
瓶装标准混合气配制中若干技术问题简述
孙福楠
冯庆祥
吴江红
《低温与特气》
CAS
2003
3
下载PDF
职称材料
10
5.5N以上超纯氨的研制及产业化
孙福楠
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2002
5
下载PDF
职称材料
11
电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2008
2
下载PDF
职称材料
12
超高纯氯气的大规模产业化生产
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2008
3
下载PDF
职称材料
13
吸附—低温精馏法生产高纯四氟化碳的探讨
孙福楠
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
1996
4
下载PDF
职称材料
14
超纯氨(99.99999%)净化技术的最新研究进展
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2007
2
下载PDF
职称材料
15
二氯二氢硅的纯化
孙福楠
冯庆祥
陈国忠
《低温与特气》
CAS
1996
3
下载PDF
职称材料
16
超高纯氨杂质分析
吴江红
冯庆祥
孙福楠
《低温与特气》
CAS
2001
1
下载PDF
职称材料
17
高纯氨包装容器中存在痕量水积累问题的理论探讨
孙福楠
吴江红
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2007
1
下载PDF
职称材料
18
半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究
孙福楠
吴江红
柳蔚
李英辉
于大秋
冯庆祥
《低温与特气》
CAS
2009
0
下载PDF
职称材料
19
配合法净化电子级二氯二氢硅
孙福楠
冯庆祥
陈国忠
《化学世界》
CAS
CSCD
1997
0
下载PDF
职称材料
20
体外震波治疗胆道结石初步体会
冯庆祥
宋来泉
张爱萍
张晓梅
《河北医药》
CAS
1989
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
2
3
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部