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纳米云纹法实验研究 被引量:10
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作者 谢惠民 赵兵 +2 位作者 戴福隆 岸本哲 张维 《光学技术》 EI CAS CSCD 2000年第3期192-195,共4页
结合原子力显微镜技术提出了一种新型纳米云纹方法 ,并应用该方法进行纳米范围的变形。实验中选用原子力显微镜显示屏的扫描线做为参考栅 ,云母和高纯定向石墨的晶格结构做为试件。对纳米云纹形成原理及测量方法进行了详尽讨论。运用该... 结合原子力显微镜技术提出了一种新型纳米云纹方法 ,并应用该方法进行纳米范围的变形。实验中选用原子力显微镜显示屏的扫描线做为参考栅 ,云母和高纯定向石墨的晶格结构做为试件。对纳米云纹形成原理及测量方法进行了详尽讨论。运用该方法对强脉冲激光辐照激光照射之后云母试样的剩余变形进行测量研究。成功的实验结果表明这种方法是可行性的 ,可望在纳米力学行为研究中获得广泛应用。 展开更多
关键词 原子力显微镜 云纹法 纳米测量 光栅 剩余变形
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电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术 被引量:3
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作者 谢惠民 戴福隆 +1 位作者 岸本哲 张维 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第6期526-528,共3页
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围... 本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围更大。在本研究中 ,运用电子束刻蚀法并结合真空镀膜技术制作出 0 .1μm间距 ( 10 0 0 0线 /mm光栅 )的电子束云纹光栅。应用所制作的 10 μm/1μm双频光栅与相对应的电子束参考栅干涉 ,分别得到对应的电子束云纹场。文中对制栅工艺及方法进行了详细的讨论。 展开更多
关键词 电子束刻蚀法 变形测量 电子束云纹光栅
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显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用 被引量:2
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作者 谢惠民 王怀喜 +2 位作者 马少鹏 刘清珺 岸本哲 《力学与实践》 CSCD 北大核心 2009年第3期1-8,共8页
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显... 电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用. 展开更多
关键词 显微云纹 微电子器件 变形分析
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Buckling behavior of micro metal wire on polymer membrane under combined effect of electrical loading and mechanical loading 被引量:2
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作者 王庆华 岸本哲 +2 位作者 谢惠民 李艳杰 吴丹 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第8期2606-2611,共6页
The buckling behavior of a typical structure consisting of a micro constantan wire and a polymer membrane under coupled electrical-mechanical loading was studied. The phenomenon that the constantan wire delaminates fr... The buckling behavior of a typical structure consisting of a micro constantan wire and a polymer membrane under coupled electrical-mechanical loading was studied. The phenomenon that the constantan wire delaminates from the polymer membrane was observed after unloading. The interfacial toughness of the constantan wire and the polymer membrane was estimated. Moreover, several new instability modes of the constantan wire could be further triggered based on the buckle-driven delamination. After electrical loading and tensile loading, the constantan wire was likely to fracture based on buckling. After electrical loading and compressive loading, the constantan wire was easily folded at the top of the buckling region. On the occasion, the constantan wire buckled towards the inside of the polymer membrane under electrical-compressive loading. The mechanisms of these instability modes were analyzed. 展开更多
关键词 DELAMINATION instability modes electrical loading mechanical loading interfacial toughness
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激光扫描共聚焦显微镜中云纹法的实验研究 被引量:3
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作者 潘兵 谢惠民 +1 位作者 戴福隆 岸本哲 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期622-626,共5页
将激光扫描共聚焦显微镜与实验力学中的云纹法相结合,提出了激光扫描共聚焦显微镜云纹法并对其进行了实验研究.实验中以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线作为虚拟参考栅,以1200 lines/mm的全息光栅作为试件栅,这两组栅线相干涉形成云纹条纹... 将激光扫描共聚焦显微镜与实验力学中的云纹法相结合,提出了激光扫描共聚焦显微镜云纹法并对其进行了实验研究.实验中以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线作为虚拟参考栅,以1200 lines/mm的全息光栅作为试件栅,这两组栅线相干涉形成云纹条纹.对激光扫描共聚焦显微镜中云纹的形成原理和出现条件进行了讨论,对实验结果与理论分析进行了比较.结果表明,激光扫描共聚焦显微镜云纹法是真实可行的.由于该方法无需干涉系统且对测量环境无特殊要求,因此有望在待测物体表面微米量级变形观察和测量上得到应用. 展开更多
关键词 云纹 激光扫描共聚焦显微镜 变形
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新型高倍显微镜云纹测量技术及其应用 被引量:1
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作者 谢惠民 王庆华 +4 位作者 潘兵 郭智强 李艳杰 戴福隆 岸本哲 《实验力学》 CSCD 北大核心 2007年第3期198-205,共8页
本文介绍了两种新型的高倍显微镜云纹测量技术,即激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)云纹法和扫描电子显微镜(SEM)云纹法。阐述了LSCM云纹和SEM云纹的形成及测量原理,同时对此两种云纹法加以对比,比较其各自的特点。此外,还对两种云纹法的应用... 本文介绍了两种新型的高倍显微镜云纹测量技术,即激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)云纹法和扫描电子显微镜(SEM)云纹法。阐述了LSCM云纹和SEM云纹的形成及测量原理,同时对此两种云纹法加以对比,比较其各自的特点。此外,还对两种云纹法的应用进行探讨,针对测量物体表面变形和表征物体表面周期性结构特征这两类应用领域,分别以测量多晶铝合金板的残余变形和识别日本纹白蝶翅膀表面结构为例介绍LSCM云纹法的应用,以识别绿带翠凤蝶翅膀表面结构为例介绍了SEM云纹法的应用。实验结果证明了LSCM云纹法和SEM云纹法的可行性、灵活性及高灵敏度特性,均为高效、无损的全场测量技术,在微纳米尺度力学特性测量和表征方面有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 云纹 激光扫描共聚焦显微镜 扫描电子显微镜 铝合金板 蝴蝶
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Cu-Al-Be合金逆马氏体相变过程中内耗的等温变化研究
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作者 宋振纶 岸本哲 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2006年第3期423-427,共5页
本文研究了Cu-Al-Be合金等温逆马氏体相变过程中内耗的变化规律。研究发现,在相变温区,样品内耗值随等温时间的延长而有规律地下降。我们认为,这一现象是由于晶体内部缺陷运动引起的。在等温过程中,点缺陷向界面偏聚,逐渐限制界面移动,... 本文研究了Cu-Al-Be合金等温逆马氏体相变过程中内耗的变化规律。研究发现,在相变温区,样品内耗值随等温时间的延长而有规律地下降。我们认为,这一现象是由于晶体内部缺陷运动引起的。在等温过程中,点缺陷向界面偏聚,逐渐限制界面移动,引起内耗的下降。 展开更多
关键词 内耗 马氏体相变 形状记忆合金
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