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基于双模态有限时间滑模的永磁同步电机抗扰动控制
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作者 张会林 王帅 张建平 《包装工程》 CAS 北大核心 2024年第5期188-196,共9页
目的解决包装机工作过程中,因永磁同步电机的动态响应慢和抗扰动能力弱导致包装机精度不高的问题。方法设计一种双模态有限时间滑模控制器,实现系统有限时间收敛。将双模态函数引入趋近律增益,不仅能实现“大误差大增益,小误差小增益”... 目的解决包装机工作过程中,因永磁同步电机的动态响应慢和抗扰动能力弱导致包装机精度不高的问题。方法设计一种双模态有限时间滑模控制器,实现系统有限时间收敛。将双模态函数引入趋近律增益,不仅能实现“大误差大增益,小误差小增益”,而且趋近律增益切换为小增益的时间可调,从而使电机获得更快的响应速度和更小的抖振。同时,设计有限时间扰动观测器对扰动进行观测,并进行前馈补偿,以此来提高系统的抗扰性能。结果实验结果表明,文中方法相较于另外2种对照方法,可以使电机的动态响应分别提升27%、37%,控制性能分别提升40%、70%,相较于超螺旋扰动观测器,可以使电机的抗扰性能提升58%。结论所提控制策略可以明显提高系统的动态响应、控制性能、抗扰性能,使得永磁同步电机更符合包装机的要求。 展开更多
关键词 永磁同步电机 动态响应 抗扰动 双模态有限时间滑模控制器 有限时间扰动观测器
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基于FxTSMC-ESO的永磁同步电机调速系统滑模控制 被引量:1
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作者 林新才 张会林 +1 位作者 祝童童 张建平 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2024年第1期77-81,共5页
针对永磁同步电机速度环中存在的外部负载扰动问题,为了提高速度环控制系统的动态性和鲁棒性,提出一种基于新型固定时间滑模控制器与扩张状态观测器的控制方法。所提出的滑模控制器简化了收敛时间公式,解决了快速响应与抑制抖振的矛盾... 针对永磁同步电机速度环中存在的外部负载扰动问题,为了提高速度环控制系统的动态性和鲁棒性,提出一种基于新型固定时间滑模控制器与扩张状态观测器的控制方法。所提出的滑模控制器简化了收敛时间公式,解决了快速响应与抑制抖振的矛盾。为了进一步提升调速系统的鲁棒性,采用固定时间收敛的扩张状态观测器对控制器的扰动进行前馈补偿,该观测器不仅可以减小趋近律的开关函数增益,还能实现扰动的精准观测。仿真验证了所提滑模控制方法的有效性。 展开更多
关键词 永磁同步电机 固定时间收敛 滑模控制 扩张状态观测器
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血清胃泌素释放肽前体水平与慢性肾脏病患者不同分期的相关性研究
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作者 周静 段业芬 +4 位作者 邓杰 聂晓冬 杨祺 张会林 聂滨 《黑龙江医学》 2024年第19期2366-2368,2372,共4页
目的:探讨慢性肾脏病(CKD)不同分期与血清胃泌素释放肽前体(ProGRP)水平的相关性。方法:选择2021—2023年宜宾市第四人民医院就诊的165例CKD患者作为研究组(CKD组),另选取50例健康志愿者作为对照组(HC组),测定ProGRP、尿素氮、肌酐、尿... 目的:探讨慢性肾脏病(CKD)不同分期与血清胃泌素释放肽前体(ProGRP)水平的相关性。方法:选择2021—2023年宜宾市第四人民医院就诊的165例CKD患者作为研究组(CKD组),另选取50例健康志愿者作为对照组(HC组),测定ProGRP、尿素氮、肌酐、尿酸、胱抑素C水平,根据估算肾小球滤过率(eGFR)确定CKD分期。比较不同分期CKD患者与HC组血清ProGRP及肾功能检测指标水平差异,分析CKD组血清ProGRP与肾功能检测指标水平的相关性。结果:CKD组的血清ProGRP水平高于HC组,从CKD3期开始,随着CKD分期增加,ProGRP、尿素氮、肌酐水平逐渐升高,eGFR逐渐降低,差异有统计学意义(P<0.001)。CKD组血清ProGRP与尿素氮、肌酐、尿酸、胱抑素C水平均呈正相关,与eGFR呈负相关,差异有统计学意义(r=-0.739,P<0.001)。结论:CKD患者血清ProGRP明显高于健康人群,且随着CKD分期增加血清ProGRP水平逐渐升高,血清ProGRP水平与肾功能检测指标具有相关性,血清ProGRP水平可用于评估CKD病情的严重程度。 展开更多
关键词 慢性肾脏病 血清胃泌素释放肽前体 尿素氮 肌酐
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基于核函数和超参数优化的退役锂电池健康状态估计
4
作者 李臣 张会林 张建平 《储能科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期2010-2021,共12页
退役锂电池的健康状态(SOH)估计对于电池再利用和环境可持续性至关重要,考虑到电池退役前使用条件的不确定性,为进一步实现数据驱动方法对退役锂电池SOH的精确估计,本研究提出一种改进高斯过程回归(GPR)模型的SOH估计方法。首先,收集退... 退役锂电池的健康状态(SOH)估计对于电池再利用和环境可持续性至关重要,考虑到电池退役前使用条件的不确定性,为进一步实现数据驱动方法对退役锂电池SOH的精确估计,本研究提出一种改进高斯过程回归(GPR)模型的SOH估计方法。首先,收集退役锂电池的循环充放电数据,在考虑温度影响的同时,使用容量增量分析(ICA)和电化学阻抗谱(EIS)等方法,获取统计健康特征来表征退役锂电池的老化特性,并使用Pearson相关系数对所选统计特征进行相关性分析,筛选出与SOH相关性高的健康特征,消除特征冗余性。然后,基于单一核函数学习老化特征能力有限和传统超参数寻优方法效率不足的特点,将线性核函数和对角平方指数核函数结合,以更好地适应电池SOH估计任务中的多样性,同时,使用鲸鱼算法(WOA)对估计模型的超参数进行优化,以确保最佳拟合效果,建立改进的GPR估计模型以提高估计的精确性。最后,采用NASA电池数据集中具有不同初始健康状况的四个不同电池,来验证所提出方法的有效性,结果表明,本文所提方法可以提供准确的SOH估计,其中平均绝对误差均小于1.75%且均方根误差均小于2.42%。 展开更多
关键词 退役锂电池 健康状态 鲸鱼算法 核函数 高斯过程回归
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基于改进型跟踪微分器的HOT-FSMO无感控制
5
作者 陈志鹏 张会林 +1 位作者 程文彬 王忠洋 《电子科技》 2024年第8期17-25,共9页
针对传统一阶磁链滑模观测器存在较大滑模抖振和相位延迟问题,文中提出了一种基于改进型跟踪微分器的高阶终端磁链滑模观测器(High-Order Terminal Flux Sliding Mode Observer,HOT-FSMO)。通过设计一种高阶滑模控制律实现磁链估计的抖... 针对传统一阶磁链滑模观测器存在较大滑模抖振和相位延迟问题,文中提出了一种基于改进型跟踪微分器的高阶终端磁链滑模观测器(High-Order Terminal Flux Sliding Mode Observer,HOT-FSMO)。通过设计一种高阶滑模控制律实现磁链估计的抖振抑制,并结合了一种含终端吸引子的低抖振新型跟踪微分器取代传统低通滤波器以便精确跟踪磁链和转子位置,从而实现滤波功能。实验结果表明,在不同转速和负载条件下,相比于传统线性磁链滑模观测器,基于新型跟踪微分器的高阶终端磁链滑模观测器能够有效降低滑模抖振,减小位置估计误差,并加快系统的响应速度,提高系统的动态性能。 展开更多
关键词 永磁同步电机 无感控制 抖振抑制 相位延迟 高阶终端磁链滑模观测器 滤波 跟踪微分器 终端吸引子
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红毛丹果皮抗氧化物质的提取及其抗氧化作用 被引量:8
6
作者 张会林 孙丽平 +1 位作者 范家恒 庄永亮 《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期129-131,共3页
考察了不同浓度的甲醇溶液对红毛丹果皮中多酚和黄酮物质的超声提取作用,并研究了不同甲醇提取液的还原能力、DPPH·和羟自由基清除能力。结果表明,60%和90%的甲醇溶液对红毛丹果皮多酚的提取率较高,90%的甲醇溶液对黄酮的提取率最... 考察了不同浓度的甲醇溶液对红毛丹果皮中多酚和黄酮物质的超声提取作用,并研究了不同甲醇提取液的还原能力、DPPH·和羟自由基清除能力。结果表明,60%和90%的甲醇溶液对红毛丹果皮多酚的提取率较高,90%的甲醇溶液对黄酮的提取率最高。30%、60%、90%甲醇和水溶液对DPPH·自由基清除能力的IC50值均在4μg/mL左右;对羟自由基清除能力的IC50值分别为46.80、34.06、36.69、80.30μg/mL。结果表明:不同甲醇提取液均具有较强的还原能力、DPPH·和羟自由基清除能力,其IC50值均为μg/mL级。一定浓度范围内,提取液抗氧化能力与其多酚的含量呈正相关性。90%和60%的甲醇提取液的抗氧化能力明显高于30%甲醇和水提取液。综合考虑对多酚的提取率、抗氧化能力以及提取成本等因素,可采用60%的甲醇作为提取液。 展开更多
关键词 红毛丹果皮 超声波 总酚 黄酮 抗氧化活性
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气体分子对纳米材料硅石气凝胶热传导的影响 被引量:2
7
作者 张会林 王珏 +1 位作者 邓忠生 周斌 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期541-544,共4页
以动态热线法测量不同气压下纯硅石气凝胶和TiO2掺杂硅石气凝胶的气态热导率,研究TiO2掺杂对硅石气凝胶气态热传导的影响.实验结果表明,硅石气凝胶的微孔洞中气体分子热运动受限,考虑气体分子间、气体分子与团体颗粒间碰撞... 以动态热线法测量不同气压下纯硅石气凝胶和TiO2掺杂硅石气凝胶的气态热导率,研究TiO2掺杂对硅石气凝胶气态热传导的影响.实验结果表明,硅石气凝胶的微孔洞中气体分子热运动受限,考虑气体分子间、气体分子与团体颗粒间碰撞对气体分子平均自由程影响的气态热传导理论能很好地解释实验现象,理论和实验都表明,TiO2掺杂使硅石气凝胶的气态热导率变大. 展开更多
关键词 硅石气凝胶 动态热线 气态热导率 二氧化钛
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人体手背静脉血管图像增强处理算法研究 被引量:5
8
作者 张会林 简献忠 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期729-731,共3页
手背静脉血管近红外图像识别是一项新的非接触式生物认证技术,它在安全保护方面有非常广泛的应用前景。但手背静脉图像在采集过程中,由于受光电噪声的影响不是很清晰。文中采用方向微分直方图法二值化对获得的血管图像进行增强处理,并... 手背静脉血管近红外图像识别是一项新的非接触式生物认证技术,它在安全保护方面有非常广泛的应用前景。但手背静脉图像在采集过程中,由于受光电噪声的影响不是很清晰。文中采用方向微分直方图法二值化对获得的血管图像进行增强处理,并随后进行了二值图像中值滤波、二值图像细化处理与恢复,得到了清晰的个体特征图形。因此,这里的工作对于进一步的图像特征提取、模板制作与匹配以及人员精确识别技术研究有着重要的意义。 展开更多
关键词 手指静脉图像 方向微分直方图法 二值化
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一种预测纸币序列号先知的字符分割方法 被引量:3
9
作者 张会林 张杰武 李伦清 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2014年第2期608-611,共4页
纸币在流通过程中不可避免地引入各种污染,会影响纸币序列号的正常分割,甚至引发分割失败。为了提高分割结果的准确性,提出了一种预测先验知识的字符分割方法。对于某种面值的纸币,根据其特有的号码排列方式定义马尔可夫链的状态,通过... 纸币在流通过程中不可避免地引入各种污染,会影响纸币序列号的正常分割,甚至引发分割失败。为了提高分割结果的准确性,提出了一种预测先验知识的字符分割方法。对于某种面值的纸币,根据其特有的号码排列方式定义马尔可夫链的状态,通过求得马尔可夫链的前向识别,可以预测纸币序列号的先验知识,再配合连通区域法和垂直投影法,最终得到序列号的最优分割位置。在各面值的人民币以及部分外币图像组成的数据集上测试该方法可行性,实验效果与传统的投影法和区域连通法对比显示了该分割方法的准确性。该方法对于有污痕、拆痕、字符粘连等情况的图像能进行准确分割,比传统分割法具有更好的分割性能。 展开更多
关键词 纸币序列号 分割 污染噪声 马尔可夫链 字符先知
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高密度碳气凝胶的制备及电化学性能研究 被引量:1
10
作者 张会林 叶玉凤 +1 位作者 吴学玲 沈军 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期48-52,56,共6页
碳气凝胶是高比表面积、低电阻的纳米多孔碳材料,有着广泛的应用前景,是一种较为优良的超级电容器电极材料。以间苯二酚和甲醛为反应前驱体,用溶胶-凝胶法制备出高密度(0.567 g/cm^2)碳气凝胶。采用扫描电镜(SEM)以及氮气吸脱附等方法... 碳气凝胶是高比表面积、低电阻的纳米多孔碳材料,有着广泛的应用前景,是一种较为优良的超级电容器电极材料。以间苯二酚和甲醛为反应前驱体,用溶胶-凝胶法制备出高密度(0.567 g/cm^2)碳气凝胶。采用扫描电镜(SEM)以及氮气吸脱附等方法对高密度碳气凝胶的微观结构及孔特征进行表征;并通过循环伏安、恒流充放电法研究了不同催化剂含量即R/C值(间苯二酚和碳酸钠的摩尔比值)和溶质质量分数对高密度碳气凝胶材料的电化学性能的影响。结果表明当R/C值为200,溶质质量分数为30%时材料的电化学性能最佳,其在密度为0.567 g/cm^2的情况下比表面积可达到1765 m^2/g,当电流密度为1 A/g时相应的比电容达到164 F/g,具有更好的电化学性能。 展开更多
关键词 高密度 碳气凝胶 超级电容器 电化学性能 电极材料 高比表面积
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边坡无线监测系统的应用 被引量:3
11
作者 张会林 李军才 刘贤信 《矿冶》 CAS 2003年第3期5-8,共4页
介绍边坡无线监测系统在国外的应用及国内边坡监测的现状。结合鞍钢眼前山铁矿加陡最终边坡角的实际情况,确定了该矿北帮的不稳定部位,并首次建立了边坡无线监测系统。概述了该系统的原理、功能和安装,同时讨论了测点的布置和探头的选... 介绍边坡无线监测系统在国外的应用及国内边坡监测的现状。结合鞍钢眼前山铁矿加陡最终边坡角的实际情况,确定了该矿北帮的不稳定部位,并首次建立了边坡无线监测系统。概述了该系统的原理、功能和安装,同时讨论了测点的布置和探头的选取。根据监测结果,对该系统进行了评价。现场工业试验表明,该系统在眼前山铁矿的应用是成功的。 展开更多
关键词 露天矿 边坡稳定 无线监测系统 矿山安全 水文地质 工程地质
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露天矿预裂爆破参数的理论分析 被引量:7
12
作者 张会林 《金属矿山》 CAS 北大核心 1998年第11期4-6,共3页
根据岩石力学、爆炸力学和弹性力学的理论,通过分析研究,得出了预裂爆破设计的基本参数计算公式,可作为矿山预裂爆破设计的主要参数依据。
关键词 预裂爆破 炮孔压力 炸药密度 炮孔间距 露天矿
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基于自适应混沌改进NSGA-Ⅱ的微网需求响应配置 被引量:2
13
作者 张会林 欧阳婷 杨海马 《控制工程》 CSCD 北大核心 2023年第1期47-53,共7页
为降低微电网成本,提高需求响应调节负荷能力和减缓微网高峰供电压力,提出基于自适应混沌改进NSGA-Ⅱ的微网需求响应配置方法。首先,以微网运行成本和环境成本为多目标优化模型,再采用自适应混沌改进NSGA-Ⅱ算法优化求解模型,其中在自... 为降低微电网成本,提高需求响应调节负荷能力和减缓微网高峰供电压力,提出基于自适应混沌改进NSGA-Ⅱ的微网需求响应配置方法。首先,以微网运行成本和环境成本为多目标优化模型,再采用自适应混沌改进NSGA-Ⅱ算法优化求解模型,其中在自适应混沌改进NSGA-Ⅱ算法中引入混沌序列和采用自适应策略,并采用正态分布的交叉算子以及动态更新算子来避免传统NSGA-Ⅱ算法易陷入局部最优解的问题。最后,在算例中与MOPSO算法对比,结果表明该方法能够有效节约微网成本,完成合理的需求响应,保障用户稳定用电以及有效利用储能,提高了微网灵活性,方案具有可行性。 展开更多
关键词 微电网 需求响应 自适应策略 混沌序列 NSGA-Ⅱ算法
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Cortex-M3+μC/OS-II嵌入式系统开发与应用课程本科教学探讨 被引量:1
14
作者 张会林 《电子世界》 2014年第21期178-178,共1页
本文分析了嵌入式系统开发与应用课程教学内容的内涵,阐述了在嵌入式系统教学中开展μC/OS-II教学的必然性。从μC/OS-II的内核和在Cortex-M3上的移植及实例开发角度,分析了嵌入式系统开发与应用教学的难点。对电子信息类本科专业开... 本文分析了嵌入式系统开发与应用课程教学内容的内涵,阐述了在嵌入式系统教学中开展μC/OS-II教学的必然性。从μC/OS-II的内核和在Cortex-M3上的移植及实例开发角度,分析了嵌入式系统开发与应用教学的难点。对电子信息类本科专业开展嵌入式系统开发与应用教学内容的安排、教学难点,教学和实验方法进行了探讨。从实践的效果来看,本文方法对嵌入式系统开发与应用课程的教学内容、教学方法及实验安排具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 CORTEX-M3 ΜC/OS-II 嵌入式系统开发与应用 本科教学
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鼻部外伤的X线平片与CT对比分析
15
作者 张会林 刘明 +2 位作者 王浩 崔文郁 纪盛章 《中国误诊学杂志》 CAS 2004年第7期1062-1063,共2页
关键词 鼻/损伤 鼻/放射摄影术 体层摄影术 X线计算机
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基于参数辨识的DTP-PMSM无传感器控制
16
作者 王帅 张会林 张建平 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2023年第9期82-85,91,共5页
针对双三相永磁同步电动机(DTP-PMSM)在受到外界和电机内部影响时,会出现电气参数变化和传感器精度下降的问题,提出一种带参数辨识的无传感器控制方案。该方案通过MRAS来实现电阻和电感的在线辨识,为了减小谐波的影响,将其推广到静止坐... 针对双三相永磁同步电动机(DTP-PMSM)在受到外界和电机内部影响时,会出现电气参数变化和传感器精度下降的问题,提出一种带参数辨识的无传感器控制方案。该方案通过MRAS来实现电阻和电感的在线辨识,为了减小谐波的影响,将其推广到静止坐标系中,采用Popov超稳定性理论设计出新的自适应律,并使用BP神经网络来优化自适应律的增益,实现增益的在线调节,提高系统的辨识精度。此外,为进一步提高系统的鲁棒性,提出了一种基于线性扩张状态观测器和滑模控制相结合的改进锁相环,通过Lyapunove函数证明其稳定性。仿真结果表明,提出的方法能够实现对电气参数的准确辨识,提高系统控制性能。 展开更多
关键词 参数辨识 Popov超稳定性理论 BP神经网络 线性扩张状态观测器 滑模控制
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掺杂SiO_2气凝胶结构及其热学特性研究 被引量:18
17
作者 邓忠生 张会林 +4 位作者 魏建东 王珏 沈军 周斌 陈玲燕 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 1999年第4期38-43,共6页
以正硅酸四乙酯为硅源,钛白粉为红外遮光剂,通过溶胶-凝胶及超临界干燥过程制备了钛白粉掺杂SiO2 气凝胶。用透射电镜、扫描电镜以及孔径分布仪对其结构进行了表征,并用动态热线法对其热学特性进行了测试。结果表明: 钛白粉能... 以正硅酸四乙酯为硅源,钛白粉为红外遮光剂,通过溶胶-凝胶及超临界干燥过程制备了钛白粉掺杂SiO2 气凝胶。用透射电镜、扫描电镜以及孔径分布仪对其结构进行了表征,并用动态热线法对其热学特性进行了测试。结果表明: 钛白粉能较均匀的分散在SiO2 气凝胶中;掺杂SiO2 气凝胶的孔洞大小分布在5~70nm ,峰值在20nm 附近,组成SiO2 网络的胶体颗粒为5~10nm ;随着钛白粉掺杂量的增加,掺杂SiO2 气凝胶的孔径分布峰高变矮,同时出现孔径为几纳米的微孔;热学测试结果显示钛白粉掺杂量为20w t% 的SiO2 气凝胶在常压、831K 时的热导率为0.035w m - 1K- 1。 展开更多
关键词 SIO2气凝胶 掺杂 超临界干燥 热导率 气凝胶
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低折射率SiO_2光学增透薄膜的结构控制 被引量:17
18
作者 吴广明 王珏 +7 位作者 沈军 杨天河 赖珍荃 张会林 张勤远 范滨 周东平 张凤山 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期332-336,共5页
以正硅酸乙酯( T E O S)为有机硅源,采用溶胶凝胶技术,通过调节溶胶的p H 和掺入有机添加剂,对 Si O2 溶胶生长过程进行结构裁剪,控制 Si O2 纳米颗粒尺度,制备出低折射率(115~1.18) Si O2 光... 以正硅酸乙酯( T E O S)为有机硅源,采用溶胶凝胶技术,通过调节溶胶的p H 和掺入有机添加剂,对 Si O2 溶胶生长过程进行结构裁剪,控制 Si O2 纳米颗粒尺度,制备出低折射率(115~1.18) Si O2 光学增透薄膜。分别采用椭偏仪、分光光度计、扫描和透射电镜等对所制备薄膜的结构、物性进行研究。研究结果表明:改变 Si O2 溶胶p H 可有效抑制颗粒生长,且保持原有的微结构;掺入有机偶联添加剂能使颗粒迅速增大。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 增透薄膜 二氧化硅 折射率 薄膜结构
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精密导电环在高速高温真空环境中输电特性研究 被引量:5
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作者 张会林 张凤山 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期461-463,共3页
把HJT K 6型导电环安装在高温高速真空的模拟工程环境中 ,测量了其在 0 .133Pa真空下 ,环境温度为常温与 10 0℃以及其转速分别为 0 .16m/s、0 .32m/s、0 .6 3m/s、1.2 5m/s时传输的电压信号随时间的变化及其信噪比 ,并用X Y记录仪记录... 把HJT K 6型导电环安装在高温高速真空的模拟工程环境中 ,测量了其在 0 .133Pa真空下 ,环境温度为常温与 10 0℃以及其转速分别为 0 .16m/s、0 .32m/s、0 .6 3m/s、1.2 5m/s时传输的电压信号随时间的变化及其信噪比 ,并用X Y记录仪记录实验结果 .结果表明 ,高速转动和高温使电压信号的信噪比增加 .即使环境温度为 10 0℃、转速为 1.2 5m/s时导电环传输的电压信号的信噪比也不低于 2 78∶1.说明在高速高温真空环境中HJT K 6型导电环对电压信号的传输影响很小 ,能把转动环上的电信号很好的导出真空室 ,可以在类似工程环境中使用 . 展开更多
关键词 导电环 输电特性 信噪比 真空高温高速转动 实验设计 相对旋转结构 信号发射装置
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ICF分解实验中的平面调制靶 被引量:11
20
作者 周斌 王珏 +5 位作者 沈军 杜保旗 赖珍荃 邓忠生 张会林 陈玲燕 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期636-640,共5页
介绍采用多次电镀Ni图形转移工艺将激光干涉法获得的耦合在光刻胶表面的起伏图形进行复制以获得Ni基图形转移模板,并进一步将表面起伏图形复制到聚苯乙烯薄膜的表面,以获得具有表面起伏图形的平面调制靶。为提高图形转移的精度、... 介绍采用多次电镀Ni图形转移工艺将激光干涉法获得的耦合在光刻胶表面的起伏图形进行复制以获得Ni基图形转移模板,并进一步将表面起伏图形复制到聚苯乙烯薄膜的表面,以获得具有表面起伏图形的平面调制靶。为提高图形转移的精度、研究电镀图形转移工艺和聚苯乙烯薄膜图形复制工艺对表面起伏图形转移精度的影响,以扫描电子显微镜对整个图形转移流程进行监控,比较光刻胶表面图形,一次、二次电镀转移图形和转移到聚苯乙烯上图形的形貌。 展开更多
关键词 平面调制靶 图形转移 ICF 分解实验
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