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角分辨飞行时间法研究紫外激光烧蚀Ta_2O_5的反应 被引量:4
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作者 韩镇辉 陆建江 +2 位作者 党海军 戴自国 秦启宗 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1997年第2期140-145,共6页
利用角分辨的飞行时间法研究了355nm脉冲激光烧蚀Ta2O5的反应.由四极质谱测得的烧蚀产物除了O,Ta,Tao和TaO2中性碎片外,在较高激光能量密度时还有O+,Ta+,TaO+,TaO离子碎片。它们的飞行时间(TOF)谱可以用多组分带质心速度的Maxwe... 利用角分辨的飞行时间法研究了355nm脉冲激光烧蚀Ta2O5的反应.由四极质谱测得的烧蚀产物除了O,Ta,Tao和TaO2中性碎片外,在较高激光能量密度时还有O+,Ta+,TaO+,TaO离子碎片。它们的飞行时间(TOF)谱可以用多组分带质心速度的Maxwell-Bolztmaun分布函数较好地拟合,原生离子碎片的平均动能与激光能量密度无关.烧蚀产物中原生离子和中性粒子的角分布可以分别用αcosnθ(n≈26)和αcosθ+bcosnθ(n≈27)函数拟合。此外,对紫外脉冲激光烧触Ta2O5的机理进行了讨论. 展开更多
关键词 激光烧蚀 飞行时间谱 角分布 氧化钽 薄膜
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射流冷却下过氧化二叔丁基瞬时热解反应的研究
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作者 刘兆祥 陆建江 +2 位作者 韩镇辉 戴自国 秦启宗 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第12期1922-1926,共5页
采用射流冷却和高温瞬时热解技术研究了过氧化二叔丁基(DTBP)热解产物的质量分布和飞行时间谱。DTBP解离率与热解温度的关系表明,1300K时DTBP全部解离。以Ar为载气时,DTBP热解产物CH_3COCH_3的飞... 采用射流冷却和高温瞬时热解技术研究了过氧化二叔丁基(DTBP)热解产物的质量分布和飞行时间谱。DTBP解离率与热解温度的关系表明,1300K时DTBP全部解离。以Ar为载气时,DTBP热解产物CH_3COCH_3的飞行时间谱上出现双峰,而以He或N_2为载气时只出现单峰,表明在射流冷却下可能有部分CH_3COCH_3分子与Ar生成了范德华分子CH_3COCH_3·Arn·此外,还讨论了射流冷却下DTBP瞬时热解的机理。 展开更多
关键词 过氧化二叔丁基 瞬时热解 射流 冷却 自由基
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分子束研究GaAs和InP与氯的激光化学反应动态学 被引量:2
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作者 秦启宗 李雨林 +7 位作者 金忠(告羽) 章壮健 杨永炎 蔡中厚 刘先年 戴自国 郏伟杰 郑企克 《中国科学(A辑)》 CSCD 1989年第8期834-840,共7页
本文采用CW超声分子束和时间分辨质谱技术,研究了在紫外和可见(355nm和560nm)脉冲激光辐照下GaAs(100)和InP(100)表面与氯的激光化学反应动态学。由质谱和飞行时间谱测得反应的主要产物为GaCl_x和InCl_x(x=1,2),研究了激光波长和能量密... 本文采用CW超声分子束和时间分辨质谱技术,研究了在紫外和可见(355nm和560nm)脉冲激光辐照下GaAs(100)和InP(100)表面与氯的激光化学反应动态学。由质谱和飞行时间谱测得反应的主要产物为GaCl_x和InCl_x(x=1,2),研究了激光波长和能量密度对产物飞行时间谱的影响,首次发现提高入射Cl_2分子的平动能对上述激光诱导气-固相反应有明显的增强作用。 展开更多
关键词 分子束 GAAS INP 激光化学
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MOLECULAR BEAM STUDIES ON DYNAMICS OF LASER-INDUCED CHEMICAL REACTIONS OF GaAs AND InP SURFACES WITH CHLORINE
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作者 秦启宗 李雨林 +7 位作者 金忠(告羽) 章壮健 杨永炎 蔡中厚 刘先年 戴自国 郏伟杰 郑企克 《Science China Mathematics》 SCIE 1990年第5期607-616,共10页
The dynamics of laser-induced chemical reactions of GaAs (100) and InP(100) surfaces with chlorine molecules under UV and visible (355 nm and 560 nm) irradiation are studied using a CW supersonic molecular beam and ti... The dynamics of laser-induced chemical reactions of GaAs (100) and InP(100) surfaces with chlorine molecules under UV and visible (355 nm and 560 nm) irradiation are studied using a CW supersonic molecular beam and time-resolved mass spectrometry. The major reaction products observed in time-resolved mass spectrometric measurements are GaC1, and InCl, (x=1, 2). The dependence of time-of-flight spectra of the desorbed products on laser wavelength and fluence has been investigated. Furthermore, the obvious enhancement of laser-induced gas-surface reactions by increasing the translational energy of incident chlorine molecules is reported for the first time. 展开更多
关键词 molecular beam faser CHEMISTRY reaction dynamics SEMICONDUCTOR surface chemistry.
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