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不锈钢金属丝网上TiO_2纳米薄膜光催化剂的研究 被引量:36
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作者 朱永法 李巍 +1 位作者 何俣 尚静 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期465-468,共4页
以钛酸正丁酯为原料 ,采用溶胶 -凝胶法在金属丝网上制备了 Ti O2 薄膜光催化剂 .利用 SEM,TEM,AES和 Raman光谱研究了薄膜的表面及结构特性 .以甲醛的光催化氧化反应为试验反应 ,考察了提拉次数、PEG浓度和焙烧温度对 Ti O2 薄膜光催... 以钛酸正丁酯为原料 ,采用溶胶 -凝胶法在金属丝网上制备了 Ti O2 薄膜光催化剂 .利用 SEM,TEM,AES和 Raman光谱研究了薄膜的表面及结构特性 .以甲醛的光催化氧化反应为试验反应 ,考察了提拉次数、PEG浓度和焙烧温度对 Ti O2 薄膜光催化剂活性的影响 .将 Ti O2 薄膜的结构特性与其光催化活性进行了关联 .结果表明 ,在前驱体溶胶中加入 1 0 % PEG4 0 0 ,提拉 3次并于 4 0 0℃下焙烧可制得具有中孔结构和结晶完好的锐钛矿型 Ti O2 薄膜 。 展开更多
关键词 不锈钢金属丝网 TIO2 纳米薄膜 光催化剂 聚乙二醇 RAMAN光谱 光催化活性 二氧化钛 结构
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通过晶面调控产生强内建电场以提高卟啉光催化剂的H_(2)O_(2)生成速率
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作者 邵韵航 张亚宁 +5 位作者 陈潮锋 窦帅 娄阳 董玉明 朱永法 潘成思 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE CAS CSCD 2024年第6期205-214,共10页
过氧化氢(H_(2)O_(2))是一种重要的化工产品,广泛应用于污水处理、消毒杀菌和印染漂白等领域.在蒽醌法生产H_(2)O_(2)的过程中,易产生有毒气体并存在爆炸危险.因此,仅利用水、氧气和太阳光即可在合适的光催化剂上生成H_(2)O_(2)的光催... 过氧化氢(H_(2)O_(2))是一种重要的化工产品,广泛应用于污水处理、消毒杀菌和印染漂白等领域.在蒽醌法生产H_(2)O_(2)的过程中,易产生有毒气体并存在爆炸危险.因此,仅利用水、氧气和太阳光即可在合适的光催化剂上生成H_(2)O_(2)的光催化技术备受关注.本课题组报道了通过酸碱自组装法制备的四(4-羧基苯基)卟啉(SA-TCPP)光催化剂,用于生产H_(2)O_(2).该催化剂克服了大部分H_(2)O_(2)光催化剂存在的需要牺牲剂、活性低和光利用率不足等问题,但其性能仍受限于较高的复合率.晶面调控已被证实是改善许多无机催化剂电荷复合的有效策略,然而,对于有机光催化剂,关于暴露晶面与其活性关系的研究仍然较少.本文采用溶解-重结晶法在水和三种有机溶剂的混合物中成功合成了三种具有不同暴露晶面的卟啉光催化剂.即利用卟啉在有机溶剂和水中的溶解度差异,将卟啉先溶解在四氢呋喃(THF)、甲醇(MeOH)或乙二醇(EG)溶液中,随后在水溶液中重新结晶.X射线衍射、高分辨率透射电子显微镜及晶面模拟模型图的结果表明,三种催化剂具有相同的晶体结构,但分别暴露了(400)、(022)和(020)晶面.通过紫外分光光度计测量这些催化剂在氙灯(λ≥420 nm)照射下的光催化活性,结果表明,具有(400)暴露面的卟啉光催化剂的H_(2)O_(2)生产速率最高,可达29.33 mmol L h^(-1)g^(-1),分别是具有(022)暴露面和(020)暴露面的卟啉光催化剂的2.7倍和4.1倍,约是已报道的SA-TCPP光催化剂的1.3倍.通过紫外漫反射、莫特肖特基曲线分析以及LED灯照射下的光催化活性测试,排除了光吸收能力对这三种卟啉光催化剂活性的影响.开尔文探针力显微镜、光生电流密度谱图、晶面模拟模型图和密度泛函理论计算结果表明,活性的差异主要归因于(400)表面暴露的高羧基含量所引发的强内建电场,并且在该暴露面上的内建电场方向有利于空穴从吡咯氮向羧基碳的跃迁,因此阻碍了电荷的快速重组,促进了富有挑战性的水氧化过程,而(020)面由于暴露了最多的吡咯氮和最少的羧基碳,其产生的内建电场强度最弱,且内建电场方向阻碍了空穴向羧基碳的跃迁,因此H_(2)O_(2)生产速率最低.综上所述,本工作通过晶面调控产生强内建电场以加速空穴的迁移,降低了电子空穴复合速率,实现了高H_(2)O_(2)生产速率,为更高效的有机光催化剂的设计和开发提供了新思路. 展开更多
关键词 内建电场 晶面调控 纳米片 光催化产H_(2)O_(2) 卟啉
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溶胶-凝胶法制备薄膜型TiO_2光催化剂 被引量:45
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作者 朱永法 张利 +1 位作者 姚文清 曹立礼 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1999年第3期362-364,共3页
用 Ti Cl4 作 原料 ,通 过 溶 胶凝胶 法 在 单 晶 硅 基 片 上 制 备 了 Ti O2 纳 米 薄 膜, 并 用 X R D, A E S, X P S 以及紫 外反射光 谱等手段 ,对 Ti O2 薄膜的结 构进 行了 研究. 结 果发 现... 用 Ti Cl4 作 原料 ,通 过 溶 胶凝胶 法 在 单 晶 硅 基 片 上 制 备 了 Ti O2 纳 米 薄 膜, 并 用 X R D, A E S, X P S 以及紫 外反射光 谱等手段 ,对 Ti O2 薄膜的结 构进 行了 研究. 结 果发 现, Ti O2 薄膜 以锐钛矿型 晶相存在 . Ti O2 薄膜层与 硅衬底 间无明显 的 界面 扩散 反 应. 掺杂 的 Pd 在 还原 前的 薄 膜中以氧化 态存在 ,还原后则 以高分 散的金属 态存在 . 掺 杂的 Pt 在还 原前 后 均以 金 属态 存在 ,但 还原后产生 颗粒聚 集. 掺 杂 Pd 的 Ti O2 薄膜经 还原后,其 紫外吸 收强度明 显提高 ,主吸收峰 发生红 展开更多
关键词 溶胶 凝胶法 二氧化钛 薄膜 光催化剂 纳米级
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不锈钢基底上TiO_2薄膜型光催化剂的制备和化学结构 被引量:28
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作者 朱永法 张利 +2 位作者 王莉 付艳 曹立礼 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2000年第4期467-472,共6页
采用钛酸正丁酯作为前驱体,通过溶胶-凝胶法在不锈钢基片上制备了TiO_2纳米薄膜.利用俄歇电子能谱(AES)和紫外反射光谱等研究手段,对TiO_2薄膜的化学结构及与基底材料的界面相互作用进行了系统研究.结果发现,在不锈钢基底上形成的TiO_2... 采用钛酸正丁酯作为前驱体,通过溶胶-凝胶法在不锈钢基片上制备了TiO_2纳米薄膜.利用俄歇电子能谱(AES)和紫外反射光谱等研究手段,对TiO_2薄膜的化学结构及与基底材料的界面相互作用进行了系统研究.结果发现,在不锈钢基底上形成的TiO_2薄膜与基底材料发生了明显的界面扩散反应.在TiO_2薄膜的形成过程中,不锈钢中的Fe元素向TiO_2薄膜层扩散,并与从大气氛中扩散到界面的氧发生化学反应,形成铁氧化物界面过渡层、界面氧化过程,导致了Fe向样品表面的偏析和扩散.在高温热处理过程中,Fe可以扩散到TiO_2薄膜的表面.薄膜催化剂的紫外反射光谱表明,界面扩散反应导致了Fe扩散进入TiO_2薄膜的晶格,从而改变了薄膜催化剂的光吸收性能. 展开更多
关键词 二氧化钛 薄膜不锈钢 光催化剂 结构 制备
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TiCl_4溶胶凝胶法制备TiO_2纳米粉体 被引量:27
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作者 朱永法 张利 +2 位作者 高翀 姚文清 曹立礼 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1999年第9期784-788,共5页
利用TiCl4的乙醇溶液作为前驱体 ,运用溶胶凝胶法制备了TiO2 纳米粉体 .研究结果表明 ,在TiCl4与乙醇混合成溶液的过程中 ,TiCl4即与乙醇及乙醇中的微量水发生醇解和部分水解脱氯反应形成钛酸酯 .在随后的成胶化过程中 ,则主要是钛酸酯... 利用TiCl4的乙醇溶液作为前驱体 ,运用溶胶凝胶法制备了TiO2 纳米粉体 .研究结果表明 ,在TiCl4与乙醇混合成溶液的过程中 ,TiCl4即与乙醇及乙醇中的微量水发生醇解和部分水解脱氯反应形成钛酸酯 .在随后的成胶化过程中 ,则主要是钛酸酯吸收气氛中的水气 ,脱去乙醇基形成Ti-OH键并发生缩脱水聚合形成无机聚合物溶胶 .增加成胶化时间 ,可以促进乙醇基的脱去和无机聚合物的形成 ,促进锐钛矿TiO2 展开更多
关键词 溶胶凝胶 二氧化钛 纳米粉体 四氯化钛
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电子能谱线形分析研究碳物种的化学状态 被引量:7
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作者 朱永法 郑斌 +2 位作者 姚文清 叶小燕 曹立礼 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期10-13,共4页
利用XIS的Cls携上峰,X线激发俄歇线形,XPS价带谱以及俄歇电子能谱的CKLL线形研究了几种碳材料的化学状态和电子结构.研究结果表明:XPS的携上效应可以鉴别不同结构的碳材料.XAES的化学位移和线形也可以有效地研究各种不同的碳材料的成键... 利用XIS的Cls携上峰,X线激发俄歇线形,XPS价带谱以及俄歇电子能谱的CKLL线形研究了几种碳材料的化学状态和电子结构.研究结果表明:XPS的携上效应可以鉴别不同结构的碳材料.XAES的化学位移和线形也可以有效地研究各种不同的碳材料的成键方式.XPS的价带谱也是研究固体表面电子结构的一种有效方法,对碳材料的研究也很有效.AES的CKLL俄歇线形非常适合金属碳化物的鉴别. 展开更多
关键词 电子能谱 线形分析 碳材料 XPS AES 化学状态
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金刚石颗粒表面Cr金属化及薄膜间界面扩散反应的研究 被引量:12
7
作者 朱永法 王莉 +1 位作者 姚文清 曹立礼 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期1269-1272,共4页
运用直流磁控溅射法可在金刚石颗粒表面沉积 1 50 nm的金属 Cr层 .在超高真空条件下 ,经 3 0 0—60 0℃的热退火处理 ,可促进 Cr膜与金刚石基底间的界面扩散和反应 .利用俄歇电子能谱研究了 Cr/金刚石颗粒界面的结合状态 ,发现 Cr与金... 运用直流磁控溅射法可在金刚石颗粒表面沉积 1 50 nm的金属 Cr层 .在超高真空条件下 ,经 3 0 0—60 0℃的热退火处理 ,可促进 Cr膜与金刚石基底间的界面扩散和反应 .利用俄歇电子能谱研究了 Cr/金刚石颗粒界面的结合状态 ,发现 Cr与金刚石薄膜发生了强烈的界面扩散 ,Cr元素渗入金刚石层达 90 nm,并在界面上发生化学反应形成 Cr的碳化物层 .对界面扩散反应动力学的研究表明 ,Cr/金刚石界面扩散反应的表观活化能为 3 8.4 k J/ mol,界面扩散反应主要由碳的扩散过程控制 .热处理温度越高 ,界面扩散及反应越显著 ,但不利于碳化物层生成的氧化反应速度也会有所增加 ,界面反应产物从 Cr2 C3转变为 Cr2 C物种 .延长热处理时间有利于金属碳化物的生成 ,同样导致界面反应产物从 Cr2 C3转变为 Cr2 展开更多
关键词 金刚石 界面作用 表面金属化 直流磁控溅射
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国有林场分类经营改革探讨 被引量:9
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作者 朱永法 魏远竹 +1 位作者 陈建祥 汤肇元 《北京林业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期61-66,共6页
该文在简述国有林场分类经营必要性的基础上 ,分析了当前改革中存在的主要问题 .根据经营目标和分类标准的不同 ,把浙江省国有林场分成商品经营型、生态公益型与混合经营型 3种类型 ,并分别提出了全省 3类林场分类经营的改革对策与保障... 该文在简述国有林场分类经营必要性的基础上 ,分析了当前改革中存在的主要问题 .根据经营目标和分类标准的不同 ,把浙江省国有林场分成商品经营型、生态公益型与混合经营型 3种类型 ,并分别提出了全省 3类林场分类经营的改革对策与保障措施 . 展开更多
关键词 国有林场 分类经营 改革 商品经济型 生态公益型 混合经营型
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LaCoO_3模型催化剂SO_2中毒机理的研究 被引量:7
9
作者 朱永法 谭瑞琴 +2 位作者 冯杰 嵇世山 曹立礼 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1733-1737,共5页
运用 AES,XPS,XRD和 TEM等手段研究了 La Co O3模型催化剂 SO2 中毒过程表面化学状态、晶相结构及表面形貌的变化状况 ,初步推断了 La Co O3钙钛矿型复合金属氧化物催化剂的 SO2 中毒机理 .在 SO2强化中毒过程中 ,SO2 与催化剂的活性组... 运用 AES,XPS,XRD和 TEM等手段研究了 La Co O3模型催化剂 SO2 中毒过程表面化学状态、晶相结构及表面形貌的变化状况 ,初步推断了 La Co O3钙钛矿型复合金属氧化物催化剂的 SO2 中毒机理 .在 SO2强化中毒过程中 ,SO2 与催化剂的活性组分 La Co O3反应生成硫酸镧和氧化亚钴 ,而在催化剂膜层内部则生成硫酸镧、亚硫酸镧及氧化亚钴 . SO2 对活性组分层的侵入及硫与 La Co O3活性组分的反应破坏了催化剂的钙钛矿结构 ,使得催化剂彻底中毒 .当中毒温度较低及中毒时间较短时 ,硫在膜层中呈峰形分布 ,其浓度随中毒温度及时间的增加而增加 .随中毒温度的升高及中毒时间的增长 ,由于亚硫酸盐的分解作用 ,S在活性层中的浓度反而降低 ,中毒深度则继续增加 . 展开更多
关键词 LACOO3 SO2 中毒机理 汽车尾气净化催化剂
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森林资源可持续发展指标体系研究 被引量:23
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作者 朱永法 冯金明 +2 位作者 蔡细平 华飞荣 徐鑫 《浙江林业科技》 北大核心 1998年第4期28-31,共4页
以可持续发展理论为指导,结合我国森林资源的特点和利用中存在的问题,论述了构建森林资源可持续发展指标体系的依据与原则,并从生态、经济和社会3个方面给出相应的指标体系及其评价方法。
关键词 森林资源 可持续发展 可持续林业 指标体系 综合评价
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试论中国绿色产业的发展 被引量:9
11
作者 朱永法 宣裕方 +2 位作者 毛节琏 郑四渭 何远平 《浙江林学院学报》 CSCD 1997年第4期388-392,共5页
分析了绿色产业的特征与要求,提出了增强环保意识、搞好产业规划、制订产业政策、组建企业集团以及培养专门人才等若干对策,以推动我国绿色产业的更快发展。
关键词 绿色产业 环境标志 清洁生产 对策
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负载型TiO_2/γ-Al_2O_3体系的制备及其表面状态表征 被引量:19
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作者 朱永法 桂琳琳 唐有祺 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1989年第2期118-122,共5页
用TiCl_4,AlCl_3混胶法制备了TiO_2/γ-Al_2O_3负载型载体。发现该载体具有优良的孔结构。XRD,XPS的研究发现,随着TiO_2负载量的增加,TiO_2/γ-Al_2O_3负载型载体存在着四种分散状态和表面结构。ISS实验还发现γ-Al_2O_3表面的能量中心... 用TiCl_4,AlCl_3混胶法制备了TiO_2/γ-Al_2O_3负载型载体。发现该载体具有优良的孔结构。XRD,XPS的研究发现,随着TiO_2负载量的增加,TiO_2/γ-Al_2O_3负载型载体存在着四种分散状态和表面结构。ISS实验还发现γ-Al_2O_3表面的能量中心是不均匀的,有强位作用中心和弱位作用中心,TiO_2在γ-Al_2O_3表面上分散总是优先结合在强位作用中心上。TEM的研究发现TiO_2/γ-Al_2O_3载体具有两种微观结构。 展开更多
关键词 TiO2/γ-A2O3 负载型载体
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Ar离子束作用下C_(60)薄膜的结构稳定性研究 被引量:2
13
作者 朱永法 叶小燕 +2 位作者 姚文清 陈德朴 曹立礼 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1995年第8期699-703,共5页
利用XPS和AES研究了在Ar离子束作用下C60薄膜的分子结构的稳定性.研究发现C60分子与Ar离子束作用后,C1s结合能从284.7eV逐步下降到284.4eV,CKLL俄歇动能从270.0eV增加到271.3eV.并且C60薄膜在与氩离子束作用后,其C60分子结构... 利用XPS和AES研究了在Ar离子束作用下C60薄膜的分子结构的稳定性.研究发现C60分子与Ar离子束作用后,C1s结合能从284.7eV逐步下降到284.4eV,CKLL俄歇动能从270.0eV增加到271.3eV.并且C60薄膜在与氩离子束作用后,其C60分子结构特征的C1s携上峰及价带峰均消失.表明Ar离子束可以促使C60分子的C=C双键断裂,离域π键消失,C60分子分解为单质碳.C=C双键断裂过程与离子束的能量和辐照时间有一定的函数关系. 展开更多
关键词 薄膜 表面分析 离子束 碳60 稳定性
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不锈钢丝网上薄膜TiO_2光催化剂的Raman光谱研究 被引量:7
14
作者 朱永法 李巍 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期494-497,共4页
用Raman光谱方法来研究用Sol Gel法负载于金属丝网的薄膜TiO2 光催化剂的物相结构、厚度以及粒径大小。研究结果显示 ,薄膜达到一定厚度能够阻止基底Fe元素向薄膜表层的扩散 ;在 4 0 0℃下灼烧制得的薄膜TiO2 光催化剂具有锐钛矿晶型 ,... 用Raman光谱方法来研究用Sol Gel法负载于金属丝网的薄膜TiO2 光催化剂的物相结构、厚度以及粒径大小。研究结果显示 ,薄膜达到一定厚度能够阻止基底Fe元素向薄膜表层的扩散 ;在 4 0 0℃下灼烧制得的薄膜TiO2 光催化剂具有锐钛矿晶型 ,而高于 4 0 0℃时 ,将出现金红石相TiO2 ;锐钛矿晶型TiO2 的Raman特征峰产生偏移 ,表明薄膜粒径的变化 ,通过计算表明 ,薄膜TiO2 的粒径为 10nm左右 ,TEM的分析结果也与之一致。 展开更多
关键词 不锈钢丝网 薄膜 TiO2 光催化剂 RAMAN光谱 环境净化 氧化钛
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多孔薄膜型TiO_2光催化剂及其环境净化研究 被引量:7
15
作者 朱永法 何俣 张利 《宁夏大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第2期217-218,共2页
利用溶胶凝胶法在不锈钢以及玻璃载体表面制备了具有多孔结构的TiO2 薄膜光催化剂 ;利用俄歇电子能谱、紫外光谱、X射线衍射以及透射电镜研究了薄膜催化剂的表面结构 ;利用有机染料和含甲醛空气研究了薄膜光催化剂的反应活性 。
关键词 二氧化钛薄膜光催化剂 多孔结构 反应活性 绿色环保光催化剂 溶胶凝胶法
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我国林业发展的现状与可持续林业的必然性 被引量:25
16
作者 朱永法 汤肇元 《浙江林学院学报》 CSCD 1997年第1期73-77,共5页
我国林业发展的现状是:森林资源不足,森林质量下降;生态环境恶化,自然灾害频繁;森林资源利用水平不高;林业补偿机制尚未建立;林业市场发育滞后。在剖析现状的基础上,结合人类利用森林资源的历史。
关键词 林业 现状 可持续发展 可持续林业
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Ti/Si(100)样品在快速退火(RTA)时的界面反应的研究 被引量:4
17
作者 朱永法 曹立礼 +1 位作者 林惠旺 陈立 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期34-42,共9页
运用俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)以及卢瑟福背散射谱(RBS)研究了Ti/Si(100)样品在快速热退火(RTA)过程中的界面反应机理及物种分布。研究结果表明,Ti/Si(100)样品在600℃快速热退火10s后,界面上的钛和硅就发生了明显的界... 运用俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)以及卢瑟福背散射谱(RBS)研究了Ti/Si(100)样品在快速热退火(RTA)过程中的界面反应机理及物种分布。研究结果表明,Ti/Si(100)样品在600℃快速热退火10s后,界面上的钛和硅就发生了明显的界面反应,形成了TiSi_2金属硅化物相。在750℃RTA后,TiSi_2相已基本形成完善,再提高RTA温度,TiSi_2相增加甚少。快速热退火过程不同于一般的慢退火过程,主要通过TiSi_2晶格传递Si,从而促使界面处的钛和硅的继续反应。界面扩散的速度很快,TiSi_2物相的形成速度由Ti和Si的反应速度限制,不受Si扩散效应的影响。此外,俄歇线形分析还揭示了,在硅化物的形成过程中,钛硅物相在各界面层中的存在形式。 展开更多
关键词 TI SI(100) 退火 界面反应 硅化钛
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金刚石表面Cr金属化的界面扩散反应研究 被引量:2
18
作者 朱永法 王莉 +1 位作者 姚文清 曹立礼 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期24-26,37,共4页
利用直流磁控溅射法在金刚石颗粒表面沉积了厚度为150nm的金属Cr薄膜。SEM研究表明在金刚石表面形成的Cr膜基本均匀,但有小的金属聚集体存在。俄歇深度剖析研究发现,在镀膜过程中Cr膜和金刚石基底间发生了显著的界面扩散作用。相应的俄... 利用直流磁控溅射法在金刚石颗粒表面沉积了厚度为150nm的金属Cr薄膜。SEM研究表明在金刚石表面形成的Cr膜基本均匀,但有小的金属聚集体存在。俄歇深度剖析研究发现,在镀膜过程中Cr膜和金刚石基底间发生了显著的界面扩散作用。相应的俄歇线形分析表明,沉积过程中在界面上发生化学反应形成了部分Cr2C3物种。溅射沉积功率对金刚石颗粒与金属Cr膜的界面扩散反应有较大的影响。提高溅射功率可大大促进Cr元素的扩散,但对于C元素的扩散作用则影响较小。界面扩散反应的本质是荷能Cr原子与金刚石基底的碰撞注入作用。 展开更多
关键词 磁控溅射 金刚石 CR 单面扩散反应 表面金属化
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Ti/SiO_2界面反应的研究 被引量:9
19
作者 朱永法 曹立礼 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第6期390-396,共7页
运用俄歇深度剖析和俄歇化学效应研究了Ti/SiO2的界面还原反应。结果表明,在薄膜样品的制备过程中,金属Ti可以和SiO2发生界面还原反应,形成TiSi和TiO2物种。薄膜样品在RTA处理时,Ti和SiO2的界面反应大幅度地增加,尤其是当RTA温度... 运用俄歇深度剖析和俄歇化学效应研究了Ti/SiO2的界面还原反应。结果表明,在薄膜样品的制备过程中,金属Ti可以和SiO2发生界面还原反应,形成TiSi和TiO2物种。薄膜样品在RTA处理时,Ti和SiO2的界面反应大幅度地增加,尤其是当RTA温度高于700℃时,界面反应增加得更快。700℃温度可能是Ti和SiO2界面反应的活化温度。随着反应时间的增加,界面反应也相应增加。当Ti层的厚度增加时,也有利于Ti和SiO2的界面反应。 展开更多
关键词 界面反应 俄歇电子能谱 化学效应 氧化硅
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Ti/ZrN_2/Al薄膜界面扩散反应的研究 被引量:1
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作者 朱永法 殷木省 +3 位作者 王莉 姚文清 嵇世山 曹立礼 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期36-39,共4页
利用直流磁控反应溅射法在 Al基底上制备了 Zr N2 及 Ti多层薄膜。利用扫描俄歇微探针的深度剖析和线形分析技术研究了真空热处理对 Ti/ Zr N2 / Al样品膜层之间的界面化学状态和相互作用的影响。研究结果表明 ,真空热处理使 Ti/ Zr N2 ... 利用直流磁控反应溅射法在 Al基底上制备了 Zr N2 及 Ti多层薄膜。利用扫描俄歇微探针的深度剖析和线形分析技术研究了真空热处理对 Ti/ Zr N2 / Al样品膜层之间的界面化学状态和相互作用的影响。研究结果表明 ,真空热处理使 Ti/ Zr N2 / Al薄膜界面上发生了明显的界面扩散和化学反应 ,生成了 Ti Nx 物种 。 展开更多
关键词 界面扩散 铝基底 俄歇电子能谱 线形分析 氮化锆薄膜 钛镀层 磁控溅射
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