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悬臂式RF MEMS开关的设计与研制 被引量:9
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作者 郭方敏 赖宗声 +7 位作者 朱自强 贾铭 初建朋 范忠 朱荣锦 戈肖鸿 杨根庆 陆卫 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1190-1195,共6页
介绍了一种制作在低阻硅 (3~ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开关处于“关断”态 ,其隔离度小于- 35 d B(2 0~ 4 0 GHz... 介绍了一种制作在低阻硅 (3~ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开关处于“关断”态 ,其隔离度小于- 35 d B(2 0~ 4 0 GHz) ;阈值电压为 13V ;开关处于“开通”态 ,插入损耗为 4~ 7d B(1~ 10 GHz) ,反射损耗为 - 15 d B.另外 ,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系 ,并应用 ANSYS软件对开关进行了电学。 展开更多
关键词 悬臂梁 插入损耗 隔离度 ANSYS软件 阈值电压
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多孔硅的干燥方法 被引量:6
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作者 虞献文 朱荣锦 +2 位作者 朱自强 应桃开 李爱珍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期663-667,共5页
研究了多孔硅的阴极还原表面处理技术 ,通过该技术获得了表面平滑度良好、稳定度高、抗压强度高和耐高温性能好且在空气中可以长期干燥保存的多孔硅样品 .在其表面上可以进行光刻、镀金等工艺 ,因此 。
关键词 多孔硅 阴极还原 表面处理技术
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MEMS悬臂式开关的失效分析 被引量:4
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作者 徐欣 郭方敏 +7 位作者 葛羽屏 李成诗 于绍欣 朱荣锦 赖宗声 朱自强 王跃林 陆卫 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第3期492-496,共5页
介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法... 介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近 1 0 5,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。 展开更多
关键词 寿命 悬臂接触式开关 驱动电压 失效 ANSYS
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光电传感器读出电路的参数可调控制研究 被引量:4
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作者 詹国钟 郭方敏 +1 位作者 黄静 朱荣锦 《红外技术》 CSCD 北大核心 2008年第8期485-488,共4页
基于电容反馈互导放大器和相关双采样结构的读出电路原理,分析了电路中控制信号的时序关系,设计了参数可调的时序控制电路。应用Cadence进行电路仿真和版图设计优化,通过流片、测试,证明参数可调的时序控制电路能有效调节参数,易于控制... 基于电容反馈互导放大器和相关双采样结构的读出电路原理,分析了电路中控制信号的时序关系,设计了参数可调的时序控制电路。应用Cadence进行电路仿真和版图设计优化,通过流片、测试,证明参数可调的时序控制电路能有效调节参数,易于控制,适用于具有该读出结构的读出电路。 展开更多
关键词 电容反馈互导放大器 相关双采样 光电探测器 读出电路 时序控制电路
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相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制 被引量:1
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作者 郭方敏 朱守正 +7 位作者 魏华征 郑莹 朱荣锦 忻佩胜 朱自强 赖宗声 杨根庆 陆卫 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期49-55,共7页
MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布... MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。 展开更多
关键词 MEMS 毫米波相移器 相位连续可调 传输损耗 插入损耗 启动电压
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偏置电压对射频/微波MEMS电容开关寿命的影响 被引量:1
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作者 龙永福 石艳玲 +4 位作者 赖宗声 朱自强 朱荣锦 忻佩胜 李炜 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期30-33,37,共5页
 理论分析了影响射频/微波MEMS电容开关寿命的因素:介质内的电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度。用三种不同的偏置电压,对介质内电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度进行了数值分析和比较。提出了在脉冲电压作用下,可得到可动薄...  理论分析了影响射频/微波MEMS电容开关寿命的因素:介质内的电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度。用三种不同的偏置电压,对介质内电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度进行了数值分析和比较。提出了在脉冲电压作用下,可得到可动薄膜对介质膜最小的冲击速度和介质内的最小电场强度,从而极大地提高MEMS电容开关运行的可靠性和寿命。实验验证了上述结论。 展开更多
关键词 偏置电压 射频/微波电路 MEMS电容开关 寿命 电场强度 冲击速度
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压控式毫米波MEMS移相器的可动薄膜 被引量:1
7
作者 郭方敏 朱自强 +7 位作者 赖宗声 朱守正 朱荣锦 忻佩胜 范忠 贾铭 程知群 杨根庆 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期631-636,共6页
介绍了采用金、铝硅合金等金属分别用作压控式 RF MEMS开关阵列——移相器的可动薄膜 ,实验表明金的延展性比较好 ,弹性比铝硅合金稍差 ,启动电压较高 .相比较含硅 4%的轻质量铝硅合金具有较低的启动电压( 5 V ) ,用该弹性膜制备的 2 1... 介绍了采用金、铝硅合金等金属分别用作压控式 RF MEMS开关阵列——移相器的可动薄膜 ,实验表明金的延展性比较好 ,弹性比铝硅合金稍差 ,启动电压较高 .相比较含硅 4%的轻质量铝硅合金具有较低的启动电压( 5 V ) ,用该弹性膜制备的 2 1桥压控式开关阵列——毫米波移相器的下拉电压为 2 0 V时 ,相移量可达到 3 70°/3 .5 mm以上 ( 3 5 GHz) ,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量 ,其传输损耗为 5 5~ 90°/ d B。 展开更多
关键词 RF MEMS开关 移相器 下拉电压 铝硅合金
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Si/SiO_2系统电荷对高阻硅基CPW传输损耗的影响 被引量:1
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作者 徐钰 石艳玲 +5 位作者 沈迪 胡红梅 忻佩胜 朱荣锦 刘赟 蒋菱 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期221-225,共5页
通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。... 通过高频C-V测试得到实验制备的共平面波导(CPW)下方的Si/SiO2系统电荷主要表现为正电荷,其密度约为4.8×1010/cm2。三种不同衬底上50Ω共平面波导分别为直接制备于高阻硅上、高阻硅氧化层上、去除信号线与地线间的高阻硅氧化层上。20GHz时,测得上述三种CPW的微波传输损耗分别为-0.88dB、-2.50dB及-1.06dB,因此去除线间氧化层使得传输线损耗降低了1.44dB。此外还测试了高阻硅氧化层和除去线间氧化层的高阻硅氧化层上的两种CPW的传输损耗随外加偏压的变化。 展开更多
关键词 共平面波导 硅/二氧化硅系统电荷 高阻硅衬底
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新型高速CMOS逻辑电路系列74AC之研究
9
作者 许康 刘远华 +3 位作者 朱荣锦 周炘祥 郑养鉥 徐元森 《应用科学学报》 CAS CSCD 1990年第1期47-54,共8页
采用最新CMOS VLSI技术研制成了新一代高速逻辑电路——2μm硅栅CMOS逻辑74AC系列,其运行速度、最高频率和负载能力均达到甚至超过先进的第三代TTL系列74ALS,而仍保持CMOS IC的基本优点.本文介绍其设计、制造和主要特性,分析、讨论它同... 采用最新CMOS VLSI技术研制成了新一代高速逻辑电路——2μm硅栅CMOS逻辑74AC系列,其运行速度、最高频率和负载能力均达到甚至超过先进的第三代TTL系列74ALS,而仍保持CMOS IC的基本优点.本文介绍其设计、制造和主要特性,分析、讨论它同其它电路系列,特别是和74ALS的异同及其发展前景.用它采取代74ALS,不仅可大大降低系统的总功耗,且将开辟用现今的74ALS、LS或74HC无法实现的新的应用领域.它的发展潜力还相当大. 展开更多
关键词 逻辑电路 CMOS 74AC
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短沟道CMOS器件在液氮温区的特性比较与分析
10
作者 何晓阳 朱荣锦 许康 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期14-17,13,共5页
本文主要对两种不同的常规工艺条件下制备的短沟道CMOS器件在室温和液氮温区的场效应迁移率、跨导、亚阈和高频特性进行比较和分析,结果发现HCMOSⅡ型PMOS管在77K下的工作特性比HCMOSⅠ型的好,而相应的NMOS... 本文主要对两种不同的常规工艺条件下制备的短沟道CMOS器件在室温和液氮温区的场效应迁移率、跨导、亚阈和高频特性进行比较和分析,结果发现HCMOSⅡ型PMOS管在77K下的工作特性比HCMOSⅠ型的好,而相应的NMOS管特性却变得很差,这主要是由于电离杂质散射增强的缘故。为此我们提出一种既适于室温工作又能在液氮温区充分发挥优点的新型短沟道CMOS器件。 展开更多
关键词 CMOS器件 液氮区 特性 分析
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2微米先进CMOS逻辑电路74AC系列特性研究
11
作者 许康 朱荣锦 徐元森 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1989年第6期1-6,共6页
本文着重介绍新型硅栅CMOS逻辑电路74AC系列的主要特性及其与其它电路系列,特別是第三代双极型TTL 74ALS的比较。该电路系列兼具CMOS IC低功耗、高抗干扰、宽电源电压和温度范围以及双极型高速、强负载能力等特点,其优值更优于现今的其... 本文着重介绍新型硅栅CMOS逻辑电路74AC系列的主要特性及其与其它电路系列,特別是第三代双极型TTL 74ALS的比较。该电路系列兼具CMOS IC低功耗、高抗干扰、宽电源电压和温度范围以及双极型高速、强负载能力等特点,其优值更优于现今的其它诸电路系列。可望用它来取代74ALS。 展开更多
关键词 CMOS 逻辑电路 74AC系列
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在宏观金融决策的指导下管好用活农村信贷资金的一些意见
12
作者 詹曙生 陈国掦 朱荣錦 《南方金融》 1984年第7期39-42,共4页
国务院关于中国人民银行专门行使中央银行职能的决定,是根据近几年来我国经济体制的改革和国民收入分配结构的变化而作出的具有长远战略意义的经济决策,标志着我国的金融事业进入了一个新的发展阶段。农业银行及其领导下的农村信用合作... 国务院关于中国人民银行专门行使中央银行职能的决定,是根据近几年来我国经济体制的改革和国民收入分配结构的变化而作出的具有长远战略意义的经济决策,标志着我国的金融事业进入了一个新的发展阶段。农业银行及其领导下的农村信用合作社是社会主义金融体系的重要组成部分。作为专业银行,一方面要在人民银行宏观决策的指导下,依据国家统一的法律、法令、政策、计划进行工作,另一方面又要适应农村经济体制变革的新形势,作为一种独立行使职能的经济实体,在规定的分工范围内。 展开更多
关键词 农村信贷资金 管好用活 专业银行 金融决策 中央银行 信用社 重要组成部分 农业银行 农村信用合作社 新形势
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一种新颖实用的触摸式调光器
13
作者 高勇进 陈益清 朱荣锦 《集成电路应用》 1993年第2期9-12,共4页
前言随着科学技术的发展和生活水平的日益提高,人们对照明灯光的控制要求也越来越高。近年来,国外陆续推出多种新颖实用的调光器,有单纯触摸通断式的,也有触摸调光式的,又分为有级调光和无级调光,对市场很有吸引力。最近,我们也研制成... 前言随着科学技术的发展和生活水平的日益提高,人们对照明灯光的控制要求也越来越高。近年来,国外陆续推出多种新颖实用的调光器,有单纯触摸通断式的,也有触摸调光式的,又分为有级调光和无级调光,对市场很有吸引力。最近,我们也研制成功一种连续无级的触摸式调光开关专用集成电路,可与主要由一个双向可控硅组成的外围电路一起,作成一个调光器,对白炽灯进行调光和开关的触摸式控制。在研制电路过程中,我们也对调光器的实用电路进行了研究和改进,使其更实用、合理、可靠。 展开更多
关键词 触摸式调光器 专用集成电路
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感应同步脉冲调宽型数显表专用集成电路:功能处理器和函数发生器
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作者 朱荣锦 魏淑琴 《科技通讯(上海)》 CSCD 1993年第1期57-64,共8页
关键词 直线感应 同步型数显表 集成电路
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AN ADVANCED CMOS LOGIC SERIES 74AC
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作者 徐元森 许康 +4 位作者 刘远华 朱荣锦 周炘祥 钱学俭 游守湘 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1988年第4期342-346,共5页
The advanced CMOS logic 74AC is a new generation of the high speed CMOS logic series developed on the basis of advanced technologies of today’s VLSI circuits, purposing to replace the 3 rd generation bipolar TTL——t... The advanced CMOS logic 74AC is a new generation of the high speed CMOS logic series developed on the basis of advanced technologies of today’s VLSI circuits, purposing to replace the 3 rd generation bipolar TTL——the advanced low power Schottky logic 74 ALS series. Because it possesses both the low power 展开更多
关键词 SCHOTTKY BIPOLAR DISSIPATION replace TODAY LOGIC MANUFACTURE circuits NAND latter
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