电子级氯化氢纯化研究进展

电子级氯化氢广泛用于半导体行业中的单晶硅气相抛光和外延基座腐蚀工序。随着芯片制程的不断减小,对氯化氢纯度的要求越来越高,给电子级氯化氢的纯化工艺提出了新的挑战。综述了现阶段电子级氯化氢的纯化技术:包括冷凝、吸收、精馏、吸附、化学转化、膜分离和精密过滤,联用多种纯化技术是制备电子级氯化氢产品的首要选择。

基于球心点互斥的球目标识别方法

提出了一种基于球心点互斥的球目标识别方法,用于从大场景三维点云中自动识别未知个数和未知半径的球目标。首先,根据专门设计的球面点响应函数滤除大量非球面点,并根据法向与曲率将剩余的球面点映射到球心位置;然后,构建用以描述局部密度渐变规律的球心点互斥树,通过剪枝操作将其分裂成若干子树,其分别对应不同球目标的球心点聚类;最后,根据球心点局部密度和球面点覆盖率估计值确认真实存在的球目标。实验结果表明:基于球心点互斥的球目标识别方法能够有效解决大场景三维点云中球目标的识别问题,即使是存在严重遮挡的情况下,暴露表面不足整个球面6%的球目标也都能够被识别出来。

一氧化氮的性质与制备方法

一氧化氮作为一种基础材料,在各个领域中发挥着重要作用。目前,一氧化氮研究的迅速发展使之成为活跃的科学前沿研究内容之一。结合国内外文献资料,着重介绍了一氧化氮相关的性质及其制备方法。

球谐算子驱动三维激光SLAM闭环检测

闭环检测是三维激光SLAM实现自主定位和导航的核心环节.针对目前闭环检测存在高复杂度及低准确度的难题,提出具有旋转不变性的球谐算子(spherical harmonic energy,SHE)与绕Z轴旋转不变的球谐算子(spherical harmonic Z-energy,SHZE);结合SHE和SHZE的优势,通过两步搜索提出一种三维激光SLAM闭环检测算法SH-LCD,在提高信息丰富度的同时降低了闭环检测计算的复杂度,具有较强的特征提取能力与普适性.在KITTI,NCLT和Complex Urban这3个公共基准数据集上的闭环检测实验结果表明,SH-LCD算法的闭环检测精度优于最新的闭环检测方法,包括Scan Context,M2DP,OverlapNet等;此外,该算法闭环检测效率高,计算算子与算子匹配消耗的时间仅需约12.0 ms和2.3 ms,满足SLAM实时性的要求.

基于三维点云的机械加工精度自动检测方法

本文提出了一种基于三维点云的零件精度自动检测方法,对传统ICP(迭代最近邻点)方法进行改进,将基于配准误差的点对权值添加到坐标转换参数和总体残差的迭代计算过程中,克服了误差点对配准的影响;根据误差分布假设检验原理设计加工精度快速评价方法,帮助质检人员快速识别问题零件,提高检测效率和精度;通过试验验证了改进ICP算法对局部误差点云配准的鲁棒性以及加工精度评价方法的准确性。

基于法向偏差的隧道点云去噪算法

针对隧道类似圆柱的形态特征以及三维点云法向对噪声的敏感性,设计一种剔除由通行车辆和隧道内壁悬挂物所造成噪声点的方法。该方法利用点云的大量法向量鲁棒地估计出精确的隧道轴向,并根据点云法向与隧道轴向的偏差识别出可靠的隧道表面点,然后参照可靠点完成噪声点的进一步确认。利用仿真数据和真实的高速公路隧道扫描点云实验结果证明该方法的有效性和精确性。

一种改进的形态学LiDAR点云滤波算法

机载激光雷达技术是获取地球空间信息的重要手段,将非地面点去除的滤波过程一直是研究的重点。介绍了传统渐进形态学滤波,分析了其不足,并提出了一种改进的形态学LiDAR点云滤波算法。该算法提出了一种迭代终止判断标准,避免了最大窗口尺寸阈值的设置工作,并通过坡度阈值进一步区分同类网格中点的类别。实验表明,该算法不必对不同的研究区域设置不同的窗口阈值,具有一定的自适应性,同时减小了第Ⅰ类误差和总误差的大小。

高纯八氟环丁烷的制备与纯化

在常温下,八氟环丁烷是一种无毒气体,具有较低的温室效应指数和适宜比例的碳/氟比,被广泛用作制冷剂以及半导体芯片制造工艺中的蚀刻剂和清洗剂。随着低纳米制程芯片的飞速发展,对八氟环丁烷纯度的要求越来越严苛,给高纯八氟环丁烷的纯化工艺带来了极大挑战。综述了现阶段八氟环丁烷的制备方法和纯化方法:(1)工业上广泛用于合成八氟环丁烷的方法是四氟乙烯二聚法;(2)八氟环丁烷的纯化方法包括精馏、吸附、化学转化和膜分离。通过单一的纯化方法很难得到电子级八氟环丁烷,需要多种纯化技术联合使用才能得到纯度>5N级的八氟环丁烷。

三氟化硼纯化工艺综述

三氟化硼作为一种常用的气体在半导体工业中发挥着重要的作用。高纯度的三氟化硼(>4N,>99.99%)可用于高新技术行业因而具有高的附加值、重要的研究意义和工业价值。对三氟化硼工艺包括冷阱法、吸附法、化学转化法及精馏法等进行了总结。

三氟化硼制备及纯化进展

三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯。

Safe Delivery Resource(SDS)技术进展

Safe Delivery Resource(SDS)是针对大规模集成电路制造工艺所用砷烷、磷烷、乙硼烷、三氟化硼等电子特种气体而开发的一种微负压储运和应用技术。SDS技术的出现克服了传统高压存储电子特种气体存在泄漏风险的难题。SDS技术所用吸附剂从微孔沸石分子筛到球形树脂基活性炭再到单块碳,每一次吸附材料的转变都显著提升单位体积气体介质的存储容量。目前,第四代SDS技术电子特种气体容量在满足长时间、高通量应用的同时进一步完善了其安全性。

利用球目标的多测站点云自动配准

提出了一种基于球心点互斥的球目标识别方法,并将其应用于多测站点云的自动配准。首先,针对每一个测站点云,根据法向和曲率推算所有可能出现球目标的球心点位置;然后,设计了一种仅利用球心点之间距离和局部密度的球心点互斥算法,用来探测和定位杂乱场景中的球目标,并利用球面覆盖率指标评价球目标的可靠性;最后,根据成功匹配的可靠球目标整体配准各个测站。针对由多种几何体搭建的实验场景从4个不同测站采集三维激光扫描点云,单点定位误差大于3mm。实验结果表明,在未知球目标数量、半径且存在遮挡的情况下,能够准确识别出可靠的球目标,并利用同名目标完成不同测站间的精确配准,配准后球心残差小于1mm。

回忆国闻社

上海国闻通信社创立于1921年9月.次年4月和11月在汉口、北京两地先后增设了分社.在这三个分机构中除汉社因环境不适于经营,不久便停歇外,京沪两社都存在了十年以上.在这一时期内,它对于当地报业起过一些推动作用,曾受到过相当的重视,在国内私营的新闻通信社中,它也是历史比较悠久的一个.国闻社在开办初,实际并不是私人的企业组织,而是有政治的背景的.当时正值直系军阀在北方得势,掌握着政权;南方的对立党系同时正酝酿着新的反直系政治和军事上的斗争.上海为全国报纸的重心所在。