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以十八烷胺疏水改性的HKUST-1为固定相的微型气相色谱柱
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作者 张友为 金言 +4 位作者 周海梅 郑丹 冯飞 李昕欣 赵斌 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第11期961-967,共7页
金属有机骨架(MOF)材料被广泛用作微型气相色谱柱(μGCC)固定相,对轻烃气体有着良好的分离效果,但是其有亲水特性,吸水后结构易崩塌,导致μGCC的分离性能降低。利用铜基金属有机骨架HKUST-1上的配位不饱和金属位点与十八烷胺通过配位作... 金属有机骨架(MOF)材料被广泛用作微型气相色谱柱(μGCC)固定相,对轻烃气体有着良好的分离效果,但是其有亲水特性,吸水后结构易崩塌,导致μGCC的分离性能降低。利用铜基金属有机骨架HKUST-1上的配位不饱和金属位点与十八烷胺通过配位作用反应生成一种疏水复合材料OA-HKUST-1,长烷基链的十八烷胺表面能较低,提高了HKUST-1的疏水性和稳定性。将OA-HKUST-1用作μGCC固定相,分离结果表明,使用OA-HKUST-1固定相的μGCC对轻烃混合气体(甲烷、乙烷、丙烷、正丁烷)实现完全分离,其中较难分离的甲烷和乙烷分离度达到5.993。通过6个月的定期测试,甲烷、乙烷、丙烷、正丁烷各组分保留因子的相对标准偏差均小于2%,验证了良好的疏水稳定性。 展开更多
关键词 微型气相色谱柱 金属有机骨架(MOF)材料 固定相 疏水稳定性 轻烃气体
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KOH溶液无掩膜腐蚀加工硅对称梁技术研究 被引量:4
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作者 李昕欣 鲍敏杭 沈绍群 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期470-475,共6页
本文介绍了利用KOH腐蚀液对硅台阶、台面等三维结构进行无掩膜腐蚀的新技术.应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械结构,从而使腐蚀工艺的灵活性大为增加.通过分析与计算,给出了无掩膜腐蚀过程中三维结构... 本文介绍了利用KOH腐蚀液对硅台阶、台面等三维结构进行无掩膜腐蚀的新技术.应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械结构,从而使腐蚀工艺的灵活性大为增加.通过分析与计算,给出了无掩膜腐蚀过程中三维结构的变化规律,并通过大量实验证实了这些规律.利用该工艺已成功地制作了一种微机械硅电容加速度传感器用的对称梁-质量块结构.这种结构的特点是梁的中平面与质量块质心位于同一水平面上,从而能消除相关的横向寄生灵敏度效应. 展开更多
关键词 KOH溶液 无掩膜腐蚀技术 硅对称梁 腐蚀工艺
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形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术 被引量:2
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作者 李昕欣 杨恒 +1 位作者 沈绍群 鲍敏杭 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第12期946-950,共5页
本文介绍了一种制作硅多层微结构的体微机械加工新技术.基于KOH溶液的无掩模腐蚀特性,仅用一层掩模进行一次从有掩模到无掩模的连续腐蚀工序,可在(100)硅片上制作各种以(311)晶面为侧面且进棱沿(110)晶向的多层次立体结构,原... 本文介绍了一种制作硅多层微结构的体微机械加工新技术.基于KOH溶液的无掩模腐蚀特性,仅用一层掩模进行一次从有掩模到无掩模的连续腐蚀工序,可在(100)硅片上制作各种以(311)晶面为侧面且进棱沿(110)晶向的多层次立体结构,原则上层面数不受限制,各个层面的位置和深度都可由一块掩模的设计和相应的腐蚀深度确定,该技术突破了传统各向异性腐蚀的局限性,使体微机械技术的加工能力大为扩展,可望在微电子机械系统的结构制作中广泛应用. 展开更多
关键词 微机械结构 掩膜-无掩膜 腐蚀工艺 微电子
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高精度硅电容压力传感器的研究 被引量:1
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作者 李昕欣 张纯棣 +2 位作者 庞世信 鲍敏杭 杨恒 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1996年第10期7-10,共4页
本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器件固有的非线性,使传感器的精度大大提高。
关键词 电容 压力传感器 传感器 硅电容
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无掩模腐蚀工艺对硅电容力敏结构的改进 被引量:3
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作者 李昕欣 鲍敏杭 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期1-6,共6页
提出并利用一种新颖的无掩模腐蚀技术,针对以往硅体微机械加工的电容力敏器件特性的缺陷,从结构入手加以改进.分别制作了加速度对称梁-质量块结构和单边推挽压力结构,并取得了预期的结果.文中给出了理论分析和实验验证.
关键词 力敏传感器 无掩蔽腐蚀工艺 硅电容式 传感器
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从MEMS到NEMS进程中的技术思考 被引量:2
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作者 李昕欣 夏晓媛 张志祥 《微纳电子技术》 CAS 2008年第1期1-5,共5页
回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机... 回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机电器件从微到纳的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微电子机械系统 纳电子机械系统 nm尺度效应
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采用快速微分输出的氯气传感器 被引量:2
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作者 李昕欣 郎海宁 庞世信 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期25-28,共4页
介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺,使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究,提出以微分输出信号作为检测信号的方式,从而实现了在3秒钟内响应输出的... 介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺,使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究,提出以微分输出信号作为检测信号的方式,从而实现了在3秒钟内响应输出的高敏感速度,并使器件实现频繁的重复测量而重复性误差很小。 展开更多
关键词 氯气 传感器 微分输出
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二极管交流桥式硅电容压力传感器接口电路的研究 被引量:1
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作者 李昕欣 朱海军 杨恒 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1994年第4期10-13,共4页
通过对多种电容传感器接口电路的列举和特性的比较,选取4个二极管交流桥式接口形式。分别通过解析计算及利用SPICE程序进行计算机模拟,对电路的特性进行了详细的分析。最后介绍了利用Diode-Quad电路进行传感器接口电路构成的实验。
关键词 硅电容 压力传感器 接口电路
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直接淀积式Ge—Au薄膜应变计的工艺研究 被引量:1
9
作者 李昕欣 陈跃 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1992年第3期28-30,共3页
直淀式Ge—Au薄膜应变计全部采用平面工艺,应变电阻和内引线全部薄膜化。通过对Ge、Au双源淀积应变电阻工艺的研究,使得灵敏系数K达到25以上,电阻温度系数α低于±2×10^(-4)/℃。同时消除了应变胶的蠕变效应,提高了传感器的精... 直淀式Ge—Au薄膜应变计全部采用平面工艺,应变电阻和内引线全部薄膜化。通过对Ge、Au双源淀积应变电阻工艺的研究,使得灵敏系数K达到25以上,电阻温度系数α低于±2×10^(-4)/℃。同时消除了应变胶的蠕变效应,提高了传感器的精度和可靠性。 展开更多
关键词 应变计 薄膜 工艺 无胶应用
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我国大学章程历史演进与内涵分析 被引量:13
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作者 李昕欣 《辽宁教育研究》 北大核心 2006年第11期36-37,共2页
从大学章程的发展脉络上看,大学章程的存在并不是一个新鲜事物,有自身的发展进程,明确大学章程的内涵应以大学章程的发展进程为起点,本文将立足于此,分析大学章程的内涵。
关键词 大学章程 历史演进 内涵
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高等职业教育与普通高等教育的沟通与衔接 被引量:9
11
作者 李昕欣 《辽宁教育行政学院学报》 2004年第5期39-39,41,共2页
高等职业教育与普通高等教育是否能沟通与衔接好是不容忽视的问题。几十年来,尤其是20世纪90年代以来,初等、中等、高等职业教育的衔接问题研究日渐受到重视,打开了从中等职业教育招生的渠道,建立了普通高等教育与高等职业教育相互沟通... 高等职业教育与普通高等教育是否能沟通与衔接好是不容忽视的问题。几十年来,尤其是20世纪90年代以来,初等、中等、高等职业教育的衔接问题研究日渐受到重视,打开了从中等职业教育招生的渠道,建立了普通高等教育与高等职业教育相互沟通和衔接的通道等。而高等职业教育与普通高等教育相互沟通的研究却仍显薄弱,二者的关系还需深入研究。 展开更多
关键词 高等职业教育 普通高等教育 教育合作 沟通机制
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我国公立大学章程的制定原则与内容 被引量:2
12
作者 李昕欣 《辽宁教育研究》 北大核心 2006年第5期45-47,共3页
目前,我国公立大学章程在制定与实施工作中,存在很多问题。要制定实施好章程必须明确大学章程与教育法律法规、教育政策的关系,明确制定实施应依据的原则、应该包含的内容等。本文立足于这些问题进行探讨。
关键词 公立大学 章程 制定原则 中国 教育政策 教育法律法规
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与综合职业素质培养配套的高校团总支工作开展路径探索 被引量:2
13
作者 李昕欣 赵晓毅 胡景明 《河北工程技术高等专科学校学报》 2012年第2期80-81,共2页
本文分析了高校团总支工作在大学生综合职业素质培养中的优势和作用,并结合商务英语专业实例对配合综合职业素质培养的高校团总支工作开展路径进行了探讨。
关键词 职业素质 团总支 路径
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硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用
14
作者 李昕欣 杨恒 +1 位作者 鲍敏杭 沈绍群 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期6-9,45,共5页
提出一种新型硅无掩模腐蚀技术。利用设计一块掩模和进行一次常规有掩模腐蚀之后的无掩模腐蚀工艺,可制作多层次的硅微机械结构,结构层数原则上不受限制,各层次的位置和相应深度方便可控。基于该技术,给出了制作的几例多层力学量传... 提出一种新型硅无掩模腐蚀技术。利用设计一块掩模和进行一次常规有掩模腐蚀之后的无掩模腐蚀工艺,可制作多层次的硅微机械结构,结构层数原则上不受限制,各层次的位置和相应深度方便可控。基于该技术,给出了制作的几例多层力学量传感器结构结果。该技术将可望广泛应用于半导体微机械传感器和执行器中。 展开更多
关键词 各向异性腐蚀 微结构 力敏传感器
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无掩模腐蚀下的凸角削角及补偿研究
15
作者 李昕欣 杨恒 +1 位作者 沈绍群 鲍敏杭 《传感技术学报》 CAS CSCD 1998年第3期1-6,共6页
在使用无掩模腐蚀制作硅微机械结构时,其结构凸角的削角特性有别于常规有掩模腐蚀时的情况.本文通过分析和实验,研究了该情况下凸角削角尺寸的变化规律和特点,并给出了对其进行补偿的原则和方法.
关键词 各向异性腐蚀 削角补偿 微机械结构
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频率式硅电容压力传感器的研究
16
作者 李昕欣 鲍敏杭 沈绍群 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期8-11,共4页
本文对频率输出的硅微机械结构电容压力传感器进行了研究。利用有限元程序和解析方式对岛-膜硅电容膜片进行了分析。采用硅体型微机械加工技术和集成电路兼容工艺完成了压力元件的制作。对易于CMOS集成的两种新颖的接口电路进行了... 本文对频率输出的硅微机械结构电容压力传感器进行了研究。利用有限元程序和解析方式对岛-膜硅电容膜片进行了分析。采用硅体型微机械加工技术和集成电路兼容工艺完成了压力元件的制作。对易于CMOS集成的两种新颖的接口电路进行了分析和设计,提高了传感器的性能。 展开更多
关键词 电容 压力传感器 制造工艺
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对称岛膜结构线性硅电容压力传感器设计
17
作者 李昕欣 陈宏 鲍敏杭 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1993年第4期1-3,共3页
本文介绍了一种新型的方岛膜压力敏感电容结构,结合适当的接口技术可实现良好的线性化输出。
关键词 电容 压力传感器 岛膜结构
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人力资本参与企业剩余收益分配的研究
18
作者 李昕欣 李珉 李天天 《中国市场》 2010年第52期38-39,共2页
当今知识经济环境下,人力资本在企业核心竞争力的形成过程中起着越来越大的作用,企业的发展也越来越依赖于其所拥有的人力资本,这就必然导致要求在企业中确立人力资本的产权地位,使人力资本的所有者在更大程度上和更广的范围内参与企业... 当今知识经济环境下,人力资本在企业核心竞争力的形成过程中起着越来越大的作用,企业的发展也越来越依赖于其所拥有的人力资本,这就必然导致要求在企业中确立人力资本的产权地位,使人力资本的所有者在更大程度上和更广的范围内参与企业剩余收益的分配。本文介绍了人力资本的概念和特征,主要研究了当今我国人力资本参与企业剩余收益的主要形式,并对每种形式作了相应的分析与评价。 展开更多
关键词 人力资本 剩余收益分配 股票期权年薪制 核心竞争力
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网络技术在高校辅导员工作中的运用分析 被引量:1
19
作者 李昕欣 《青年与社会》 2013年第12期192-192,共1页
众所周知,高校辅导员自身队伍若想实现更长远的发展以及专业化网络技术最好的办法就是大力建设网络技术组织。教书育人不同于一般的生产企业吧,他所面对的对象是学生,是人格等都在不断健全过程中的青少年学生,他们的成长很容易受到... 众所周知,高校辅导员自身队伍若想实现更长远的发展以及专业化网络技术最好的办法就是大力建设网络技术组织。教书育人不同于一般的生产企业吧,他所面对的对象是学生,是人格等都在不断健全过程中的青少年学生,他们的成长很容易受到周围环境的影响,而且,对这些学生的教育指导工作也总是会随着实惠环境、经济文化的发展而呈现出不一样的发展倾向和风采。这就使得很多高校的管理人员要具备很高的素质,同时具备很强的工作能力和适应能力,只有不断进行学习,才能够真正做到为学生做好服务,做好学生健康成长的带路人。 展开更多
关键词 网络技术 辅导员 网络化
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人工智能辅助测量心肌应变的研究进展
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作者 李昕欣 边懿泽 +1 位作者 赵航 姜萌 《上海交通大学学报(医学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期773-778,共6页
心肌应变是反映应力作用下整体或局部心肌形变程度的无量纲参数,可以量化检测心肌损伤,指导心脏疾病的早期诊断、干预与预后评估。心脏超声、心脏CT、心脏磁共振均可被用来进行应变成像与分析,其中二维斑点追踪超声心动图是当下应用最... 心肌应变是反映应力作用下整体或局部心肌形变程度的无量纲参数,可以量化检测心肌损伤,指导心脏疾病的早期诊断、干预与预后评估。心脏超声、心脏CT、心脏磁共振均可被用来进行应变成像与分析,其中二维斑点追踪超声心动图是当下应用最为广泛的心肌应变检测手段。但由于人工分析心肌应变存在观察者间差异且所使用的成像系统和分析软件各有不同,测得的应变值在不同供应商中一致性和可重复性欠佳,限制了心肌应变参数的临床应用。而人工智能可以通过自动应变计算和图像质量评估等方式在一定程度上克服应变测量的缺陷,具备广阔的发展前景。该文重点介绍人工智能在超声、磁共振等影像学手段中辅助测量心肌应变的研究进展,及其在疾病诊断与患者预后评估中的应用,希望助力于提高应变测量的效率和一致性,推动心肌应变常规应用于临床,在心肌损伤及心功能评估中发挥增量作用。然而,目前大部分研究涉及的样本量较小,并且缺乏外部验证,其结果的可靠性还需进一步证实。 展开更多
关键词 心肌应变 人工智能 心肌损伤
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