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第三代半导体氮化镓材料单晶制备技术及应用前景
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作者 朱曦 黎晓华 +9 位作者 贺威 李煜 朱德亮 曹培江 柳文军 姚蕾 韩舜 曾玉祥 吕有明 刘新科 《广东化工》 CAS 2024年第4期49-51,75,共4页
随着科技的发展,半导体材料与人们的生活息息相关。氮化镓作为第三代半导体材料的代表,具有宽禁带、介电系数小、高电子迁移率、高热导率和耐辐射的优点,广泛用于光电器件、微电子领域中。本文详细阐述了氮化镓一维纳米线、单晶衬底的... 随着科技的发展,半导体材料与人们的生活息息相关。氮化镓作为第三代半导体材料的代表,具有宽禁带、介电系数小、高电子迁移率、高热导率和耐辐射的优点,广泛用于光电器件、微电子领域中。本文详细阐述了氮化镓一维纳米线、单晶衬底的制备方法的原理及优缺点(如VLS法、HVPE法、氨热法等)、简述了在光电、射频、电子电力领域中的应用,并展望了未来的发展前景。 展开更多
关键词 氮化镓 一维纳米线 单晶衬底 光电器件 微电子
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聚氯乙烯树脂中杂质的产生原因及处理措施
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作者 赵乾祖 柳文军 +3 位作者 周建华 赵雪婷 吴永德 高立宏 《聚氯乙烯》 CAS 2024年第8期1-2,共2页
探讨了PVC树脂中杂质产生的主要原因。针对来自于原料、聚合工序、汽提工序、干燥工序的杂质提出了有针对性的管控措施。管控后,SG5型PVC树脂的杂质粒子数显著下降,提高了产品质量和市场竞争力。
关键词 聚氯乙烯 杂质粒子数 原料 聚合 汽提 干燥 管控措施
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108 m^(3)聚合釜化学清洗及效果检验
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作者 苏峰 李学文 +1 位作者 朱睿杰 柳文军 《聚氯乙烯》 CAS 2024年第4期36-41,共6页
介绍了金川集团化工新材料有限责任公司108 m^(3)聚合釜外夹套、内冷管和釜顶冷凝器等换热部件的化学清洗过程及清洗效果。
关键词 PVC 聚合釜 结垢 换热效率 化学清洗 清洗效果
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不同杀青干燥处理对兰州百合质量的影响
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作者 毛耀杰 柳文军 +4 位作者 晋小军 王霞 刘鑫钰 张迎芳 张本义 《热带农业工程》 2024年第1期107-113,共7页
以不同杀青干燥处理后兰州百合的外观品质和主要质量指标为依据,研究适宜的杀青干燥方式。分别采用沸水、110、120℃杀青处理后60℃烘干,冷浸法提取浸出物,HPLC测定王百合苷A含量,紫外分光光度法测定百合多糖、总黄酮含量,TOPSIS法进行... 以不同杀青干燥处理后兰州百合的外观品质和主要质量指标为依据,研究适宜的杀青干燥方式。分别采用沸水、110、120℃杀青处理后60℃烘干,冷浸法提取浸出物,HPLC测定王百合苷A含量,紫外分光光度法测定百合多糖、总黄酮含量,TOPSIS法进行综合评价。结果发现,120℃杀青2 min处理的兰州百合外观品质综合评分最高,为92.77分;110℃杀青2 min浸出物含量及百合多糖含量最高,分别为66.97%、21.13%,120℃杀青2 min的王百合苷A含量和120℃杀青4 min的总黄酮含量是CK处理的1.39倍和1.99倍,杀青处理的折干率、浸出物、百合多糖、王百合苷A和总黄酮含量均高于直接烘干。综合考虑,120℃杀青2 min后60℃干燥处理效果最优。说明不同杀青处理对兰州百合外观及内在质量影响较大,120℃杀青2 min后60℃烘干可作为兰州百合生产加工中的干燥方法。 展开更多
关键词 兰州百合 杀青方法 外观质量 内在质量 综合评价
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平面铂电极上吸附氢原子表面扩散系数的测定 被引量:3
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作者 柳文军 吴秉亮 +1 位作者 查全性 张红 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1998年第6期481-484,共4页
This Paper describes an experimental met,that that established a local Pt/Nafion interface on the Platinum Plane, so that the boundary conditions and the initial condition of the (diffusion equation about the diffusio... This Paper describes an experimental met,that that established a local Pt/Nafion interface on the Platinum Plane, so that the boundary conditions and the initial condition of the (diffusion equation about the diffusion of adsorbde hydrogen atom the platinum plane can be controlled.The average diffusion coefficient of underpotential deposition of hydrogen on a surface of platinum was obained for the first time and D=1.50 ×10-4cm2.s-1.The accuracy of the datum was discussed. 展开更多
关键词 表面扩散系数 氢原子 铂电极 吸附 平面铂电极
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多晶La_(0.49)Sr_(0.51)(Mn_(1-x)Nb_x)O_3的电输运特性研究 被引量:3
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作者 柳文军 舒启清 +3 位作者 马晓翠 杜建设 李逢明 Troyanchuk I.O 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 2004年第4期339-343,共5页
测量了B位掺杂的钙钛矿结构锰氧化物La0 49Sr0 51(Mn1-xNbx)O3(x=0,0 05,0 15和0 25)的电阻率和磁化强度的温度特性.实验结果表明,当Nb5+部分替代B位的Mn4+离子时,电阻率-温度特性由原来单一的半导体型转变成了高温时的半导体(绝缘体)... 测量了B位掺杂的钙钛矿结构锰氧化物La0 49Sr0 51(Mn1-xNbx)O3(x=0,0 05,0 15和0 25)的电阻率和磁化强度的温度特性.实验结果表明,当Nb5+部分替代B位的Mn4+离子时,电阻率-温度特性由原来单一的半导体型转变成了高温时的半导体(绝缘体)型和低温时的类金属型.随Nb掺杂量增大,电阻率迅速升高3~5个数量级,半导体(绝缘体)-类金属转变温度降低.在掺杂Nb的样品中,只观察到顺磁-铁磁转变,而未观察到铁磁-反铁磁转变.上述实验结果的一种可能解释是掺杂改变了磁有序时电子自旋的排列和空间取向,从而改变载流子被自旋热涨落的散射作用和载流子转移的随机性. 展开更多
关键词 La0.49Sr0.51(Mn1-xNb2)O3 电阻率 半导体-金属转变 磁化强度
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蒲公英不同干燥条件下总黄酮含量及抗氧化活性研究
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作者 马致静 车寒梅 +3 位作者 柳文军 高朋 任倩倩 赵敏 《现代农业科技》 2024年第3期141-143,148,共4页
为探讨不同干燥条件下蒲公英总黄酮含量及抗氧化活性,为蒲公英综合开发利用提供参考,本文以总黄酮含量及抗氧化活性为指标,研究不同干燥条件(真空干燥、热风干燥、阴干、晒干)对蒲公英黄酮类化合物的影响。结果表明:不同干燥条件下蒲公... 为探讨不同干燥条件下蒲公英总黄酮含量及抗氧化活性,为蒲公英综合开发利用提供参考,本文以总黄酮含量及抗氧化活性为指标,研究不同干燥条件(真空干燥、热风干燥、阴干、晒干)对蒲公英黄酮类化合物的影响。结果表明:不同干燥条件下蒲公英总黄酮类物质含量差异显著(P<0.05);自由基清除能力与总黄酮含量成正相关;阴干条件下蒲公英总黄酮含量及抗氧化活性优于其他处理条件,其次为晒干及40℃真空干燥处理;95℃热风干燥处理下总黄酮含量及抗氧化活性最低。得出以下结论:在生产实际中应重视蒲公英干燥方式,采摘后以阴干或晒干的方式加工蒲公英;超声提取总黄酮类化合物时优先考虑超声温度的影响。 展开更多
关键词 蒲公英 干燥条件 总黄酮 抗氧化活性
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多晶La_(0.49)Sr_(0.51)(Mn_(1-x)Nb_x)O_3的磁电阻研究 被引量:2
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作者 柳文军 朱德亮 +2 位作者 舒启清 马晓翠 Troyanchuk I O 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 北大核心 2005年第4期297-302,共6页
采用四探针法测量多晶La0.49Sr0.51(Mn1-xNbx)O3(x=0,0.05,0.15和0.25)在磁场下的电阻率温度曲线.实验结果显示:①在0.45T磁场下,对于x=0和x=0.25的样品,几乎观察不到磁电阻(Magnetoresistance,MR)效应,而对于x=0.05和x=0.15的样品,磁... 采用四探针法测量多晶La0.49Sr0.51(Mn1-xNbx)O3(x=0,0.05,0.15和0.25)在磁场下的电阻率温度曲线.实验结果显示:①在0.45T磁场下,对于x=0和x=0.25的样品,几乎观察不到磁电阻(Magnetoresistance,MR)效应,而对于x=0.05和x=0.15的样品,磁电阻效应较明显.这种差异可能与样品中铁磁相是否占主导作用有关;②比较x=0.05和x=0.15这两种样品的MR机制,前者可能与载流子在弱连接晶界上的自旋相关散射有关,且其主要是非本征的;而后者主要是本征的. 展开更多
关键词 多晶La0.49Sr0.51(Mn1-xNbx)O3 庞磁电阻 自旋极化电子输运
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阴极电沉积ZnO薄膜的取向控制生长 被引量:1
9
作者 柳文军 蔡少敏 +5 位作者 谢红丝 曹培江 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期214-218,共5页
采用阴极电沉积法,在Zn(NO3)2水溶液中,以304不锈钢为衬底制备了ZnO薄膜,研究了Zn2+浓度和电流密度对ZnO薄膜择优取向的影响规律。XRD结果表明:随着Zn2+浓度和电流密度增大,ZnO薄膜逐渐由(002)面择优取向生长转变为(101)面择优取向生长;... 采用阴极电沉积法,在Zn(NO3)2水溶液中,以304不锈钢为衬底制备了ZnO薄膜,研究了Zn2+浓度和电流密度对ZnO薄膜择优取向的影响规律。XRD结果表明:随着Zn2+浓度和电流密度增大,ZnO薄膜逐渐由(002)面择优取向生长转变为(101)面择优取向生长;当Zn2+浓度为0.005mol.L-1、电流密度为2.0mA.cm-2或Zn2+浓度为0.05mol.L-1、电流密度为0.5mA.cm-2时,可以得到(002)面择优取向生长的ZnO薄膜;当Zn2+浓度为0.05mol.L-1、电流密度为2.0mA.cm-2时,可以得到(101)面择优取向生长的ZnO薄膜。根据二维晶核理论,通过分析不同生长条件下的过饱和度及其对ZnO的(002)型和(101)型二维晶核形核活化能的影响,对这一规律进行了解释。可见,通过改变Zn2+浓度和电流密度能够实现阴极电沉积ZnO薄膜的取向可控生长。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 电沉积 择优取向
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Al-Al_2O_3-Ni隧道结中的表面粗糙度效应
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作者 柳文军 蔡振生 +2 位作者 欧阳华 马晓翠 舒启清 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 2004年第1期1-6,共6页
用真空蒸发镀膜法在光滑的玻璃基片和粗糙的CaF2薄膜表面上制备了Al Al2O3 Ni隧道结,观测了CaF2薄膜的表面粗糙度对隧道结伏安特性的影响,首次观测到这种界面粗糙结的光发射.采用梯形势垒模型计算伏安特性,并与实验伏安特性拟合,得到了... 用真空蒸发镀膜法在光滑的玻璃基片和粗糙的CaF2薄膜表面上制备了Al Al2O3 Ni隧道结,观测了CaF2薄膜的表面粗糙度对隧道结伏安特性的影响,首次观测到这种界面粗糙结的光发射.采用梯形势垒模型计算伏安特性,并与实验伏安特性拟合,得到了结的有效势垒参数.结果表明,与界面光滑的结比较,界面粗糙的结的有效势垒宽度较窄,有效势垒面积较小.这可归因为在粗糙的Al2O3表面投射式的沉积Ni原子时,在Al2O3 Ni界面留下了空隙.同时分析了结的发光机理,讨论了影响发光效率的因素. 展开更多
关键词 Al-Al2O3-Ni隧道结 表面粗糙度 发光 表面等离极化激元 真空蒸发镀膜法 巨磁电阻效应 薄膜
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射频溅射功率对AZO薄膜结构及光电特性和热稳定性的影响 被引量:8
11
作者 马晓翠 叶家聪 +4 位作者 曹培江 柳文军 贾芳 朱德亮 吕有明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期235-238,共4页
采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上制备了ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜。用X射线衍射(XRD)仪、紫外-可见分光光度计、方块电阻测试仪和台阶仪对不同溅射功率下Al掺杂ZnO薄膜的结晶、光学、电学性能、沉积速率以及热稳定性进行了研究。研究结... 采用射频磁控溅射法,在玻璃基片上制备了ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜。用X射线衍射(XRD)仪、紫外-可见分光光度计、方块电阻测试仪和台阶仪对不同溅射功率下Al掺杂ZnO薄膜的结晶、光学、电学性能、沉积速率以及热稳定性进行了研究。研究结果表明:不同溅射功率下沉积的AZO薄膜具有六角纤锌矿结构,均呈c轴择优取向;(002)衍射峰强和薄膜的结晶度随溅射功率的提高逐渐增强;随溅射功率的提高,AZO薄膜的透射率有所下降,但在可见光(380~780nm)范围内平均透射率仍>80%;薄膜的方块电阻随溅射功率的增加逐渐减小;功率为160~200W时,薄膜的热稳定性最好,升温前后方块电阻变化率为13%。 展开更多
关键词 磁控溅射 AZO薄膜 射频功率 热稳定性
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水热法制备ZrO_2纳米微晶及对乙醇和丁烷气敏性研究 被引量:7
12
作者 汤皎宁 龚晓钟 +4 位作者 马晓翠 刘剑洪 黄建军 柳文军 杨钦鹏 《化学世界》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期177-180,共4页
用水热法制备 Zr O2 纳米微晶的平均尺寸为直径 5 nm,长 7.5 nm。由 X射线衍射确认晶相为单斜相。并对其形状和大小进行了透射电镜和激光散射分析 ,结果表明 Zr O2 纳米粒子在水溶液中存在软团聚 ,团聚体平均尺寸约 90 nm。着重研究了 Z... 用水热法制备 Zr O2 纳米微晶的平均尺寸为直径 5 nm,长 7.5 nm。由 X射线衍射确认晶相为单斜相。并对其形状和大小进行了透射电镜和激光散射分析 ,结果表明 Zr O2 纳米粒子在水溶液中存在软团聚 ,团聚体平均尺寸约 90 nm。着重研究了 Zr O2 纳米微晶对乙醇及丁烷的气敏性能 ,结果表明用纳米级 Zr O2 粒子制备的气敏元件对乙醇和丁烷有好的气敏性。并且随着纳米粒子尺寸降低 。 展开更多
关键词 乙醇 丁烷 纳米微晶 气敏性能 水热法 氧化锆
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氧气流量对脉冲激光沉积ZnO薄膜的形貌及光学性质影响 被引量:7
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作者 曹培江 林传强 +5 位作者 曾玉祥 柳文军 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期239-242,共4页
使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SiO2)和单晶Si(111)基底上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜。测试结果显示:在30~70sccm氧气流量范围内,氧气流量50sccm时制备的ZnO薄膜具有较好的结晶质量、较高的光学透过率(≥80%)、较高的氧含量(... 使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SiO2)和单晶Si(111)基底上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜。测试结果显示:在30~70sccm氧气流量范围内,氧气流量50sccm时制备的ZnO薄膜具有较好的结晶质量、较高的光学透过率(≥80%)、较高的氧含量(~40.71%)、较快的生长速率(~252nm/h)和较好的发光特性:450~580nm附近发射峰最弱,同时~378nm附近的紫外发光峰最强,表明薄膜材料中含有较少的氧空位等缺陷。 展开更多
关键词 氧气流量 脉冲激光沉积 ZNO薄膜
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脉冲和直流电镀镍层磨损及腐蚀磨损性能研究 被引量:8
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作者 汤皎宁 龚晓钟 +2 位作者 柳文军 黄建军 杨钦鹏 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2001年第7期12-13,共2页
为了节约贵金属和获得功能性镀层 ,采用直流和脉冲电镀法在A3钢片上获得了镍镀层。结果表明 ,脉冲镀层在干摩擦和腐蚀液中的耐磨损性与直流电镀层相比有较大提高 ,尤其是梯形波脉冲电镀获得的镀层的耐磨性最好 ;X 射线衍射分析表明镍镀... 为了节约贵金属和获得功能性镀层 ,采用直流和脉冲电镀法在A3钢片上获得了镍镀层。结果表明 ,脉冲镀层在干摩擦和腐蚀液中的耐磨损性与直流电镀层相比有较大提高 ,尤其是梯形波脉冲电镀获得的镀层的耐磨性最好 ;X 射线衍射分析表明镍镀层在镀态及经过热处理后均为立方晶体结构 ,晶粒尺寸分别为 11.3nm和 14 .1nm ,热处理使镍镀层的晶粒尺寸长大。 展开更多
关键词 脉冲电镀 磨损 腐蚀
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利用脉冲激光沉积法制备高Mg掺杂的六方相MgZnO薄膜 被引量:6
15
作者 朱德亮 陈吉星 +4 位作者 曹培江 贾芳 柳文军 马晓翠 吕有明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期223-226,共4页
选用Mg0.2Zn0.8O陶瓷靶,利用脉冲激光沉积(PLD)法,在单晶Si(100)和石英衬底上生长了一系列MgZnO薄膜(MZO)。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDS)和紫外可见光透射光谱(UV-Vis)等实验手段,研究了在不同工作压强下... 选用Mg0.2Zn0.8O陶瓷靶,利用脉冲激光沉积(PLD)法,在单晶Si(100)和石英衬底上生长了一系列MgZnO薄膜(MZO)。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDS)和紫外可见光透射光谱(UV-Vis)等实验手段,研究了在不同工作压强下生长的薄膜样品的晶体结构、微观形貌和光学性能的变化。结果表明:所有的薄膜样品都是单一的ZnO六方相,禁带宽度随生长压强的升高而增加,变化范围在3.83~4.05eV之间,最短吸收边接近300nm。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 MgZnO薄膜 光学性能
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用沉淀-水解法制备ZrO_2纳米晶须 被引量:4
16
作者 龚晓钟 汤皎宁 +4 位作者 马晓翠 刘剑洪 黄建军 柳文军 杨钦鹏 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期384-387,共4页
用沉淀-水解法制备的 ZrO2纳米晶须,其平均尺寸为直径 4nm,长 10~20nm。其晶相由 X射线衍射确认为单斜相,对其形状和大小进行了透射电镜和激光散射分析ZrO2纳米晶须在水溶液 中出现软团聚,团聚体平均尺寸约为 ... 用沉淀-水解法制备的 ZrO2纳米晶须,其平均尺寸为直径 4nm,长 10~20nm。其晶相由 X射线衍射确认为单斜相,对其形状和大小进行了透射电镜和激光散射分析ZrO2纳米晶须在水溶液 中出现软团聚,团聚体平均尺寸约为 90mm.纳米级 ZrO2粒子对乙醇及丁烷有好的气敏性,比用直接水热法制备的敏感性能提高 30%左右。 展开更多
关键词 纳米晶须 气敏性能 氧化锌 沉淀-水解法
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锌锰干电池中无汞缓蚀剂的筛选 被引量:8
17
作者 高翠琴 柳文军 周运鸿 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期5-9,共5页
测量了21种有机表面活性剂在锌粉表面的析氢速度,从中选出8种抑制析氢能力较强的缓蚀剂,并通过测量锌电极在铵型和锌型电解液中的阴、阳极极化曲线来考查缓蚀剂对锌电极电性能的影响.结果表明,本文所选的缓蚀剂CNB-16既具有明显的抑制... 测量了21种有机表面活性剂在锌粉表面的析氢速度,从中选出8种抑制析氢能力较强的缓蚀剂,并通过测量锌电极在铵型和锌型电解液中的阴、阳极极化曲线来考查缓蚀剂对锌电极电性能的影响.结果表明,本文所选的缓蚀剂CNB-16既具有明显的抑制析氢的能力,又不会严重影响锌在电解液中的阳极溶解.因此,认为CNB-16有希望成为Zn-Mn干电池中取代汞的无毒有机缓蚀剂. 展开更多
关键词 干电池 腐蚀 缓蚀剂 锌锰干电池
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重掺杂AZO透明导电薄膜的光电特性 被引量:4
18
作者 吕有明 曹培江 +5 位作者 贾芳 柳文军 朱德亮 马晓翠 林传强 刘稳 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期307-312,共6页
以Al质量分数为2%的ZnO陶瓷靶为靶材,在氧气气氛中,采用脉冲激光沉积方法(PLD)在石英衬底表面生长了重掺杂的ZnO∶Al(AZO)薄膜。通过X射线衍射仪、紫外可见分光光度计、微区拉曼光谱仪、霍尔测量仪对合成薄膜材料的晶体结构、光学、电... 以Al质量分数为2%的ZnO陶瓷靶为靶材,在氧气气氛中,采用脉冲激光沉积方法(PLD)在石英衬底表面生长了重掺杂的ZnO∶Al(AZO)薄膜。通过X射线衍射仪、紫外可见分光光度计、微区拉曼光谱仪、霍尔测量仪对合成薄膜材料的晶体结构、光学、电学性质等进行了研究。结果表明:所制备的AZO薄膜呈现具有高度c轴择优取向的ZnO纤锌矿结构;重掺杂下的AZO显示了简并半导体的性质,电学呈现出了类金属特性;在可见光区域透过率>80%,吸收边和紫外发光峰出现了明显的蓝移现象,被归结为重掺杂下引起的Burstein-Moss效应导致光学带隙展宽。 展开更多
关键词 AZO薄膜 Burstein-Moss效应 光电特性
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ZnO纳米/微米结构传感器对乙醇气敏性研究 被引量:3
19
作者 曹培江 彭双娇 +5 位作者 韩舜 柳文军 贾芳 曾玉祥 朱德亮 吕有明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期460-464,共5页
采用化学气相法分别在石英舟内表面和单晶硅衬底上制备了ZnO微米片、纳米线、微米四足体以及微米球4种结构,并制作了相应的气敏传感器。扫描电子显微镜、气敏测试仪等结果显示:合成的ZnO纳米/微米结构尺寸在200 nm^100μm之间,传感器最... 采用化学气相法分别在石英舟内表面和单晶硅衬底上制备了ZnO微米片、纳米线、微米四足体以及微米球4种结构,并制作了相应的气敏传感器。扫描电子显微镜、气敏测试仪等结果显示:合成的ZnO纳米/微米结构尺寸在200 nm^100μm之间,传感器最佳工作电流区间为120~130 mA,其中微米四足体制备的传感器灵敏度高达127,展现出优异的气敏特性。在4种结构中,微米四足体材料内部的VO缺陷含量最高,结合气敏测试与荧光光谱结果,我们认为材料内部的VO缺陷含量是影响材料气敏特性的最重要因素。 展开更多
关键词 ZNO 化学气相法 气敏特性 缺陷含量
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氧含量对RF磁控溅射ZnO薄膜结构特性的影响 被引量:2
20
作者 马晓翠 柳文军 +3 位作者 朱德亮 曹培江 江宗章 萧活杰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期160-162,共3页
采用射频(RF)磁控溅射的方法,通过改变工作气氛中氩气和氧气的比例,在Si(100)衬底上沉积出具有高度C轴择优取向的ZnO薄膜.实验发现随着O2/(Ar+O2)比的增加,薄膜的沉积速率下降.O2/(Ar+O2)比对薄膜结晶状态有明显影响,O2/(Ar+O2)比约为0.... 采用射频(RF)磁控溅射的方法,通过改变工作气氛中氩气和氧气的比例,在Si(100)衬底上沉积出具有高度C轴择优取向的ZnO薄膜.实验发现随着O2/(Ar+O2)比的增加,薄膜的沉积速率下降.O2/(Ar+O2)比对薄膜结晶状态有明显影响,O2/(Ar+O2)比约为0.45,薄膜结晶质量较好. 展开更多
关键词 ZNO薄膜 射频磁控溅射 O2/(Ar+P2)比 XRD分析
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