一种基于残差网络改进的牙齿颜色分类模型

针对传统牙齿比色方法准确率低和效率低等问题,提出一种基于残差网络改进的牙齿颜色分类模型。该模型通过融合多层卷积结果以及引入压缩与激励注意力机制模块的方式,使网络能学习到更多的图像颜色特征。基于典型牙齿所建数据集进行颜色分类实验,在该数据集上对文中模型与GoogleNet、MobileNet-V1、ResNet-34和ResNet-50等模型进行颜色分类预测结果比较。实验结果表明,文中模型优于传统模型,预测分类准确度达到91.16%,有效提高了牙齿颜色分类准确率和效率。

长腔DFB半导体激光器非简并四波混频波长转换效率

本文从理论上计算了长腔 DFB-LD中基于非简并四波混频的波长转换效率 ,由耦合波方程的数值解 ,得出波长转换效率与腔长、泵浦光功率、增益系数、DFB-L D谐振光与注入光的频率失谐量等的关系 .数值计算结果表明 ,通过提高泵浦光功率。

用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪

本文在作者提出的光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个波长扩大为 １２５．５６ μｍ，并讨论了进一步扩大测量范围的可能性．本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证．

用8098单片机实现快速成型系统的三维控制

本文介绍了8098单片机在快速成型系统三维控制中的应用。对整个控制系统的特点、硬件设置、软件设计等进行了分析和介绍。由于充分利用了8098单片机的功能和资源，故系统功能较强，可移植性较好。

深紫外双层金属光栅偏振器的设计与分析

193 nm波长浸没式步进扫描投影光刻机是实现45 nm及以下技术节点集成电路制造的核心装备.增大数值孔径是提高光刻分辨率的有效途径,而大数值孔径曝光系统的偏振性能严重影响光刻成像质量.光刻机曝光系统偏振参数的高精度检测是对其进行有效调控的前提.基于光栅的偏振检测技术能实现浸没式光刻机偏振检测装置的小型化,满足其快速、高精度在线检测的需求,该技术中的关键部件是结构紧凑且偏振性能良好的光栅.本文基于反常偏振效应和双层金属光栅对TE偏振光的透射增强原理,采用严格耦合波理论和有限时域差分方法,设计了一种双层金属光栅偏振器.计算了该偏振器的初始结构参数,并通过数值仿真得到了其偏振性能关于各光栅参数的变化关系.仿真结果表明,中间层高度是影响TE偏振光透射增强的主要因素;垂直入射时TE偏振光的透过率可达到56.8%,消光比高达65.6 dB.与现有同波段金属光栅偏振器相比,所设计的光栅偏振器在保证高透过率的同时,消光比提升了四个数量级.

光源空间相干性对深紫外光刻照明均匀性的影响

为分析空间相干性对均匀性的准确影响,提出一种基于互强度传播理论的部分相干光刻照明仿真方法。在不同照明模式和同一照明模式以及不同部分相干因子的情况下,分析空间相干性对掩模面照明均匀性的影响。结果表明,照明均匀性会随着相干度增大而减小,散斑对比度会随着相干度增大而增大。为了满足浸没式193 nm光刻机均匀性大于97.5%的照明要求,环形、二极和四极照明的空间相干度应分别小于3.37%、2.96%和3.11%,对应的散斑对比度分别小于2.81%、2.13%和2.33%。

100 kHz重复频率锡液滴靶研究

锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。现阶段研制的锡液滴发生器,在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径约为40μm,间距约为230μm,工作时长接近5 h。锡液滴在10 s短时间内,竖直和水平方向的位置不稳定性分别约为2μm和1μm。未来锡液滴的可用性性能(如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性)还需进一步提升。

基于达曼光栅的快照式斯托克斯偏振测量方法

斯托克斯偏振测量常被用于获取光束的偏振特性。提出一种利用偏振无关的达曼光栅快照式测量偏振光束斯托克斯参量的方法。偏振光束通过达曼光栅后在空间对称的位置上被分成4束,这4束光经波片和线偏振器调制后,最终被CCD采集。将单次快照采集的光强图简单叠加运算就可计算得到偏振光束的斯托克斯参量,并可进一步计算得到偏振光束的偏振分布、矢量质量因子(VQF)和模间相位。所提测量方法对不同椭圆偏振光的测量结果与商用偏振测量仪的测量结果之间的平均相对误差为6.97%。所提方法的测量装置简单,无需转动任何器件,单次快照就可完成测量,具有可靠的测量精度。

基于空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测技术

基于空间像主成分分析的波像差检测技术是一种原位光刻机投影物镜波像差检测技术。本文对该技术的检测模型和工程技术进行了系统研究。分析了照明条件、检测标记、空间像扫描范围等影响因素对检测精度的影响。研究了空间像传感器模型,并通过仿真和实验验证了传感器模型的有效性。研究了空间像定心误差对检测精度的影响,对比了不同定心方法下波像差检测模型的性能表现。分析了不同降噪方法的空间像降噪效果,并基于空间像噪声模型,提出了一种新的空间像降噪方法。仿真与实验结果表明,在各种影响因素中,照明部分相干因子和F方向采样范围对像差检测精度影响较大。定心方面,在X方向上六项模型定心精度更高,F方向上三项模型与六项模型各有优劣。平均值降噪法可以有效滤除空间像噪声,提高像差求解精度。像差漂移量仿真测试结果表明,该技术可用于校正光刻机的短期像差漂移。本文对该技术还给出了工程应用建议。

基于随机微透镜阵列的激光光场复相干度调制

建立了基于泰森多边形排布的随机微透镜阵列激光光场复相干度调制模型,分析了旋转随机微透镜阵列参数对激光发散角以及激光光场复相干度模的影响规律。仿真与实验结果表明:子透镜单元的平均口径与曲率半径共同影响随机微透镜阵列的发散角,通过控制随机微透镜阵列子透镜单元的参数可提供特定发散角;随机微透镜阵列转速影响激光光场复相干度的模,复相干度的模随转速增加而下降,转速从0增加至4800 r/min,复相干度的模下降总幅度为96.67%,且随转速增加下降趋势逐渐变缓。

基于频域相位共轭技术的交叉相位调制所致失真的复原

理论分析和讨论了基于频域相位共轭技术的交叉相位调制所致信号失真的复原和补偿机理,数值模拟了在交叉相位调制作用下,高斯脉冲在中距相位共轭光纤系统中的传输演化过程.结果表明,频域相位共轭技术能够抑制交叉相位调制对光纤系统中传输信号的损害,复原其所导致的信号失真,并能够同步补偿群速度色散和自相位调制非线性效应所导致的信号失真.合适的初始脉冲时延和初始脉冲啁啾有利于频域相位共轭技术对交叉相位调制所致信号失真的抑制.

利用相位共轭技术补偿光纤传输信号的失真

本文阐述了利用光学相位共轭技术进行补偿色散和复原非线性失真的理论基础 。

变迹术对改善共焦系统分辨率的实验研究

给出了在反射式光纤共焦扫描成像系统中 ,利用变迹术提高系统分辨率的原理 ,并做了相应的对比实验 .在加入变迹掩模后 ,系统对物体的成像响应曲线、物体直边边缘展宽量都有所改善 .实验数据证明 ,改变光瞳函数可以提高系统的横向分辨率 ,同时不降低系统的纵向分辨率 .

基于高阶色散管理和相位共轭技术的色散补偿

相位共轭技术能够同时且高效地补偿二阶色散及非线性效应 ,且该技术同信号比特率、调制方式无关 ,是最有前景的色散补偿技术之一。理论分析了在高阶色散作用下 ,超短高斯脉冲信号在中距相位共轭通信系统中的传输演化特性 ,数值模拟了在二阶、三阶和四阶色散作用下 ,飞秒高斯脉冲信号在基于中距相位共轭技术的光纤色散管理链中的动态传输过程。结果表明 ,相位共轭技术和高阶色散管理相结合 ,不仅可以补偿和复原包括奇数阶和偶数阶色散在内的全部色散和非线性所引入的信号失真和畸变 ,而且能够减弱时分复用系统中脉冲之间的相互作用 ,使得信号在传输一个周期后恢复波形 。

脉冲啁啾对相位共轭通信系统性能的影响

数值模拟了线性啁啾高斯脉冲在光纤中的传输演化过程,分析了线性啁啾高斯脉冲的传输特性。结果表明,脉冲啁啾不会影响中置相位共轭系统对色散和非线性效应导致的信号失真的完全补偿;单模光纤中啁啾将导致脉冲信号产生初期窄化和末期窄化过程,这种传输特性可用来优化相位共轭系统的总体结构设计,进一步改善和提高系统的补偿性能。

自陡峭效应对相位共轭系统脉冲传输的影响

光学相位共轭(OPC)技术能够同时且高效地补偿光纤传输过程中色散及非线性效应所导致的信号失真,且该技术同脉冲调制方式无关。从理论上分析了在自陡峭效应(SS)作用下高斯脉冲信号在中距相位共轭系统中的传输演化特性,数值模拟了在其作用下超短飞秒高斯脉冲的动态传输过程,讨论了自陡峭效应对中距相位共轭系统复原性能的影响。结果表明自陡峭效应将导致高斯脉冲信号发生峰值漂移和脉冲后沿变陡,相位共轭系统不能补偿由此导致的脉冲失真和畸变。引入合适的色散可以减小这种信号失真,并使得相位共轭系统能够同时补偿由于色散、自相位调制和自陡峭效应而引起的信号失真。

基于频域相位共轭技术的光纤偏振信号的失真抑制

理论分析了信号在频域中的相位共轭变换,分析表明,当输入信号取频域相位共轭后,其输出信号相当于输入信号时域包络的相位共轭和时间反转.在此基础上,分析了在双折射光纤中基于频域相位共轭技术的偏振信号失真的抑制和补偿机理,数值模拟了偏振孤子信号和偏振Gauss信号在中距相位共轭光纤系统中的传输演化过程.结果表明,利用频域相位共轭技术能够准确复原双折射光纤系统中的初始输入偏振信号,同时能够补偿色散和复原非线性效应所导致的信号失真.

半导体光放大器中相位共轭光的产生及其应用

本文介绍了在半导体光放大器中 ,利用四波混频产生相位共轭光的机理、方式以及影响因素 ;偏振态对共轭光的影响及解决方法及产生有频移和无频移的相位共轭光的方式 ;并简要介绍了它们在光通信中的应用。

共焦显微镜中变距圆光栅函数掩模的研究

针对带有光瞳掩模的超分辨系统 ,提出了一种基于极坐标的性能评价标准。同时根据衍射光学相关理论 ,提出了变距圆光栅函数掩模花样。模拟计算结果表明 ,在共焦系统中利用该掩模可以改变系统的点振幅响应 ,从而提高分辨率 ,并增强图像的反衬度。

用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪

在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上 ,提出了一种扩大其测量范围的方法 ,使得在保持纳米精度的前提下 ,测量范围由半个波长扩大为 12 5 5 6 μm ,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。