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后Tenon囊下注射曲安奈德联合玻璃体切割术在脉络膜脱离型视网膜脱离中的应用 被引量:9
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作者 毛剑波 吴素兰 +6 位作者 陈亦棋 蒋璐 褚梦琪 董玉桂 陶继伟 林丽 沈丽君 《中华实验眼科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期448-452,共5页
背景曲安奈德具有抗光作用,脉络膜脱离型视网膜脱离(RD/CD)术前玻璃体腔内注射TA可减轻炎症反应,改善手术效果,但由于术前眼压低,玻璃体腔注射易引起并发症。关于后Tenon囊下注射TA在RD/CD中的有效性和安全性尚未见报道。目的探讨... 背景曲安奈德具有抗光作用,脉络膜脱离型视网膜脱离(RD/CD)术前玻璃体腔内注射TA可减轻炎症反应,改善手术效果,但由于术前眼压低,玻璃体腔注射易引起并发症。关于后Tenon囊下注射TA在RD/CD中的有效性和安全性尚未见报道。目的探讨后Tenon囊下注射TA治疗RD/CD的疗效及安全性。方法采用回顾性研究方法,收集于2010年5月至2014年6月在温州医科大学附属眼视光医院首诊为RD/CD且接受手术的患者22例22眼的病历资料,患眼均于玻璃体切割术前5 d行后Tenon囊下注射TA混悬液40 mg(0.4 ml),注药后观察葡萄膜的炎性反应。使用Goldmann眼压计和B型超声仪观察注药前及注药后5 d患眼眼压、脉络膜脱离高度及脱离范围的变化,同时监测血压及血糖的变化,并于注药5 d后行玻璃体切割术,所有患者术后随访3个月以上。结果行TA的后Tenon囊下注射的22眼葡萄膜炎症状均不同程度减轻;注药前患眼平均眼压为(5.4±2.9)mmHg(1 mmHg=0.133 kPa),注射TA后5 d患眼平均眼压为(8.2±4.3) mmHg,眼压上升2.8 mmHg,差异有统计学意义(t=3.430,P〈0.01)。注药前患眼平均脉络膜脱离高度为5.2(3.1,6.6)mm,注药后5 d平均脉络膜脱离高度为0.9(0,3.8)mm,脉络膜脱离高度显著降低,差异有统计学意义(Z=-4.198,P〈0.01)。注药前患眼平均脉络膜脱离范围为12(10,12)个点位,注药后5 d平均脉络膜脱离范围为3(0,6)个点位,脱离范围显著下降,差异有统计学意义(Z=-4.124,P〈0.01)。患者注药前后血糖、血压变化的差异均无统计学意义(均P〉0.05)。术眼术前、术后1个月和3个月LogMAR视力分别为2.14±0.46、1.29±0.57和1.17±0.55,术后视力较术前明显好转,总体比较差异有统计学意义(F=22.060,P〈0.001)。视网膜复位率为95.5%。7眼术后出现高眼压,其中5眼使用局部降眼压药物治疗后恢复,2眼药物取出后眼压恢复正常。结论RD/CD术前行TA后Tenon囊下注射能减轻术眼葡萄膜炎反应,升高眼压及降低脉络膜脱离,对血糖、血压影响小。 展开更多
关键词 曲安奈德 脉络膜疾病 视网膜脱离 后TENON囊下注射 严重程度
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微带线不连续性辐射研究 被引量:11
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作者 毛剑波 黄正峰 +2 位作者 杨明武 汪涛 宣晓峰 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2012年第5期392-397,共6页
分析了微带不连续性辐射的基本原理,采用FDTD方法和坡印廷矢量法相结合,研究了拐角、短截线等微带不连续性的辐射特性,对微带不连续性和微带贴片天线的辐射机理进行了比较。仿真结果显示,不连续性表面波和空间波辐射损耗随着频率的增加... 分析了微带不连续性辐射的基本原理,采用FDTD方法和坡印廷矢量法相结合,研究了拐角、短截线等微带不连续性的辐射特性,对微带不连续性和微带贴片天线的辐射机理进行了比较。仿真结果显示,不连续性表面波和空间波辐射损耗随着频率的增加而显著增大,低频时辐射损耗以空间波辐射为主,高频时表面波辐射有超过空间波的趋势。微带短截线的谐振辐射特性与矩形微带贴片天线类似,只是在辐射强度上有较大的差别。 展开更多
关键词 微带 不连续性 辐射 时域有限差分法(FDTD)
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微电子学专业实验室建设的探索与实践 被引量:23
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作者 毛剑波 易茂祥 张天畅 《实验室研究与探索》 CAS 2005年第12期118-119,126,共3页
介绍了微电子学专业的历史、现状和发展方向,详细阐述了微电子学专业实验室的建设规划和内容。针对微电子学专业的特点,微电子学实验室建设的主要内容包括两个方面:建立微电子设计中心和重建微电子器件和工艺实验室。并开设了两大实验系... 介绍了微电子学专业的历史、现状和发展方向,详细阐述了微电子学专业实验室的建设规划和内容。针对微电子学专业的特点,微电子学实验室建设的主要内容包括两个方面:建立微电子设计中心和重建微电子器件和工艺实验室。并开设了两大实验系列:集成电路设计综合实验和微电子器件工艺综合实验。该实验室的建立达到了微电子学专业教学大纲的要求,有利于提高学生的实践能力和创新精神。 展开更多
关键词 微电子学 实验室建设 实践教学
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EDA实验室网络系统设计与管理 被引量:10
4
作者 毛剑波 易茂祥 王墨林 《实验技术与管理》 CAS 2005年第9期57-59,共3页
介绍了EDA实验室网络系统的拓扑结构设计、EDA软件的安装模式以及Windows和Linux双操作系统的选择,并针对EDA软件运行平台的复杂性,详细地说明了EDA实验室的网络系统的配置以及网络管理与维护的经验.
关键词 EDA 实验室 计算机网络
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PZT压电陶瓷极化工艺研究 被引量:17
5
作者 毛剑波 易茂祥 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期736-737,740,共3页
介绍了6.5 MHz锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷滤波器极化工艺的流程和基本原理,对极化电场、极化温度和极化时间等工艺参数进行了实验研究,并针对实验结果进行了理论分析,确定最佳的极化条件:极化电场强度为2.2 kV/mm、极化温度为130℃,极化时间... 介绍了6.5 MHz锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷滤波器极化工艺的流程和基本原理,对极化电场、极化温度和极化时间等工艺参数进行了实验研究,并针对实验结果进行了理论分析,确定最佳的极化条件:极化电场强度为2.2 kV/mm、极化温度为130℃,极化时间为15 min。文章还对极化工艺中出现的其他一些问题进行了分析和探讨,从而有效地提高了压电陶瓷的压电性能指标。 展开更多
关键词 压电陶瓷 极化 滤波器
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康柏西普联合光动力疗法治疗视网膜血管瘤样增生随访一例 被引量:2
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作者 毛剑波 褚梦琪 +2 位作者 沈丽君 陈亦棋 吕喆 《中华实验眼科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期206-208,共3页
患者,女,59岁,于2014年9月15日因右眼视力下降1年余于温州医科大学附属眼视光医院就诊。2014年6月于杭州市第二人民医院行黄斑区光凝治疗,原因不详。否认全身其他病史。
关键词 光凝治疗 血管瘤样增生 光动力疗法 视网膜 随访 医院就诊 医科大学 视力下降
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基于FDTD的三维全波电磁分析软件及工程应用 被引量:2
7
作者 毛剑波 杨明武 +4 位作者 梁华国 宣晓峰 吴朝阳 刘金现 张猛 《计算机应用与软件》 CSCD 2011年第8期47-49,157,共4页
介绍三维全波电磁分析软件的算法实现和主要功能,软件包含电磁建模和FDTD数值求解两大模块,可用于射频微波等系统的电磁场分析和设计。自动进行满足FDTD算法条件的均匀和非均匀网格划分,生成描述介质、网格、边界条件、激励源设置等所... 介绍三维全波电磁分析软件的算法实现和主要功能,软件包含电磁建模和FDTD数值求解两大模块,可用于射频微波等系统的电磁场分析和设计。自动进行满足FDTD算法条件的均匀和非均匀网格划分,生成描述介质、网格、边界条件、激励源设置等所需的数据文件。通过对目标物体进行平移、旋转、缩放等操作可以进行实时观察与修改,具有较强的电磁建模效率和三维可视化效果,实现了计算区间内电磁场的动态变化演示。通过在实际工程中的应用,以及和商用软件HFSS的对比,验证了软件的功能和应用价值。 展开更多
关键词 时域有限差分法 三维建模 电磁 仿真
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三维FDTD建模软件的开发及应用 被引量:2
8
作者 毛剑波 杨明武 +3 位作者 梁华国 姜万顺 刘金现 张猛 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第2期39-42,46,共5页
介绍了三维FDTD建模软件的开发,电磁建模和网格生成采用Visual Basic实现。该软件提供给FDTD仿真软件诸如介质、网格、边界条件、激励源设置之类的数据文件;自动生成满足FDTD算法条件的均匀或非均匀网格。采用OpenGL技术,通过对图形的... 介绍了三维FDTD建模软件的开发,电磁建模和网格生成采用Visual Basic实现。该软件提供给FDTD仿真软件诸如介质、网格、边界条件、激励源设置之类的数据文件;自动生成满足FDTD算法条件的均匀或非均匀网格。采用OpenGL技术,通过对图形的旋转、平移、缩放、透视等操作对目标物体进行细致的实时观察与修改,实现了计算区间内电磁场的动态变化演示,具有建模速度快、可视化效果好等优点,保证了FDTD数值求解过程的正确与高效。最后利用该软件对微带拐角等不连续性问题进行了建模和仿真,取得了较好的效果。 展开更多
关键词 时域有限差分法 三维建模 仿真
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压电陶瓷换能器在超声波测距仪中的应用 被引量:13
9
作者 毛剑波 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期696-698,共3页
文章介绍了超声波测距的原理,论述了超声波测距仪的主要部件——压电陶瓷换能器的结构设计。证实将振子设计成压电陶瓷和金属片的矩形粘合片的形式,可实现与空气声阻抗良好的匹配。并当谐振频率为36kHz时,弯曲振动模式产生的超声场呈扇... 文章介绍了超声波测距的原理,论述了超声波测距仪的主要部件——压电陶瓷换能器的结构设计。证实将振子设计成压电陶瓷和金属片的矩形粘合片的形式,可实现与空气声阻抗良好的匹配。并当谐振频率为36kHz时,弯曲振动模式产生的超声场呈扇形,使所发射的超声波在空气中的传播效率较高,满足了仪器对检测范围、精度和灵敏度的要求。 展开更多
关键词 压电陶瓷 换能器 超声波 测距
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GaAs MESFET旁栅迟滞特性的机理分析 被引量:1
10
作者 毛剑波 易茂祥 丁勇 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期124-127,共4页
探讨了GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性的产生机理,通过详细地分析论证,认为GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性与器件的沟道-衬底界面区的电子特性以及半绝缘GaAs衬底具有高密度的深能级电子陷阱有关。通过分析得出的结论可以很好地说明实验结果... 探讨了GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性的产生机理,通过详细地分析论证,认为GaAs MESFET旁栅效应迟滞特性与器件的沟道-衬底界面区的电子特性以及半绝缘GaAs衬底具有高密度的深能级电子陷阱有关。通过分析得出的结论可以很好地说明实验结果,同时对于分析GaAs器件的其他特性也具有一定的参考意义。 展开更多
关键词 GAAS MESFET 旁栅效应 迟滞特性 沟道衬底结 电子陷阱
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粮食水份微波测量仪的系统设计 被引量:2
11
作者 毛剑波 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2003年第8期119-121,共3页
文章介绍了微波测量水份的基本原理和技术,详细阐述了粮食水份微波测量仪的系统设计以及利用单片机提高了仪器的智能化水平和整体性能。
关键词 粮食水份 微波测量仪 系统设计 智能仪表 核磁共振法 农业
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PZT6.5 MHz压电陶瓷滤波器的设计与工艺研究 被引量:1
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作者 毛剑波 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1353-1355,共3页
介绍了6.5 MH z压电陶瓷滤波器的设计原理和制备工艺。通过对锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷材料的改性,确定了滤波器陶瓷材料的配方,通过对分割电极的设计,实现了二重模滤波器的电容耦合;经过不断的试验和工艺改进,使产品性能达到了预期的目标。
关键词 压电陶瓷 滤波器 PZT
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PZT压电陶瓷滤波器的烧结工艺研究 被引量:1
13
作者 毛剑波 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期135-137,141,共4页
结合理论知识和实际生产经验 ,对 6.5 MHz压电陶瓷滤波器的烧结工艺进行了研究。优化了升温速率和保温时间这 2个重要的工艺控制参数 ,降低了陶瓷的气孔率 ,提高了陶瓷的机械品质因数 Qm。在预烧工艺中采用了间歇法和连续法相结合的方... 结合理论知识和实际生产经验 ,对 6.5 MHz压电陶瓷滤波器的烧结工艺进行了研究。优化了升温速率和保温时间这 2个重要的工艺控制参数 ,降低了陶瓷的气孔率 ,提高了陶瓷的机械品质因数 Qm。在预烧工艺中采用了间歇法和连续法相结合的方式 ,提高了陶瓷的致密度 ,在烧成工序中增加了预烘操作 ,大大降低了烧成后的碎片率。对工艺中容易出现的其它问题进行了分析和总结 ,并提出了切实可行的改进方法 。 展开更多
关键词 压电陶瓷 滤波器 烧结工艺
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一种JMF数据源多路应用解决方案
14
作者 毛剑波 易茂祥 《现代电子技术》 2006年第23期59-60,62,共3页
基于Java开发的局域网(LAN)可视电话(会议)应用系统,具有跨平台等诸多优点,而JMF数据源多路应用是全面实现该系统的关键。本文给出了一种JMF数据源多路应用方案,实现客户端数据源的本地播放、局域网上多路传送和对发送视频的本地监视。... 基于Java开发的局域网(LAN)可视电话(会议)应用系统,具有跨平台等诸多优点,而JMF数据源多路应用是全面实现该系统的关键。本文给出了一种JMF数据源多路应用方案,实现客户端数据源的本地播放、局域网上多路传送和对发送视频的本地监视。方案的核心是正确运用了JMF数据源的克隆技术和恰当配置多路传送端口。该方案具有简单规范、稳定可靠的特点,完全满足基于JMF的局域网视频电话(会议)系统开发的需要。 展开更多
关键词 JMF 数据源 克隆 多路传送 本地监视
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谈网络教育和人才培养
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作者 毛剑波 《教育信息化》 CSSCI 2003年第8期11-11,共1页
网络教育的发展,推动了教育的现代化,促进了传统的教学模式的改革。网络教育是世界性的教育发展趋势.我们应该加强网络教育的建设,培养更多更好的人才,支持我国社会主义现代化经济的发展。
关键词 网络教育 人才培养 教育现代化 教学模式 教学质量 教学内容 教学手段
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后发性白内障患者行后囊膜切开术后视觉相关生活质量的评价 被引量:15
16
作者 何吕福 佘相均 +5 位作者 赵士鑫 毛剑波 洪明胜 蒋璐 董玉桂 沈丽君 《中华实验眼科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期346-349,共4页
背景 后发性白内障(PCO)是超声乳化白内障摘出联合人工晶状体(IOL)植入术后的主要并发症,发病率高,其主流治疗方法是后囊膜切开术,但是目前缺乏对PCO行Nd∶YAG激光后囊膜切开术后患者生活质量的研究. 目的 评估PCO患者行Nd∶YAG激... 背景 后发性白内障(PCO)是超声乳化白内障摘出联合人工晶状体(IOL)植入术后的主要并发症,发病率高,其主流治疗方法是后囊膜切开术,但是目前缺乏对PCO行Nd∶YAG激光后囊膜切开术后患者生活质量的研究. 目的 评估PCO患者行Nd∶YAG激光后囊膜切开术后的视力及视觉相关的生活质量.方法 前瞻性横断面研究.收集2012年9-12月在温州医学院附属眼视光医院拟行Nd∶YAG激光治疗的PCO患者200例250眼,术前所有患者按视力损害的程度不同分为无或者轻度视力损伤(1级)、中度视力损伤(2级)、重度视力损伤(3级)和盲(4级),并由同一位眼科医师对纳入的患者行Nd∶YAG激光后囊膜切开术.本研究的主要观察指标包括视力和美国国家眼科研究所视功能问卷-25(NEI-VFQ-25)调查问卷评分.分别于术前、术后3周检测并分析患者的单眼和双眼视力,采用NEI-VFQ-25对患者进行问卷调查,调查问卷中的各项条目分别计为0~4分,评价结果为调查问卷的累积分数.结果 所有患者Nd∶YAG激光后囊膜切开术术前双眼视力(LogMAR)及NEI-VFQ-25评分分别为0.47&#177;0.44和59.1&#177;13.0,术后3周分别为0.30&#177;0.30和72.1&#177;15.9,患者术后的双眼视力和NEI-VFQ-25评分较术前均明显改善,差异均有统计学意义(t=11.38、22.01,P<0.05).PCO患者行Nd∶YAG激光后囊膜切开术术后3周NEI-VFQ-25调查问卷中12类视觉生活质量相关的项目,如一般健康状态、总体视觉情况、眼痛、近距离工作、远距离工作、社交功能、精神健康状态、社会角色限制、独立性、驾驶、色彩视觉和周边视野等方面评分均较术前明显提高,差异均有统计学意义(均P<0.05).术前各级视力损害者行Nd∶YAG激光后囊膜切开术后在NEI-VFQ-25调查问卷评分均有明显改善(t=21.20、8.39、3.18,P<0.05). 结论 PCO患者Nd∶YAG激光后囊膜切开术后,视力联合视觉相关的生活质量问卷调查评分是评价患者生活质量的指标. 展开更多
关键词 晶状体囊膜 手术 激光疗法 固态激光 治疗 前瞻性研究 问卷调查 生活质量 视觉 后囊膜混浊
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天线仿真实验的设计与教学实践 被引量:21
17
作者 汪涛 毛剑波 +1 位作者 刘士兴 黄正峰 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2012年第12期89-93,共5页
基于时域有限差分法电磁仿真软件FDTD,设计了系列天线仿真实验。通过仿真软件,对天线进行了建模,经计算得出系列天线性能参数,如远场辐射方向图、回波损耗、驻波比、阻抗匹配等。计算并分析了矩形微带天线、直线阵列、相控阵天线和平面... 基于时域有限差分法电磁仿真软件FDTD,设计了系列天线仿真实验。通过仿真软件,对天线进行了建模,经计算得出系列天线性能参数,如远场辐射方向图、回波损耗、驻波比、阻抗匹配等。计算并分析了矩形微带天线、直线阵列、相控阵天线和平面阵列天线的远场方向特性,并在教学中验证了天线仿真实验的可行性,收到了较好的教学效果,加深了学生对天线技术等课程的理解。 展开更多
关键词 天线 仿真实验 时域有限差分法 辐射方向图
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贝伐单抗联合曲安奈德与单独贝伐单抗玻璃体腔内注射治疗糖尿病性黄斑水肿的Meta分析 被引量:6
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作者 陶继伟 陈君虹 +2 位作者 朱莎 毛剑波 沈丽君 《中华实验眼科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期62-67,共6页
背景临床上贝伐单抗(bevacizumab)和曲安奈德(TA)已广泛用于糖尿病性黄斑水肿(DME)的治疗,但由于二者单独治疗都存在一些弊端,因此一些学者尝试二者联合治疗,但其疗效存在争议。目的系统评价玻璃体腔内注射bevacizumab联合TA... 背景临床上贝伐单抗(bevacizumab)和曲安奈德(TA)已广泛用于糖尿病性黄斑水肿(DME)的治疗,但由于二者单独治疗都存在一些弊端,因此一些学者尝试二者联合治疗,但其疗效存在争议。目的系统评价玻璃体腔内注射bevacizumab联合TA与单独注射bevacizumab治疗DME短期疗效的差异。方法用循证医学方法检索美国国立医学图书馆、荷兰医学文摘、循证医学数据库、中国期刊全文数据库中有关bevacizumab联合TA与单独注射bevacizumab治疗DME短期疗效的随机对照临床试验(RCTs)文献进行二次分析,遵循Cochrane Handbook 5.0质量评价原则评价纳入研究的质量。分析的疗效结局指标包括中央黄斑厚度(CMT)及最佳矫正视力(BCVA)变化,安全性评价指标为局部和全身不良事件。连续变量的计量资料采用加权均数差(WMD)作为合并效应量,计数资料采用相对危险度(RR)为疗效分析统计量,采用Cochrane协作网的Revman 5.0软件对效应合并量进行统计学处理。结果共纳入9篇RCTs文献,共665眼。Meta分析结果显示,治疗后12周、18周时bevacizumab联合TA组CMT改善程度优于单独注射bevacizumab组,差异均有统计学意义(WMD=-44.69,95%CI:25.27~64.11,P〈0.000001;WMD=-66.86,95%CI:40.67—93.05,P〈0.000001),而在治疗后6周及6个月时两组间差异无统计学意义(WMD=-15.40,95%CI:-4.04—34.85,P=0.12;WMD=-2.57,95%CI:-19.62—24.75,P=0.82)。治疗后6周时bevacizumab联合TA组BCVA(LogMAR值)的改善值优于单独注射bevacizumab组,差异有统计学意义(WMD=-0.04,95%CI:-0.08--0.00,P=0.05),而在治疗后12周、18周及6个月时两组间差异均无统计学意义(WMD=-0.04,95%CI:-0.12~0.05,P:0.36;WMD=-0.04,95%CI:-0.11~0.03,P=0.28;WMD=0.03,95%CI:-0.05~0.12,P=0.45)。两种治疗方式间术后一过性前房反应的发生率差异无统计学意义(RR=0.89,95%CI:0.49~1.60,P=0.70),bevacizumab联合TA组继发性高眼压的发生率为(30/327),单独注射bevacizumab组治疗眼未发生继发性高眼压。结论Bevacizumab联合TA玻璃体腔内注射治疗DME在减轻黄斑水肿方面疗效明显优于单独注射bevacizumab组,但两种方法在改善BCVA方面效果无明显差异。Bevacizumab联合TA玻璃体腔内注射后发生继发性高眼压的风险高于单独注射bevacizumab应用组,但用降眼压药物后眼压能够控制。 展开更多
关键词 贝伐单抗 曲安奈德 糖尿病性黄斑水肿 玻璃体腔内注射 随机对照临床试验 META分析 循证医学
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线电流激励下偏心介质柱的电磁散射 被引量:4
19
作者 廖旭涛 洪天求 +3 位作者 刘东甲 杨明武 毛剑波 卢志堂 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2018年第3期52-59,共8页
偏心介质柱的电磁散射是电磁探测过程中经常碰见的问题,传统上采用数值方法进行求解,为此,求取了其在线电流源激励下的解析解。通过采用模式匹配法,将模型的边界条件转化为矩阵方程,再由矩阵方程进一步得到偏心介质柱的电磁散射解析解... 偏心介质柱的电磁散射是电磁探测过程中经常碰见的问题,传统上采用数值方法进行求解,为此,求取了其在线电流源激励下的解析解。通过采用模式匹配法,将模型的边界条件转化为矩阵方程,再由矩阵方程进一步得到偏心介质柱的电磁散射解析解。该解在实际模型计算中速度快,较传统方法提高了求解效率。通过与有限差分法得到的数值结果对比,得到的解析解与数值解高度一致,较前人文献结果更准确。该解析解不仅可用于线电流源激励下偏心介质柱电磁散射的快速计算,对半空间内柱状物体的电磁散射特性研究也有重要意义。 展开更多
关键词 线电流源 偏心介质柱 电磁散射 Graf加法定理 探地雷达
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低温氢化非晶硅薄膜晶体管研究 被引量:4
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作者 易茂祥 毛剑波 陈向东 《电子器件》 CAS 2008年第3期766-769,共4页
低温薄膜晶体管(TFT)的研究是开发大面积柔性衬底集成电路的基础。采用底栅TFT结构并引入刻蚀阻挡层和钝化保护层,通过工艺参数和工艺流程的设计,研制了100℃低温氢化非晶硅TFT。实验对氢化非晶硅活性层、氮化硅介质层薄膜以及TFT特性... 低温薄膜晶体管(TFT)的研究是开发大面积柔性衬底集成电路的基础。采用底栅TFT结构并引入刻蚀阻挡层和钝化保护层,通过工艺参数和工艺流程的设计,研制了100℃低温氢化非晶硅TFT。实验对氢化非晶硅活性层、氮化硅介质层薄膜以及TFT特性进行了测试。所研制的低温TFT导通电流与截止电流之比高达106,场效应电子迁移率为0.825cm2/Vs,表明适于柔性衬底工艺的100℃低温TFT得到了有效实现。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 低温沉积 底栅 刻蚀阻挡 迁移率
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