面向抛磨机器人的高精度力控装置设计与分析

针对目前抛磨机器人气动式末端力控装置普遍存在响应速度慢、力控精度低的共性问题,设计了一种基于音圈电机直驱的高精度末端力控装置。通过将氮气弹簧和音圈电机并联的方式,使之在具备高力控精度和高响应速度的同时还具备良好的缓冲性能;通过引入拉伸弹簧,进一步提高了系统的响应速度和力控带宽;通过将氮气弹簧安装在中空音圈电机内部,保证了其结构紧凑。建立了氮气弹簧弹力和位移的关系模型和系统的动力学模型,并对弹簧刚度进行了优化。最后,研制出系统样机并开展了实验验证,结果显示该力控装置响应时间小于0.1 s,力控制精度为±0.1 N,其力控性能明显优于传统的力控装置。

硅晶体线切割液的研究进展与发展趋势

多线切割适用于切割大而薄的硅片,被广泛应用于硅晶体的工业生产中,而切割液对加工过程有着重要的影响。首先,阐述了切割液的作用机理;其次,对切割液的组成及工艺参数对切割液影响的研究现状分别进行了综述,指出了当前硅晶体切割液存在的一些问题,并指出了今后的发展趋势。

适用于硅晶体多线切割的线切割液研制

本文通过硅片旋转磨损试验模拟线切割过程,以评价切割液的切割性能。首先,通过对比试验选出线切割液的主要组份;接着,通过正交试验优化各组份的含量并得到最优配方;最后,在相同条件下将最优配方与某市场切割液进行比较。结果表明:自制最优配方切割液MRR为7820 nm/min,Ra为9.12 nm。与市场切割液相比MRR稍低,但表面粗糙度要好。分析原因是由于新配方切割液在分散性和润滑性方面有所提高,而且碱性变强,加大了化学作用,有效的提高了晶片表面质量。