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克里雅河流域平原区土地利用类型时空演化规律及驱动因素分析
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作者 王友年 《水利规划与设计》 2024年第5期84-89,120,共7页
为推动克里雅河流域土地资源的合理开发利用及绿洲湿地保护,在基于研究区30年土地覆被类型数据的基础上,分析区域土地利用类型的时空演化规律及影响因素。结果表明:近年来研究区耕地及建设用地呈增加趋势,林草地呈先减后增趋势,水域及... 为推动克里雅河流域土地资源的合理开发利用及绿洲湿地保护,在基于研究区30年土地覆被类型数据的基础上,分析区域土地利用类型的时空演化规律及影响因素。结果表明:近年来研究区耕地及建设用地呈增加趋势,林草地呈先减后增趋势,水域及未利用地呈减少趋势;各类型土地转变频繁,其中草地和未利用地面积转变最多,建设用地转变最少;2000年后区域生态环境有所改善,荒漠化进程变缓;流域各土地利用类型的转变均主要受区域经济社会发展及人口变化的影响。克里雅河流域在今后应持续加强生态保护与修复,提高用水效率,以期实现区域荒漠和绿洲平衡共存。 展开更多
关键词 土地利用 转变规律 驱动因素 克里雅河
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带有射频偏压源的感性耦合Ar/O_(2)/Cl_(2)等离子体放电的混合模拟研究 被引量:1
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作者 佟磊 赵明亮 +2 位作者 张钰如 宋远红 王友年 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期209-223,共15页
在刻蚀工艺中,通常会在感性耦合等离子体源的下极板上施加偏压源,以实现对离子能量和离子通量的独立调控.本文采用整体模型双向耦合一维流体鞘层模型,在Ar/O_(2)/Cl_(2)放电中,研究了偏压幅值和频率对等离子体特性及离子能量角度分布的... 在刻蚀工艺中,通常会在感性耦合等离子体源的下极板上施加偏压源,以实现对离子能量和离子通量的独立调控.本文采用整体模型双向耦合一维流体鞘层模型,在Ar/O_(2)/Cl_(2)放电中,研究了偏压幅值和频率对等离子体特性及离子能量角度分布的影响.研究结果表明:当偏压频率为2.26 MHz时,随着偏压的增加,除了Cl^(–)离子和ClO^(+)离子的密度先增加后降低最后再增加外,其余带电粒子、O原子和Cl原子的密度都是先增加后基本保持不变最后再增加.当偏压频率为13.56和27.12 MHz时,除了Cl^(–)离子和Cl^(+)_(2)离子外,其余粒子密度随偏压的演化趋势与低频结果相似.随着偏压频率的提高,在低偏压范围内(<200 V),由于偏压源对等离子体加热显著增加,导致了带电粒子、O原子和Cl原子的密度增加;而在高偏压范围内(>300 V),由于偏压源对等离子体加热先减弱后增强,导致除了Cl^(+)_(2)离子和Cl^(–)离子外,其余带电粒子、O原子和Cl原子的密度都是先下降后增加的.此外,随着偏压频率的增加,离子能量分布中的高能峰和低能峰彼此靠近,离子能峰间距变窄,并最终变成单峰结构.本文的结论对于优化等离子体刻蚀工艺具有重要意义. 展开更多
关键词 感性耦合等离子体 偏压源 混合模型 离子能量 离子通量
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面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究
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作者 赵明亮 邢思雨 +3 位作者 唐雯 张钰如 高飞 王友年 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第21期167-176,共10页
针对平面线圈感性耦合氩气放电,本文基于自主开发的三维等离子体流体力学程序,数值模拟了线圈结构以及放电气压对等离子体空间分布的影响.研究表明,由于线圈在环向上具有不对称性,电子密度也具有明显的环向不均匀性.随着气压的增大,这... 针对平面线圈感性耦合氩气放电,本文基于自主开发的三维等离子体流体力学程序,数值模拟了线圈结构以及放电气压对等离子体空间分布的影响.研究表明,由于线圈在环向上具有不对称性,电子密度也具有明显的环向不均匀性.随着气压的增大,这种环向不均匀性逐渐增强.通过减小线圈的开口,可以提高等离子体的环向均匀性.此外,针对双线圈驱动放电,还研究了内外双线圈电流幅值之比对于等离子体均匀性的影响.结果表明,通过改变内外线圈电流幅值的比值,有利于提高等离子体的径向均匀性. 展开更多
关键词 感性耦合等离子体 三维流体模拟 等离子体均匀性 线圈形状
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Power transfer efficiency in an air-breathing radio frequency ion thruster
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作者 黄高煌 李宏 +1 位作者 高飞 王友年 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期430-438,共9页
Due to a series of challenges such as low-orbit maintenance of satellites, the air-breathing electric propulsion has got widespread attention. Commonly, the radio frequency ion thruster is favored by low-orbit mission... Due to a series of challenges such as low-orbit maintenance of satellites, the air-breathing electric propulsion has got widespread attention. Commonly, the radio frequency ion thruster is favored by low-orbit missions due to its high specific impulse and efficiency. In this paper, the power transfer efficiency of the radio frequency ion thruster with different gas compositions is studied experimentally, which is obtained by measuring the radio frequency power and current of the antenna coil with and without discharge operation. The results show that increasing the turns of antenna coils can effectively improve the radio frequency power transfer efficiency, which is due to the improvement of Q factor. In pure N_2 discharge,with the increase of radio frequency power, the radio frequency power transfer efficiency first rises rapidly and then exhibits a less steep increasing trend. The radio frequency power transfer efficiency increases with the increase of gas pressure at relatively high power, while declines rapidly at relatively low power. In N_(2)/O_(2) discharge, increasing the N_(2) content at high power can improve the radio frequency power transfer efficiency, but the opposite was observed at low power. In order to give a better understanding of these trends, an analytic solution in limit cases is utilized, and a Langmuir probe was employed to measure the electron density. It is found that the evolution of radio frequency power transfer efficiency can be well explained by the variation of plasma resistance, which is related to the electron density and the effective electron collision frequency. 展开更多
关键词 radio frequency ion thruster inductively coupled plasma power transfer efficiency analytic solution
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Effect of a negative DC bias on a capacitively coupled Ar plasma operated at different radiofrequency voltages and gas pressures
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作者 相垚君 王晓坤 +1 位作者 刘永新 王友年 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第5期62-71,共10页
The effect of a negative DC bias,|V_(dc)|,on the electrical parameters and discharge mode is investigated experimentally in a radiofrequency(RF)capacitively coupled Ar plasma operated at different RF voltage amplitude... The effect of a negative DC bias,|V_(dc)|,on the electrical parameters and discharge mode is investigated experimentally in a radiofrequency(RF)capacitively coupled Ar plasma operated at different RF voltage amplitudes and gas pressures.The electron density is measured using a hairpin probe and the spatio-temporal distribution of the electron-impact excitation rate is determined by phase-resolved optical emission spectroscopy.The electrical parameters are obtained based on the waveforms of the electrode voltage and plasma current measured by a voltage probe and a current probe.It was found that at a low|V_(dc)|,i.e.inα-mode,the electron density and RF current decline with increasing|V_(dc)|;meanwhile,the plasma impedance becomes more capacitive due to a widened sheath.Therefore,RF power deposition is suppressed.When|V_(dc)|exceeds a certain value,the plasma changes toα–γhybrid mode(or the discharge becomes dominated by theγ-mode),manifesting a drastically growing electron density and a moderately increasing RF current.Meanwhile,the plasma impedance becomes more resistive,so RF power deposition is enhanced with|V_(dc)|.We also found that the electrical parameters show similar dependence on|V_(dc)|at different RF voltages,andα–γmode transition occurs at a lower|V_(dc)|at a higher RF voltage.By increasing the pressure,plasma impedance becomes more resistive,so RF power deposition and electron density are enhanced.In particular,theα–γmode transition tends to occur at a lower|V_(dc)|with increase in pressure. 展开更多
关键词 RF capacitively coupled plasma DC-overlapped RF discharge power deposition discharge mode transition
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Customized modulation on plasma uniformity by non-uniform magnetic field in capacitively coupled plasma
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作者 王森 张权治 +2 位作者 马方方 Maksudbek YUSUPOV 王友年 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第6期79-87,共9页
A two-dimensional fluid model based on COMSOL Multiphysics is developed to investigate the modulation of static magnetic field on plasma homogeneity in a capacitively coupled plasma(CCP)chamber. To generate a static m... A two-dimensional fluid model based on COMSOL Multiphysics is developed to investigate the modulation of static magnetic field on plasma homogeneity in a capacitively coupled plasma(CCP)chamber. To generate a static magnetic field, direct current is applied to a circular coil located at the top of the chamber. By adjusting the magnetic field's configuration, which is done by altering the coil current and position, both the plasma uniformity and density can be significantly modulated. In the absence of the magnetic field, the plasma density exhibits an inhomogeneous distribution characterized by higher values at the plasma edge and lower values at the center. The introduction of a magnetic field generated by coils results in a significant increase in electron density near the coils. Furthermore, an increase in the sets of coils improves the uniformity of the plasma. By flexibly adjusting the positions of the coils and the applied current,a substantial enhancement in overall uniformity can be achieved. These findings demonstrate the feasibility of using this method for achieving uniform plasma densities in industrial applications. 展开更多
关键词 COMSOL capacitively coupled plasma plasma uniformity magnetic field
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重离子束在等离子体靶中的能量损失 被引量:1
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作者 王友年 马腾才 宫野 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1992年第4期557-562,共6页
借助于线性Vlasov方程,我们研究了重离子束在等离子体靶中的有效电荷数和电子阻止本领。在高速情况下,分别得到了它们的解析表示式。以^(40)Ga,^(74)Ge,^(84)Kr,^(110)pd,^(208)pb及^(238)U等重离子束在氢等离子体中的能量损失为例,将... 借助于线性Vlasov方程,我们研究了重离子束在等离子体靶中的有效电荷数和电子阻止本领。在高速情况下,分别得到了它们的解析表示式。以^(40)Ga,^(74)Ge,^(84)Kr,^(110)pd,^(208)pb及^(238)U等重离子束在氢等离子体中的能量损失为例,将我们的理论结果与Hoffmann等人的实验结果进行了比较。 展开更多
关键词 重离子束 等离子体 能量损失
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低速离子在电子气中的慢化——相移和阻止本领的计算 被引量:1
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作者 王友年 马腾才 宫野 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第1期105-109,共5页
With quantum scattering theory the slowing down of low-velocity ions in an electron gas is investigated. Choosing an atomic IPM potential, the authors have calculated the phase shifts and stopping power of the ions in... With quantum scattering theory the slowing down of low-velocity ions in an electron gas is investigated. Choosing an atomic IPM potential, the authors have calculated the phase shifts and stopping power of the ions in the electron gas, and compared the results with experimental data and with those given by a nonlinear density-functional formalism. 展开更多
关键词 离子束 电子气 相移
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强耦合简并电子气中离子阻止本领和能量离散的数值计算 被引量:1
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作者 王友年 马腾才 《计算物理》 CSCD 北大核心 1990年第2期235-240,共6页
利用局域场修正的介电函数,研究了注入离子在强耦合简并电子气中的阻止本领和能量离散。数值结果表明在低速和高r_s值情况下,局域场修正使得阻止本领和能量离散明显地增加。
关键词 离子 阻止本领 能量离散 电子气
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载能分子离子或离子团与固体材料相互作用 被引量:1
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作者 王友年 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第A01期12-19,共8页
综述近几年关于分子离子和离子团与固体材料相互作用的理论研究进展 ,重点讨论了离子之间的动力学相互作用效应对离子团库仑爆炸过程和能量损失的影响 .与单个原子离子相比 ,分子离子和离子团与固体材料相互作用过程呈现出一些不同的特... 综述近几年关于分子离子和离子团与固体材料相互作用的理论研究进展 ,重点讨论了离子之间的动力学相互作用效应对离子团库仑爆炸过程和能量损失的影响 .与单个原子离子相比 ,分子离子和离子团与固体材料相互作用过程呈现出一些不同的特征 ,其中最明显的两个特征是“库仑爆炸”现象和“vicinage效应”.前者是离子团中内部库仑力作用的结果 ,这种排斥力使得离子之间的距离不断变大 ;而后者是源自于固体中价电子气的极化作用 ,即离子团中单个离子运动产生的电激发相互干扰效应 .这种效应不仅影响离子团的库仑爆炸过程 ,如减缓离子团的爆炸速度和改变离子团的结构 ,同时还使得这种离子团的能量损失不同于那些由独立运动离子组成的离子团的能量损失 . 展开更多
关键词 碰撞 动力学相互作用 库仓爆炸 分子离子 离子团 固体材料 Vicinage效应 能量损失
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载能带电粒子在物质中电子阻止本领研究进展
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作者 王友年 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期129-140,共12页
综述了最近几年关于带电粒子在物质中电子阻止本领研究的新进展.分别考虑了固体中电子之间的关联-交换作用、靶原子内壳层电子分布、重离子的有效电荷数、分子离子产生的Vicinage效应、表面等离子激发等因素对电子阻止本领的... 综述了最近几年关于带电粒子在物质中电子阻止本领研究的新进展.分别考虑了固体中电子之间的关联-交换作用、靶原子内壳层电子分布、重离子的有效电荷数、分子离子产生的Vicinage效应、表面等离子激发等因素对电子阻止本领的影响。 展开更多
关键词 带电粒子 固体材料 电子阻止本领 离子注入
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磁旋弧中等离子体电导率的研究
12
作者 王友年 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第4期399-403,共5页
通过半解析分析研究了外磁场对电弧等离子体电导率的影响。采用修正的洛仑兹碰撞项来描述电子之间的相互作用,从而避免了由线性化Fokker-Planck碰撞项带来数学上的复杂性。文中以氩等离子体为例,计算结果表明在低温范围... 通过半解析分析研究了外磁场对电弧等离子体电导率的影响。采用修正的洛仑兹碰撞项来描述电子之间的相互作用,从而避免了由线性化Fokker-Planck碰撞项带来数学上的复杂性。文中以氩等离子体为例,计算结果表明在低温范围内,磁场使欧姆电导率明显地减小,当B为0.15T时,σx的值比无磁场时减小约1个数量级,而在高温情况下,电导率几乎不受磁场的影响。 展开更多
关键词 磁旋弧 等离子体 电导率 电弧
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激光束辐照下金属材料表面合金化过程中的热传输问题
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作者 王友年 安世民 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1991年第4期471-476,共6页
本文采用积分变换法求解了在激光束辐照下涂层和基体材料中的热传导方程,并在一定的近似条件下,给出了温度场的三维、瞬时分布。以Cr—ZG45钢系统为例,进行了数值分析。
关键词 激光束 金属合金化 热传输 温度
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量子力学中相移的计算方法
14
作者 王友年 《大学物理》 北大核心 1992年第9期27-27,26,共2页
本文详细地介绍由Calogero提出的计算相移的一种新方法,即可变相移法.在该方法中无需求解薛定谔方程,而只求解相移函数所满足的一阶非线性微分方程即可以得到真实的相移.
关键词 相移 计算方法 量子力学
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直流辉光和磁控增强放电等离子体的空间分辨发射光谱技术 被引量:3
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作者 于红 张家良 +2 位作者 任春生 王友年 马腾才 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期255-259,共5页
光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近... 光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近的增强放电和直流辉光放电等离子体空间分辨诊断的发射光谱装置。其特点是光学收集系统的位置可以水平精细移动 ,因而可以对放电区域进行空间分辨发射光谱测量。作者利用这套装置对氩气的ECR微波等离子体和直流辉光放电等离子体进行诊断。在ECR微波等离子体的下游区内氩离子谱线的发射强度很弱 ,主要是高激发态原子的辐射。在磁共振增强放电区 ,离子谱线强度有所增加但仍比原子谱线弱 ,类似于直流辉光放电正柱区的光发射特性。 展开更多
关键词 发射光谱 直流辉光放电 激发态原子 激发温度 类似 行空间 微波等离子体 空间分辨 光发射 电子回旋共振
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空气中交流针-板大气压辉光放电 被引量:6
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作者 张禹涛 马腾才 +4 位作者 任春生 齐冰 苗书一 王德真 王友年 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期323-326,共4页
空气中的大气压辉光放电通常因放电易过渡到火花状态而难以产生。在静态大气压空气针-板等离子体发生器中,采用阻容耦合负反馈方法控制等离子体放电发展过程,成功地抑制了辉光放电向火花放电的过渡,产生了稳定的交流辉光放电。研究了电... 空气中的大气压辉光放电通常因放电易过渡到火花状态而难以产生。在静态大气压空气针-板等离子体发生器中,采用阻容耦合负反馈方法控制等离子体放电发展过程,成功地抑制了辉光放电向火花放电的过渡,产生了稳定的交流辉光放电。研究了电压、电极间距等参数变化对放电的影响。 展开更多
关键词 空气等离子体 大气压 辉光放电
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感应耦合等离子体的1维流体力学模拟 被引量:4
17
作者 王帅 毛明 王友年 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期155-159,共5页
采用双极扩散近似的流体力学模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布,其中射频源的功率沉积由动力学理论给出。分析了不同的射频线圈的驱动电流和放电气压对等离子体密度和... 采用双极扩散近似的流体力学模型,通过数值模拟方法研究了射频感应耦合等离子体(ICP)中等离子体密度和电子温度等物理量的空间分布,其中射频源的功率沉积由动力学理论给出。分析了不同的射频线圈的驱动电流和放电气压对等离子体密度和电子温度空间分布的影响。在低气压下,等离子体密度基本上保持空间均匀分布。随着放电压强的增加,等离子体密度的分布呈现出明显的空间不均匀性。当线圈电流增大时,等离子体密度和电子温度都随着增大。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 流体力学 等离子体密度 电子温度
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射频电感性耦合等离子体调谐基片自偏压特性 被引量:3
18
作者 丁振峰 霍伟刚 王友年 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期197-202,共6页
采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压。研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频自偏压随射频放电功率、气压的变化曲线。在一定放电参数区域... 采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压。研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频自偏压随射频放电功率、气压的变化曲线。在一定放电参数区域内,调谐基片射频自偏压随调谐电容的变化曲线呈现跳变、双稳、迟滞现象。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 电容性耦合 射频自偏压 非线性 鞘层
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电子发射对稳态等离子体鞘层影响的理论研究和数值模拟 被引量:2
19
作者 孟显 王友年 马腾才 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期358-362,共5页
建立了一套非线性自洽的流体力学方程组 ,研究了电子发射对稳态等离子体鞘层的影响 ,并分别考虑了发射电子及离子同中性原子的弹性和非弹性碰撞过程。数值结果表明 :发射电子的初始束流密度及中性气体密度是描述鞘层空间演化的两个最关... 建立了一套非线性自洽的流体力学方程组 ,研究了电子发射对稳态等离子体鞘层的影响 ,并分别考虑了发射电子及离子同中性原子的弹性和非弹性碰撞过程。数值结果表明 :发射电子的初始束流密度及中性气体密度是描述鞘层空间演化的两个最关键的物理量 ,特别是发射电子的存在使得鞘层厚度变薄。 展开更多
关键词 二次电子发射 等离子体鞘层 碰撞效应 数值模拟
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双频容性耦合CF_4等离子体放电的二维混合模拟 被引量:2
20
作者 王帅 徐翔 王友年 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2297-2302,共6页
研究了等离子体反应装置内的等离子体密度、粒子能量与角度分布等参量在装置径向与轴向上的分布特性。在研究过程中应用二维混合模型对CF4气体放电进行模拟。计算结果显示:在电极表面与侧壁附近的鞘层区特性有明显的区别。由于装置侧壁... 研究了等离子体反应装置内的等离子体密度、粒子能量与角度分布等参量在装置径向与轴向上的分布特性。在研究过程中应用二维混合模型对CF4气体放电进行模拟。计算结果显示:在电极表面与侧壁附近的鞘层区特性有明显的区别。由于装置侧壁处受电源产生的射频电场的影响较小,侧壁处的鞘层主要由双极扩散机制形成,其产生的径向电场强度较弱,鞘层厚度也较薄。而在电极附近,由于受到射频电场的影响,鞘层的厚度显著增加,指向电极方向的轴向电场强度也远大于指向侧壁方向的径向电场强度。在电极区域内,离子通量分布均匀;在电极边缘与侧壁的间隙内,因电场强度减小,离子通量则发生迅速衰减。在射频电极覆盖的范围内离子能量分布大体上保持不变,电极与侧壁的交界处,由于受到侧壁处径向电场的影响,离子能量分布略有不同。在放电装置的中心区域,入射到电极上的离子角度分布基本保持一致,而在电极边界与装置侧壁的交界处,由于径向电场的影响,离子的垂直入射角增加,以大角度轰击电极的离子数量也显著增加。 展开更多
关键词 双频等离子体 混合模拟 离子能量分布 离子角度分布
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