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超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统 被引量:18
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作者 王磊杰 张鸣 +2 位作者 朱煜 鲁森 杨开明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期2975-2985,共11页
开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了... 开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了基于Elden公式的系统死程误差建模方法。设计制造了尺寸仅为48mm×48mm×18mm的光栅干涉仪。基于误差模型计算了死程误差,计算结果表明:对于1.52mm死程的光栅干涉仪,宽松的环境波动指标(温度波动为0.01℃、压力梯度为±7.5Pa、相对湿度波动为1.5%、CO2含量波动为±50×10-6)仅引起±0.05nm的死程误差。最后,设计了基于商用双频激光平面镜干涉仪的测量比对系统,开展了光栅干涉仪原理验证实验和测并量稳定性实验。原理验证实验表明:光栅干涉仪原理正确且系统分辨率达0.41nm。测量稳定性实验表明:常规实验室环境下,环境波动引起的死程误差为7.59nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz,优于同等环境条件下平面镜干涉仪的31.11nm(3σ)@<0.9Hz&1~10Hz。实验结果显示系统具有很高的环境鲁棒性。 展开更多
关键词 扫描干涉光刻 位移测量 光栅干涉仪 外差干涉仪 环境鲁棒性
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零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制 被引量:8
2
作者 王磊杰 张鸣 +2 位作者 鲁森 朱煜 杨开明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1213-1221,共9页
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理... 利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。 展开更多
关键词 全息曝光 零差移频式干涉图形相位锁定系统 系统辨识 高阶线性拟合 微振动 PID控制
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面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述 被引量:11
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作者 王磊杰 张鸣 +2 位作者 朱煜 叶伟楠 杨富中 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期1909-1918,共10页
超精密平面光栅编码器位移测量技术是32~7 nm节点浸没式光刻机的核心技术。通过分析浸没式光刻机平面光栅位置系统的需求和布局,提出了光刻机专用超精密平面光栅编码器的基本需求。针对现有的光栅编码器,开展了基本测量光路方案、相位... 超精密平面光栅编码器位移测量技术是32~7 nm节点浸没式光刻机的核心技术。通过分析浸没式光刻机平面光栅位置系统的需求和布局,提出了光刻机专用超精密平面光栅编码器的基本需求。针对现有的光栅编码器,开展了基本测量光路方案、相位探测方案、分辨率增强光路方案、离轴/转角允差光路方案、死程误差抑制光路方案的综述分析,提出了现有设计方案面向光刻机应用所需要解决的关键问题。面向亚纳米级测量精度的需求,针对光栅编码器的仪器误差,对周期非线性误差、死程误差、热漂移误差和波前畸变误差进行了综述分析,提出了平面光栅编码器实现亚纳米精度所需要解决的关键问题。本综述为光刻机专用超精密平面光栅编码器的研制提供了参考。 展开更多
关键词 浸没式光刻机 光学干涉式光栅编码器 位移测量
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扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统 被引量:5
4
作者 王磊杰 张鸣 +2 位作者 朱煜 鲁森 杨开明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1765-1773,共9页
扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式... 扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式光栅位移测量干涉仪的基础上,阐述了扫描干涉光刻机的新型移相锁定系统原理。针对新型的移相锁定系统原理,构建了移相锁定控制系统实验装置。最后,基于移相锁定控制实验装置,针对移相锁定定位性能,开展了移相锁定定位控制实验以及影响控制精度的因素分析,实现了±3.27 nm(3σ,Λ=251 nm)的定位控制精度;针对移相跟踪控制性能,在移相跟踪控制精度实验分析的基础上,利用陷阱滤波&PID控制实现了±4.17 nm(3σ,Λ=251 nm)的跟踪控制精度。 展开更多
关键词 扫描干涉光刻 零差移频式相位锁定 外差利特罗光栅干涉仪 移相锁定控制 陷阱滤波
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超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统 被引量:5
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作者 王磊杰 郭子文 +2 位作者 叶伟楠 张鸣 朱煜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期499-509,共11页
面向浸没式光刻机双工件台的超精密位置测量应用需求,提出了一种超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统。给出了测量系统的原理与方案设计、系统各部件的设计及制造、编码器测量原理推导及实验验证等。所设计平面光栅... 面向浸没式光刻机双工件台的超精密位置测量应用需求,提出了一种超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统。给出了测量系统的原理与方案设计、系统各部件的设计及制造、编码器测量原理推导及实验验证等。所设计平面光栅编码器位移测量系统的相位卡的细分率为4096,测量分辨率为x50 pm/z25 pm。实验结果表明:该平面光栅位移测量系统可实现x向和z向位移的同时测量,z向运动行程为±1 mm,满足光刻机双工件台的垂向调焦需求;Rx/Ry/Rz单轴转动或三轴联合转动极限转角为±1.5 mrad时,交流信号质量仍然满足测量要求,光刻机双工件台的Rx/Ry/Rz的调平转动满足需求。所设计的平面光栅编码器位移测量系统能够实现光刻机双工件台相应的测量功能且具有较高的性能指标。 展开更多
关键词 浸没式光刻机 位移测量 平面光栅编码器 空间分离 外差 利特罗角
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单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述 被引量:6
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作者 王磊杰 张鸣 朱煜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期1759-1768,共10页
单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的... 单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的单体大尺寸高精度全息平面光栅制造技术的研究进展以及存在的问题,并着重对基于扫描干涉光刻技术的单体大尺寸高精度全息光栅制造技术的研究进展进行论述。最后,总结了大尺寸高精度平面光栅制造技术——扫描干涉光刻技术的发展趋势。 展开更多
关键词 全息平面光栅 扫描干涉光刻 条纹锁定 栅距/方向/相位控制
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基于Modelica的直线电机控制系统建模与仿真研究 被引量:4
7
作者 王磊杰 张鸣 朱煜 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1737-1740,1750,共5页
Modelica是一种新型建模语言,采用代数微分方程对机电领域组件和耦合关系进行统一描述,适合于机电产品的建模与仿真。应用Modelica研究直线电机控制系统性能是一种新方法。在建立直线电机控制系统数学模型的基础上,展示了系统、电/机转... Modelica是一种新型建模语言,采用代数微分方程对机电领域组件和耦合关系进行统一描述,适合于机电产品的建模与仿真。应用Modelica研究直线电机控制系统性能是一种新方法。在建立直线电机控制系统数学模型的基础上,展示了系统、电/机转换部件Modelica模型的建立过程。对系统进行图形化和语言化建模,实现了基于开源平台OpenModelica的模型仿真及结果输出;与基于Simulink的系统模型仿真进行对比,结果基本一致。 展开更多
关键词 MODELICA 组件标准库 直线电机 电/机转换部件
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恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计 被引量:1
8
作者 王磊杰 罗伟文 +1 位作者 张鸣 朱煜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期938-947,共10页
为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍... 为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍了扫描干涉光刻中干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统原理方案,并设计实现了恒光强外差声光移频式干涉条纹相位锁定控制系统。然后,分析了控制系统理论模型,对系统实际模型进行辨识和高阶线性拟合,并设计了系统控制器。最后,在该控制器的基础上开展了调试和条纹锁定控制。实验结果显示,开启条纹锁定控制后,100 Hz以下的低频扰动成分受到明显抑制,干涉图形相位锁定的残余误差为0.0693 rad(3σ),即相位变化小于±0.01个干涉条纹周期;光束偏移调控误差达到100μm时,干涉条纹锁定性能仍能保持稳定。该系统不仅可实现不同干涉姿态下干涉条纹的高精度锁定,还具有较大的光束调控误差裕度,满足干涉条纹周期、方向和相位同步实时控制的扫描干涉光刻机的需求。 展开更多
关键词 扫描干涉光刻 条纹锁定 外差相位测量干涉仪
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增量式光电旋转编码器及在角减速度测量中的应用 被引量:15
9
作者 王磊杰 张红梅 《机电产品开发与创新》 2005年第5期115-116,118,共3页
介绍了增量式光电旋转编码器的原理、结构,根据输出信号的特征提高测量精度的四倍频处理方法,在此基础上说明了常用的基于编码器的输出信号的测速原理、方法。最后给出了基于增量式光电旋转编码器进行角减速度测量的系统构成,实际应用... 介绍了增量式光电旋转编码器的原理、结构,根据输出信号的特征提高测量精度的四倍频处理方法,在此基础上说明了常用的基于编码器的输出信号的测速原理、方法。最后给出了基于增量式光电旋转编码器进行角减速度测量的系统构成,实际应用精度要求采用的最小二乘拟合法的处理方法。 展开更多
关键词 增量式光电旋转编码器 光栅盘 瞬时角速度 角减速度 最小二乘拟合法
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现代信息技术背景下技能人才个性化培养生态体系建设路径研究 被引量:2
10
作者 王磊杰 曹静云 《漯河职业技术学院学报》 2021年第5期95-97,共3页
信息技术的发展为高职院校个性化人才培养提供了有力支撑。探索高职院校信息技术背景下个性化人才培养体系,对于高职院校培养创新型人才具有重要意义。本文论述了高职院校建设技能人才个性化培养生态体系的可行性,提出现代信息技术背景... 信息技术的发展为高职院校个性化人才培养提供了有力支撑。探索高职院校信息技术背景下个性化人才培养体系,对于高职院校培养创新型人才具有重要意义。本文论述了高职院校建设技能人才个性化培养生态体系的可行性,提出现代信息技术背景下技能人才个性化培养体系的具体内容及实施方案。 展开更多
关键词 个性化 人才培养 信息技术
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远程开放教育媒体资源利用分析
11
作者 王磊杰 刘彩红 韩红宇 《漯河职业技术学院学报》 2004年第1期1-3,共3页
现代远程开放教育是利用多媒体技术手段开展起来的新型教育形式。媒体是远程教育的纽带和桥梁。充分利用多种媒体优化远程开放教育资源是发展现代远程开放教育、扩大教育规模、提高教育质量、增强办学效益的重要途径和方法。
关键词 远程教育 开放教育 媒体资源利用 多媒体技术
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哈尔滨地区猪源多重耐药大肠杆菌接合性质粒和整合子检测 被引量:9
12
作者 张秀英 王磊杰 +5 位作者 徐国锋 蒋月 苏海峰 张陆 安微 刘万刚 《东北农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期40-45,共6页
为调查哈尔滨周边地区猪源多重耐药大肠杆菌流行情况,检测与水平转移密切相关接合性质粒traA、trbC及Ⅰ型、Ⅱ型、Ⅲ型整合子分布状况。对哈尔滨周边地区发病猪场采样处理,得到24株大肠杆菌。采用Kirby-Bauer法对24株大肠杆菌进行14种... 为调查哈尔滨周边地区猪源多重耐药大肠杆菌流行情况,检测与水平转移密切相关接合性质粒traA、trbC及Ⅰ型、Ⅱ型、Ⅲ型整合子分布状况。对哈尔滨周边地区发病猪场采样处理,得到24株大肠杆菌。采用Kirby-Bauer法对24株大肠杆菌进行14种药物药敏试验,并采用聚合酶链式反应(PCR)法分析接合性质粒遗传标记traA、trbC及Ⅰ型、Ⅱ型、Ⅲ型整合子。结果显示大多数猪源大肠杆菌对14种抗菌药物均表现出较高耐药性,有些细菌甚至对其中12种药物产生耐药性。试验细菌对氟苯尼考、磺胺甲恶唑/甲氧苄啶(SXT)和多西环素(DOX)耐药率最高,分别可达100%、95.83%和83.33%。traA和trbC检出率分别为91.67%(22/24)、62.5%(15/24),Ⅰ型、Ⅱ型、Ⅲ型整合子检出率分别为91.67(22/24)、12.5(3/24)和0。结果表明哈尔滨周边地区猪源大肠杆菌耐药现象十分严重,接合性质粒和整合子检出提示可能存在耐药性水平转移现象。 展开更多
关键词 大肠杆菌 多重耐药 接合性质粒 整合子
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可移动遗传元件相关的ESBLs基因传播机制研究 被引量:4
13
作者 张陆 蒋月 +3 位作者 徐国锋 王磊杰 安微 张秀英 《中国预防兽医学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期414-418,共5页
超广谱β-内酰胺酶(Extended spectrum betalactamases,ESBLs)是一类能够赋予细菌对多种β-内酰胺类抗生素和单酰环类抗生素耐药的酶类,许多革兰氏阴性菌,如肠杆菌科、铜绿假单胞菌和鲍曼不动杆菌等均可以产生不同类型的ESBLs,如TEM、... 超广谱β-内酰胺酶(Extended spectrum betalactamases,ESBLs)是一类能够赋予细菌对多种β-内酰胺类抗生素和单酰环类抗生素耐药的酶类,许多革兰氏阴性菌,如肠杆菌科、铜绿假单胞菌和鲍曼不动杆菌等均可以产生不同类型的ESBLs,如TEM、SHV、CTX-M等类型,还有一些较少报道的VEB、GES和PER型.细菌可以通过多种途径获得这些ESBLs基因,其中转座子、整合子、接合性质粒等可移动遗传元件在捕获和转移这些ESBLs的过程中起重要作用,也是ESBLs在全世界广泛传播的原因.本文就可移动遗传元件相关的ESBLs基因传播机制进行综述. 展开更多
关键词 传播机制 S基因 可移动 元件 遗传 Β-内酰胺类抗生素 超广谱Β-内酰胺酶 ESBLS
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哈尔滨周边地区猪源致病性大肠杆菌耐药性分析 被引量:14
14
作者 苏海峰 蒋月 +3 位作者 徐国锋 王磊杰 张陆 张秀英 《中国兽医杂志》 CAS 北大核心 2012年第6期46-49,共4页
本文通过对哈尔滨周边地区发病的猪场进行采样处理,得到28株致病性大肠杆菌。并用Kirby-Bauer法对28株致病性大肠杆菌进行14种药物的药敏试验。结果表明,细菌对14种临床常用药物均表现出较高的耐药性,且均为四重耐药以上,更严重的甚至... 本文通过对哈尔滨周边地区发病的猪场进行采样处理,得到28株致病性大肠杆菌。并用Kirby-Bauer法对28株致病性大肠杆菌进行14种药物的药敏试验。结果表明,细菌对14种临床常用药物均表现出较高的耐药性,且均为四重耐药以上,更严重的甚至有些细菌对其中12种药物产生耐药性。试验细菌对链霉素和复方新诺明耐药率最高,分别为96.43%和92.86%。可见该地区细菌耐药现象较为严重。 展开更多
关键词 猪源 致病性大肠杆菌 多重耐药性
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干涉条纹相位锁定系统 被引量:3
15
作者 鲁森 杨开明 +2 位作者 朱煜 王磊杰 张鸣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期1-7,共7页
干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低,为了有效抑制相位漂移,利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点,指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂移量与曝光对比度的... 干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低,为了有效抑制相位漂移,利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点,指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂移量与曝光对比度的关系曲线,并以此为依据提出了条纹锁定精度的目标值。针对所要达到的锁定精度,给出了系统硬件的选型方法,搭建了基于RTX的干涉条纹相位锁定系统。利用闭环辨识的方法得到了系统的参数模型,完成了反馈控制器的设计,最终实现了实时锁定条纹相位的功能。实验结果表明,在400Hz的控制频率下,干涉锁定系统能够有效抑制0~5Hz的低频扰动,干涉条纹相位漂移的3σ值可以控制在±0.04个条纹周期内,满足干涉光刻的曝光对比度要求。 展开更多
关键词 干涉曝光 相位锁定 曝光对比度 声光调制器 RTX
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干涉条纹相位锁定系统分析及其控制 被引量:3
16
作者 鲁森 杨开明 +3 位作者 朱煜 张鸣 王磊杰 胡楚雄 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期1-7,共7页
干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关,基于这一原理,通过对干涉场光强分析,提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强,并以该光强电压作为反馈控制信号,利用声光... 干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关,基于这一原理,通过对干涉场光强分析,提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强,并以该光强电压作为反馈控制信号,利用声光调制器对干涉系统中两束高斯光束中的一束进行实时频率调制,将光强电压控制在一个固定值,实现干涉条纹的相位锁定.构建了条纹锁定控制系统控制对象的理论模型,通过实验进行了验证,并基于该模型的特点设计了条纹锁定控制器.实验结果表明:在400Hz的控制频率下,干涉条纹相位漂移不超过±0.04个条纹周期,满足干涉光刻的曝光需求. 展开更多
关键词 相位锁定 声光调制器 实时控制 频率调制
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基于AT89C51的数据采集系统设计新方法 被引量:6
17
作者 罗子明 王磊杰 +1 位作者 刘彧 吕秋娟 《电子元器件应用》 2007年第8期37-40,44,共5页
结合ADC0809、MAX232等器件的性能特点,同时运用单片机外围电路仿真工具(Proteus)、虚拟串口工具(VSPD XP)和串口调试软件(ComMonitor V2.0),给出了一种基于AT89C51单片机的数据采集系统的软硬件设计过程。
关键词 单片机 数据采集 proleus仿真 虚拟串口工具
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直接正交联合对角化盲分离算法 被引量:1
18
作者 程光辉 王磊杰 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期359-362,共4页
针对盲源分离问题,利用白化预处理后信号的二阶和高阶累积量矩阵具有正交联合对角化的结构性质,以及多个实对称矩阵具有相同特征向量即可同时正交对角化的实对称矩阵的特征分解的理论,提出一种基于部分累积量矩阵特征分解的直接正交联... 针对盲源分离问题,利用白化预处理后信号的二阶和高阶累积量矩阵具有正交联合对角化的结构性质,以及多个实对称矩阵具有相同特征向量即可同时正交对角化的实对称矩阵的特征分解的理论,提出一种基于部分累积量矩阵特征分解的直接正交联合对角化算法。该算法仅需要部分累积量矩阵信息,从而大大降低计算过程中的存储量和计算量。通过数值模拟,该算法和经典的JADE算法性能接近,可以有效地进行盲分离。 展开更多
关键词 盲源分离 特征值和特征向量 联合对角化 白化
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高校教育信息化对学生思想政治教育工作的支撑 被引量:2
19
作者 张纪 王磊杰 《漯河职业技术学院学报》 2015年第1期174-175,共2页
在信息技术快速发展和高校教育信息化建设不断推进的背景下,高校思想政治工作面临新的机遇和挑战。本文介绍了高校教育信息化建设的主要内容,重点说明了高校教育信息化建设过程中做好大学生思想政治工作应采用的技术手段。
关键词 高校 大学生思想政治教育 教育信息化
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动力系统的遍历性
20
作者 曾凡平 王磊杰 徐雪群 《广西大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期381-384,共4页
给出遍历性及唯一遍历的几个等价条件。主要结果是定理4、定理6及定理7.并利用定理4给出定理5的一个证明。定理6及定理7给出唯一遍历的等价条件,定理7的证明采用的是泛函分析的方法。
关键词 保测变换 遍历 唯一遍历
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